一种真空用多层晶圆储存盒加工专用固定承载台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空用多层晶圆储存盒加工专用固定承载台，包括承载台体、存储盒体和固定机构，所述存储盒体放置在承载台体顶部，两个所述固定机构安装在承载台体表面且分别位于存储盒体两侧，所述固定机构包括固定板、转动杆、立板、调节组件和T型螺杆，所述固定板通螺钉固定在承载台体前表面，所述转动杆竖直安装在固定板上，所述立板上端通过调节组件安装在转动杆上端；本实用新型专利技术通过设置有固定机构，既不影响存储盒体放置和加工，又可对放置在承载台体顶部的存储盒体进行夹紧固定，避免存储盒体因受力加工出现偏移而影响加工精度的情况，且两个固定机构之间的夹紧距离可根据存储盒体形状尺寸进行调节。据存储盒体形状尺寸进行调节。据存储盒体形状尺寸进行调节。

【技术实现步骤摘要】
一种真空用多层晶圆储存盒加工专用固定承载台


[0001]本技术属于晶圆储存盒加工
，具体涉及一种真空用多层晶圆储存盒加工专用固定承载台。

技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。而真空多层储存盒是放置储存晶圆用的工具之一。而固定承载台是真空多层储存盒放置加工用的装置之一。
[0003]现有的有些储存盒放置在承载台上进行加工时，储存盒可能因为形状或者外力位置出现偏移倾倒，不利于后续施力加工，延长储存盒加工时间和降低加工精度的问题，为此我们提出一种真空用多层晶圆储存盒加工专用固定承载台。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种真空用多层晶圆储存盒加工专用固定承载台，以解决上述
技术介绍
中提出的有些储存盒放置在承载台上进行加工时，储存盒可能因为形状或者外力位置出现偏移倾倒，不利于后续施力加工，延长储存盒加工时间和降低加工精度的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种真空用多层晶圆储存盒加工专用固定承载台，包括承载台体、存储盒体和固定机构，所述存储盒体放置在承载台体顶部，两个所述固定机构安装在承载台体表面且分别位于存储盒体两侧，所述固定机构包括固定板、转动杆、立板、调节组件和T型螺杆，所述固定板通螺钉固定在承载台体前表面，所述转动杆竖直安装在固定板上，所述立板上端通过调节组件安装在转动杆上端，所述立板下端表面垂直且旋合安装有T型螺杆。
[0006]优选的，所述调节组件包括卡板、固定轴和限位螺栓，U型的所述卡板固定在转动杆端部，所述卡板内部固定有固定轴，所述立板端部转动套设在固定轴上。
[0007]优选的，所述卡板侧面开设有多个穿孔，所述限位螺栓穿过穿孔与立板螺纹连接。
[0008]优选的，所述立板包括外侧板、内侧板、限位环和固定柱，所述外侧板端部转动安装在调节组件内，所述内侧板位于外侧板外侧，且二者通过限位环和固定柱活动连接。
[0009]优选的，所述固定柱固定在外侧板端部表面，且所述固定柱端部穿过内侧板表面开设的矩形孔露在外侧，所述限位环旋合套设在固定柱端部且与内侧板表面接触限位。
[0010]优选的，所述转动杆包括固定外管、活动内杆和限位螺钉，所述固定外管竖直固定在固定板表面，所述活动内杆活动位于固定外管中。
[0011]优选的，所述限位螺钉垂直且旋合安装在固定外管上，且所述限位螺钉内端与活动内杆表面接触限位。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013]（1）本技术通过设置有固定机构，既不影响存储盒体放置和加工，又可对放置在承载台体顶部的存储盒体进行夹紧固定，避免存储盒体因受力加工出现偏移而影响加工精度的情况，且两个固定机构之间的夹紧距离可根据存储盒体形状尺寸进行调节。
[0014]（2）本技术利用立板长度可调节性，便于根据需要调节立板的长度，从而改变T型螺杆的位置，使其后续便于对存储盒体接触夹紧，增加整个固定机构安装使用范围。
附图说明
[0015]图1为本技术的结构示意图；
[0016]图2为本技术固定机构的结构示意图；
[0017]图3为本技术调节组件的结构示意图；
[0018]图4为本技术立板的结构示意图；
[0019]图5为本技术转动杆的结构示意图；
[0020]图中：1、承载台体；2、存储盒体；3、固定机构；31、固定板；32、转动杆；321、固定外管；322、活动内杆；323、限位螺钉；33、立板；331、外侧板；332、内侧板；333、限位环；334、固定柱；34、调节组件；341、卡板；342、固定轴；343、限位螺栓；35、T型螺杆。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]请参阅图1
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图5，本技术提供一种技术方案：一种真空用多层晶圆储存盒加工专用固定承载台，包括承载台体1、存储盒体2和固定机构3，存储盒体2放置在承载台体1顶部，两个固定机构3安装在承载台体1表面且分别位于存储盒体2两侧，固定机构3包括固定板31、转动杆32、立板33、调节组件34和T型螺杆35，固定板31通螺钉固定在承载台体1前表面，后续可拆卸取下，转动杆32竖直安装在固定板31上，立板33上端通过调节组件34安装在转动杆32上端，立板33可上下转动和水平方向转动，立板33下端表面垂直且旋合安装有T型螺杆35，T型螺杆35端部对存储盒体2表面接触卡紧，通过设置有固定机构3，既不影响存储盒体2放置和加工，又可对放置在承载台体1顶部的存储盒体2进行夹紧固定，避免存储盒体2因受力加工出现偏移而影响加工精度的情况，且两个固定机构3之间的夹紧距离可根据存储盒体2形状尺寸进行调节。
[0023]本实施例中，优选的，调节组件34包括卡板341、固定轴342和限位螺栓343，U型的卡板341固定在转动杆32端部，卡板341内部固定有固定轴342，立板33端部转动套设在固定轴342上，立板33可绕着固定轴342转动调节位置，卡板341侧面开设有多个穿孔，限位螺栓343穿过穿孔与立板33螺纹连接，利用限位螺栓343可对立板33的角度位置进行固定，通过设置有调节组件34，可根据存储盒体2尺寸调节立板33的工作角度，便于后续T型螺杆35端部与存储盒体2表面接触卡紧。
[0024]本实施例中，优选的，立板33包括外侧板331、内侧板332、限位环333和固定柱334，外侧板331端部转动安装在调节组件34内，内侧板332位于外侧板331外侧，二者之间长度可
调节，且二者通过限位环333和固定柱334活动连接，固定柱334固定在外侧板331端部表面，且固定柱334端部穿过内侧板332表面开设的矩形孔露在外侧，限位环333旋合套设在固定柱334端部且与内侧板332表面接触限位，利用接触的摩擦阻力对内侧板332和外侧板331之间距离进行调节，利用立板33长度可调节性，便于根据需要调节立板33的长度，从而改变T型螺杆35的位置，使其后续便于对存储盒体2接触夹紧，增加整个固定机构3安装使用范围。
[0025]本实施例中，优选的，转动杆32包括固定外管321、活动内杆322和限位螺钉323，固定外管321竖直固定在固定板31表面，活动内杆322活动位于固定外管321中，二者之间的高度可调节，限位螺钉323垂直且旋合安装在固定外管321上，且限位螺钉323内端与活动内杆322表面接触限位，利用限位螺钉323可对活动内杆322位置固定限位，利用转动杆32，既可调节转本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空用多层晶圆储存盒加工专用固定承载台，包括承载台体（1）、存储盒体（2）和固定机构（3），所述存储盒体（2）放置在承载台体（1）顶部，其特征在于：两个所述固定机构（3）安装在承载台体（1）表面且分别位于存储盒体（2）两侧，所述固定机构（3）包括固定板（31）、转动杆（32）、立板（33）、调节组件（34）和T型螺杆（35），所述固定板（31）通螺钉固定在承载台体（1）前表面，所述转动杆（32）竖直安装在固定板（31）上，所述立板（33）上端通过调节组件（34）安装在转动杆（32）上端，所述立板（33）下端表面垂直且旋合安装有T型螺杆（35）。2.根据权利要求1所述的一种真空用多层晶圆储存盒加工专用固定承载台，其特征在于：所述调节组件（34）包括卡板（341）、固定轴（342）和限位螺栓（343），U型的所述卡板（341）固定在转动杆（32）端部，所述卡板（341）内部固定有固定轴（342），所述立板（33）端部转动套设在固定轴（342）上。3.根据权利要求2所述的一种真空用多层晶圆储存盒加工专用固定承载台，其特征在于：所述卡板（341）侧面开设有多个穿孔，所述限位螺栓（343）穿过穿孔与立板（33）螺纹连接。4.根据权利要求1所述的一种真...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘建蔚，
申请(专利权)人：昆山兴宇宏机械科技有限公司，
类型：新型
国别省市：