气体激光器振荡器制造技术

本发明专利技术提供可缓和振荡器箱体的真空状态时的应力，具有用于维护的面积大、容易制造的盖构件的气体激光器振荡器。具有闭塞气体激光器振荡器（１００）的箱体（１１）的开口部的盖构件（１２），在盖构件（１２）形成朝箱体内部侧隆起的作为曲面部的圆顶形状部（３１），在盖构件（１２）的４个端边与圆顶形状部（３１）间的区域形成朝箱体主构造（１１）的内部侧突出的作为凸起部的三角形凸构造部（３２），在盖构件（１２）的端边形成朝箱体外部侧突出的侧壁（３３）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种气体激光器振荡器的箱体构造，特别是涉及一种正交激励型气体激光器振荡器。
技术介绍
在已有技术的正交激励型气体激光器振荡器中，具有封入了CO2气体等激光器介质气体的密闭构造的振荡器箱体，在振荡器箱体内设有激光器介质气体放电激励用的放电电极、对激光器介质气体进行冷却的热交换器、及使激光器介质气体循环的送风器。另外，在振荡器箱体的两端配置有构成气体激光器共振器的反射镜光学系统。在CO2气体激光器等气体激光器的连续振荡中，为了将发射激光的气体分子激励(泵激)到受激发射所需要的能级，一般使用由放电时的电子碰撞激励的放电激励。在该场合，为了获得稳定的放电，需要使振荡器箱体内部为30～60torr的真空状态，所以，气体激光器振荡器的振荡器箱体需要具有可保持真空状态的气密性能。另外，由于需要定期地对配置于振荡器箱体内部的放电电极、热交换器、送风机、及反射镜光学系统等进行维护，所以，需要使得维护作业者可容易地从振荡器箱体的外部接近。为此，在振荡器箱体设有较宽的开口部，安装有可用于闭塞开口部的可拆卸的盖构件。气体激光器振荡器的盖构件需要承受使振荡器箱体内部为真空状态时的负荷，保持能够维持真空状态的气密性能，而且使得可容易地维护振荡器箱体的内部设备地扩大外形面积。作为盖构件，使用平板形状的盖构件(例如参照专利文献1)。另外，为了提高盖构件的强度，通过在与盖构件的面垂直的方向设置多个加强构件(肋)，从而抑制盖构件的变形(例如参照专利文献2)。另外，通过在长方体的耐压箱体的1个面设置倾斜部，从而分散应力，形成为抑制箱体的侧面板构件的变形的构造，从而减小对盖构件的负荷(例如参照专利文献3)。日本特开2003-318467号公报(第4页，图1)日本特开平10-2418号公报(第3页，图1～3)日本特开2002-245905号公报(第2～3页，图1)对于已有技术的气体激光器振荡器，在如专利文献1那样将盖构件形成为平板的场合，需要可承受对振荡器箱体内部进行减压时发生的应力地增大盖构件的平板板厚。在该场合，当考虑到维护性时，最好作业者可按2人左右安装、拆卸盖构件。然而，由于盖构件的重量变大，所以，存在难以安装、拆卸盖构件的问题。为此，也可使用铝等具有强度的轻质材料形成盖构件。然而，这些轻质材料存在一般比钢铁材料昂贵的问题。另外，在如专利文献2那样设置加强构件使盖构件的强度提高的场合，即使使用钢铁等廉价的材料，也可减小盖构件的板厚，减轻盖构件的重量。然而，需要通过焊接、螺钉固定等相对盖构件固定加强构件，所以，存在盖构件的制造工序复杂、制造费用高的问题。另外，在如专利文献3那样相对盖构件设置倾斜部的场合，由于成为与振荡器箱体凸缘的接合面的盖构件的接合面需要是平面形状的，所以，如不使用焊接多个构件的制造方法，则难以进行制作。
技术实现思路
本专利技术就是为了解决上述那样的问题而作出的，其目的在于获得一种气体激光器振荡器，该气体激光器振荡器可缓和振荡器箱体的真空状态时的应力，具有用于维护的面积大、容易制造的盖构件。本专利技术的气体激光器振荡器具有箱体和闭塞箱体的开口部的盖构件；其特征在于盖构件具有曲面部和侧壁；该曲面部朝箱体的内部侧或外部侧隆起；该侧壁形成于盖构件的端边，朝箱体的内部侧或外部侧突出。本专利技术的气体激光器振荡器由于具有曲面部和侧壁，该曲面部朝箱体的内部侧或外部侧隆起，该侧壁形成于盖构件的端边并朝箱体的内部侧或外部侧突出，所以，在减压时作用于盖构件的应力均匀地分散，即使减小盖构件的板厚，增大盖构件的面积，也可缓和振荡器箱体在真空状态时的应力。另外，可容易地制造盖构件。附图说明图1为示出本专利技术实施形式1的气体激光器振荡器的整体构成的透视图。图2为本专利技术实施形式1的盖构件的外形图。图3为本专利技术实施形式1的圆顶形状部的截面图。图4为本专利技术实施形式1的三角形凸构造部的截面图。图5为示出盖构件的板厚与应力值和位移量的关系的曲线图。图6为示出不形成三角形凸构造部的场合的应力集中部的概念图。图7为示出形成本专利技术实施形式1的三角形凸构造部的场合的应力集中部的概念图。图8为示出不形成侧壁的场合的螺栓的固定部周围的状态的示意图。图9为不形成侧壁的场合的气体激光器振荡器的箱体的透视图。图10为示出形成了本专利技术实施形式1的侧壁的场合的螺栓固定部周围的状态的示意图。图11为示出本专利技术实施形式2的盖构件的外形图。图12为示出本专利技术实施形式3的盖构件的外形图。图13为本专利技术实施形式3的圆顶形状部的截面图。具体实施例方式实施形式1图1为示出用于实施本专利技术的实施形式1的气体激光器振荡器100的整体构成的透视图。在图1中，气体激光器振荡器100由作为气体激光器振荡器100的箱体的箱体主构造11、气体激光器振荡器100的盖构件12、及O形密封圈13构成。箱体主构造11为搭载电极和反射镜等气体激光器振荡器100的构成设备的构造物。箱体主构造11通过焊接接合钢铁、不锈钢等金属板材而形成。另外，形成了O形密封圈槽22和螺钉孔23的凸缘21及用于抑制箱体主构造11的变形的肋24和开口部支承构件25，按焊接接合和螺钉连接中的至少任一方的方法接合于箱体主构造11。在本实施形式中，在将O形密封圈13配置到O形密封圈槽22后，封闭箱体主构造11的开口部地配置盖构件12，将螺钉连接(螺栓连接)到螺钉孔23，从而接合箱体主构造11与盖构件12。此时，通过由凸缘21和盖构件12夹住O形密封圈13将其压扁，从而确保气体激光器振荡器100的气密性能。即，气体激光器振荡器100的箱体成为耐压容器。下面，说明盖构件12的构造。图2为用于实施本专利技术实施形式1的盖构件12的外形图，图2(a)为正面图，图2(b)为侧面图。盖构件12用于封闭箱体主构造11的开口部，其外形大体为四边形，具有4个端边。在本实施形式中，盖构件12由1片钢铁、铝、或不锈钢等的金属板材形成。在盖构件12由冲压等方法形成准部分球面形状的圆顶形状部31和配置于圆顶形状部31周围的4个部位的三角形凸构造部32。圆顶形状部31为朝箱体主构造11的内部侧隆起的曲面部。圆顶形状部31作为耐压容器使内侧凸起地形成，为了避免与箱体主构造11的开口部支承构件25的干涉，配置于左右2个部位。圆顶形状部31的外形即盖构件12的平面部与曲面部的边界线的形状对应于箱体主构造11的开口部形状，可为圆形，也可为椭圆形，或组合曲线与直线的形状。在本实施形式中，圆顶形状部31的外形为用2条直线连接2个半圆的轨道状。三角形凸构造部32形成于盖构件12的4个端边与作为曲面部的圆顶形状部31间的区域，为突出到箱体主构造11内部侧的凸起部。三角形凸构造部32的面积比圆顶形状部31小。三角形凸构造部32与圆顶形状部31同样，作为耐压容器使内部侧凸起地形成。三角形凸构造部32形成于盖构件12的四角部分。在本实施形式中，由于形成2个圆顶形状部31，所以，在由平行的2个端边和2个圆顶形状部31的外缘围住的平面部也形成三角形凸构造部32。如图1所示那样，三角形凸构造部32形成于8个部位。三角形凸构造部32也可使耐压容器的外部侧凸起地形成。在盖构件12的4个端边，形成突出到箱体主构造11外部侧的侧壁33。在本实施形式中，侧壁33通过朝箱体主构造11的外部侧将盖构件12本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气体激光器振荡器，具有箱体，和闭塞上述箱体的开口部的盖构件；其特征在于：　上述盖构件具有曲面部和侧壁；该曲面部朝上述箱体的内部侧或外部侧隆起；该侧壁形成于上述盖构件的端边，朝上述箱体的内部侧或外部侧突出。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：玉谷基亮，杉原和郎，船冈幸治，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]