一种晶圆基板收纳结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆基板收纳结构，包括收纳主体，所述收纳主体包括容器壳体、定位板和盖板，所述定位板安装在所述容器壳体的顶部，所述盖板安装在所述容器壳体的前表面，还包括锁紧结构和气体置换结构，所述锁紧结构安装在所述容器壳体的前表面同时位于所述盖板的内侧，所述气体置换结构安装在所述容器壳体的内侧后表面两端；通过在该收纳结构上设置便于操作的锁紧结构，方便闭合密封，提高使用时的便捷性，同时更好的进行密封，且通过在收纳结构内设置的气体置换结构，可对直接对准晶圆基板吹出惰性气体，从而更好的保证该结构的安全性。安全性。安全性。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆基板收纳结构


[0001]本技术属于收纳结构
，具体涉及一种晶圆基板收纳结构。

技术介绍

[0002]半导体芯片是在半导体片材上进行浸蚀，布线，制成的能实现某种功能的半导体器件，常见的半导体芯片有硅芯片、砷化镓、锗等，其中在半导体基板晶圆加工、保管或者运输过程中，为了保证晶圆基板的安全性，避免造成损坏，通常会使用到专用的收纳结构，通过收纳结构保证晶圆存储与运输时的安全性。
[0003]现有的晶圆基板收纳结构，通常在使用时，通过往收纳结构内注入惰性气体进行防护，从而防止晶圆基板被污染，但常用的收纳结构在使用时，通常直接通过卡设闭合，密封效果较差的同时，容易导致惰性气体从而收纳结构内跑出，从而影响收纳时的安全性的问题，为此我们提出一种晶圆基板收纳结构。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种晶圆基板收纳结构，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的晶圆基板收纳结构，通常直接通过卡设闭合，密封效果较差的同时，容易导致惰性气体从而收纳结构内跑出，从而影响收纳时的安全性的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆基板收纳结构，包括收纳主体，所述收纳主体包括容器壳体、定位板和盖板，所述定位板安装在所述容器壳体的顶部，所述盖板安装在所述容器壳体的前表面，还包括锁紧结构和气体置换结构，所述锁紧结构安装在所述容器壳体的前表面同时位于所述盖板的内侧，所述气体置换结构安装在所述容器壳体的内侧后表面两端，且所述气体置换结构贴合固定在容器壳体上，所述锁紧结构包括密封板和锁紧件。
[0006]所述锁紧结构包括旋转体、进退动作体一和锁紧动作体二，所述旋转体安装在所述密封板上，所述旋转体的一侧设置有拨块，且所述进退动作体一安装在所述旋转体的两端，所述锁紧动作体二转动安装在所述进退动作体一的另一端。
[0007]所述旋转体的内侧开设有旋槽，所述进退动作体一的一端限位在旋槽内。
[0008]所述旋转体的顶部位于所述密封板上设置有限位杆，且所述进退动作体一内开设有限位槽，所述进退动作体一通过限位槽与限位杆限位。
[0009]所述密封板通过锁紧件安装在容器壳体内，同时所述锁紧件在所述密封板上对称设置有两个。
[0010]所述气体置换结构包括供气接头和定位体，所述定位体为条形结构，所述定位体设置在所述定位板上，所述供气接头的底部设置有一体结构的气体置换管，所述气体置换管的表面设置有吹气罩板，所述气体置换管的底部设置有保持架。
[0011]所述气体置换管通过螺栓贴合安装固定在所述容器壳体的后表面，同时所述气体置换管在容器壳体的内侧对称设置有两个，且两个所述气体置换管表面设置的吹气罩板上
开设有出气口。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013](1)通常在晶圆基板生产运输过程汇总，为了保证晶圆基板的安全性，会使用到专用的收纳结构进行存放，当常用的收纳结构使用时直接通过卡设闭合，密封效果较差的同时，容易导致惰性气体从而收纳结构内跑出，从而影响收纳时的安全性，通过在该收纳结构上设置便于操作的锁紧结构，方便闭合密封，提高使用时的便捷性，同时更好的进行密封，且通过在收纳结构内设置的气体置换结构，可对直接对准晶圆基板吹出惰性气体，从而更好的保证该结构的安全性。
附图说明
[0014]图1为本技术的结构示意图；
[0015]图2为本技术盖板打开后的结构示意图；
[0016]图3为本技术锁紧结构的后视安装结构示意图；
[0017]图4为本技术容器壳体的内部结构示意图；
[0018]图5为本技术供气接头与气体置换管的立体拆分结构示意图；
[0019]图中：100、容器壳体；101、定位板；102、盖板；200、密封板；201、旋转体；202、进退动作体一；203、旋槽；204、锁紧动作体二；205、限位槽；206、限位杆；207、拨块；300、供气接头；301、定位体；302、吹气罩板；303、气体置换管；304、保持架。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]请参阅图1、图2、图3、图4和图5，本技术提供一种技术方案：在晶圆基板生产加工后，为了保证运输或者存放过程中的稳定性与安全性，避免晶圆基板受到损坏时，会使用该收纳结构进行存储，一种晶圆基板收纳结构，包括收纳主体，收纳主体包括容器壳体100、定位板101和盖板102，定位板101限位安装在容器壳体100的顶部，盖板102固定安装在容器壳体100的前表面，具体的，还包括锁紧结构和气体置换结构，锁紧结构安装在容器壳体100的前表面同时位于盖板102的内侧，更好的密封盖设，防止晶圆基板存放时惰性气体泄漏，同时该结构方便拆装，提高操作时的便捷性，气体置换结构安装在容器壳体100的内侧后表面两端，且气体置换结构贴合固定在容器壳体100上，锁紧结构包括密封板200和锁紧件。
[0022]优选的，锁紧结构包括旋转体201、进退动作体一202和锁紧动作体二204，旋转体201转动设置在密封板200上，同时通过拨动拨快207可推动旋转体201转动，方便操作，且进退动作体一202安装在旋转体201的两端，锁紧动作体二204转动安装在进退动作体一202的另一端。
[0023]优选的，旋转体201的内侧开设有旋槽203，进退动作体一202的一端限位在旋槽203内，当旋转体201转动时可通过限位方式带动进退动作体一202进退，旋转体201的顶部
位于密封板200上设置有一体式的限位杆206，且进退动作体一202内开设有限位槽205，进退动作体一202通过限位槽205与限位杆206限位，当进退动作体一202进退时保证进退过程中的稳定性，避免晃动不稳，从而提高了该结构的稳定性，密封板200通过锁紧件安装在容器壳体100内，同时锁紧件在密封板200上对称设置有两个，通过在该收纳结构上设置便于操作的锁紧结构，当晶圆基板放置在容器壳体100的内部时，可取出密封板200盖设在容器壳体100的表面，同时通过拨块207转动旋转体201，旋转体201转动使得进退动作体一202的一端在旋槽203内限位转动，同时推动进退动作体一202收放，进退动作体一202通过限位槽205与限位杆206限位移动，从而保证该结构的稳定性，同时进退动作体一202的推动锁紧动作体二204转动卡设在容器壳体100的边缘处锁紧，该结构稳定便捷的同时，可起到更好的密封作用，然后再将盖板102盖设在密封板200的前表面，
[0024]优选的，气体置换结构包括供气接头300和定位体301，定位体301为条形结构，更好的保证安装固定，定位本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆基板收纳结构，包括收纳主体，所述收纳主体包括容器壳体(100)、定位板(101)和盖板(102)，所述定位板(101)安装在所述容器壳体(100)的顶部，所述盖板(102)安装在所述容器壳体(100)的前表面，其特征在于：还包括锁紧结构和气体置换结构，所述锁紧结构安装在所述容器壳体(100)的前表面同时位于所述盖板(102)的内侧，所述气体置换结构安装在所述容器壳体(100)的内侧后表面两端，且所述气体置换结构贴合固定在容器壳体(100)上，所述锁紧结构包括密封板(200)和锁紧件。2.根据权利要求1所述的一种晶圆基板收纳结构，其特征在于：所述锁紧结构包括旋转体(201)、进退动作体一(202)和锁紧动作体二(204)，所述旋转体(201)安装在所述密封板(200)上，所述旋转体(201)的一侧设置有拨块(207)，且所述进退动作体一(202)安装在所述旋转体(201)的两端，所述锁紧动作体二(204)转动安装在所述进退动作体一(202)的另一端。3.根据权利要求2所述的一种晶圆基板收纳结构，其特征在于：所述旋转体(201)的内侧开设有旋槽(203)，所述进退动作体一(202)的一端限位在旋槽(203)内。4.根据权利要求3所述的一种晶...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘建蔚，
申请(专利权)人：昆山兴宇宏机械科技有限公司，
类型：新型
国别省市：