用于单晶硅生产的插片机用硅片装载机构制造技术

本发明专利技术涉及插片机技术领域，具体的说是用于单晶硅生产的插片机用硅片装载机构，包括主体机构，所述主体机构上安装有驱动机构；所述主体机构上配合转动有固定机构；且所述驱动机构与固定机构抵触；所述主体机构上滑动设有抵触机构；所述主体机构上转动有防护机构；所述防护机构与限位机构配合连接；硅片进入到主体机构时与抵触机构抵触，进而使抵触机构滑动时对硅片受到的冲击力进行缓冲，从而在便于对硅片进行保护的同时也有利于防止硅片被撞损的情况；将硅片放好后，操作人员可以用手转动驱动机构，进而使驱动机构在主体机构内滑动时对固定机构进行抵触，固定机构转动时对硅片挤压，从而有利于防止硅片在移动过程中从主体机构中滑落出来的情况。构中滑落出来的情况。构中滑落出来的情况。

【技术实现步骤摘要】
用于单晶硅生产的插片机用硅片装载机构


[0001]本专利技术涉及插片机
，具体的说是用于单晶硅生产的插片机用硅片装载机构。

技术介绍

[0002]单晶硅通常指的是硅原子的一种排列形式形成的物质；硅是最常见应用最广的半导体材料，当熔融的单质硅凝固时，硅原子以金刚石晶格排列成晶核，其晶核长成晶面取向相同的晶粒，形成单晶硅。在单晶硅的生产加工过程中，一般需要使用到插片机将冲洗后的单晶硅片放置到插片盒中。
[0003]然而，插片机在对单晶硅片进行导向传送时会对其产生一定的冲击力，硅片与插片盒内壁抵触时可能会因碰撞而被撞损的情况，进而不利于提高硅片的处理效果；另外，由于硅片在清洗后上面会附着清洗液，当放入插片盒内进行移动时，没有得到固定的单晶硅片在位移时可能会从插片盒内滑落下来，进而容易使硅片摔落破损，从而不利于提高插片盒的防护效果。

技术实现思路

[0004]针对现有技术中的问题，本专利技术提供了用于单晶硅生产的插片机用硅片装载机构。
[0005]本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：用于单晶硅生产的插片机用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.用于单晶硅生产的插片机用硅片装载机构，其特征在于，包括主体机构(1)，所述主体机构(1)上安装有驱动机构(2)；所述主体机构(1)上配合转动有固定机构(6)；且所述驱动机构(2)与固定机构(6)抵触；所述主体机构(1)上滑动设有抵触机构(3)；所述主体机构(1)上转动有防护机构(4)；所述防护机构(4)与限位机构(5)配合连接；所述主体机构(1)包括垫板(104)，所述固定机构(6)包括转轴(605)，所述垫板(104)上配合转动有转轴(605)，所述转轴(605)上固定安装有连杆(603)，所述转轴(605)上套接有第二扭簧(604)，且所述连杆(603)通过第二扭簧(604)与垫板(104)配合连接，所述连杆(603)上固定连接有安装块(601)和固定块(606)。2.根据权利要求1所述的用于单晶硅生产的插片机用硅片装载机构，其特征在于：所述主体机构(1)还包括插片盒(101)，所述垫板(104)与插片盒(101)之间固定连接，且若干组所述垫板(104)呈等距排列，所述垫板(104)上固定连接有吸水海绵(103)。3.根据权利要求2所述的用于单晶硅生产的插片机用硅片装载机构，其特征在于：所述插片盒(101)上对称固定安装有两个固定架(102)，且所述固定架(102)的截面呈L形结构，所述插片盒(101)上设有插槽(105)。4.根据权利要求2所述的用于单晶硅生产的插片机用硅片装载机构，其特征在于：所述驱动机构(2)包括螺杆(202)，所述插片盒(101)上转动连接有螺杆(202)，所述螺杆(202)上固定安装有转动块(201)，所述螺杆(202)上螺纹连接有套杆(203)，所述插片盒(101)上等距设有若干个滑槽(204)，所述滑槽(204)内配合滑动设有抵块(205)，所述抵块(205)与套杆(203)之间固定连接，且所述抵块(205)的端部呈斜面设置。5.根据权利要求4所述的用于单晶硅生产的插片机用硅片装载机构，其特征在于：所述抵块(205)上滚动连接有滚轮(602)，所述安装块(...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱仁德，章祥静，
申请(专利权)人：无锡京运通科技有限公司，
类型：发明
国别省市：