输送车系统技术方案

本发明专利技术涉及一种桥式输送车系统，具备：行驶导轨；桥式输送车，在行驶导轨上行驶而输送FOUP，具有贮存非活性气体的罐，在FOUP的输送中从罐向FOUP的内部供给非活性气体；以及气体供给装置，沿着行驶导轨设置，向桥式输送车的罐供给非活性气体。罐供给非活性气体。罐供给非活性气体。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】输送车系统


[0001]本专利技术涉及一种输送车系统。

技术介绍

[0002]为了防止半导体制造过程中的半导体基板的氧化，已知有向收纳半导体基板的FOUP(Front Opening Unified Pod)等容器内注入氮气等非活性气体，将容器内的氧排除的结构(N2吹扫)。
[0003]在专利文献1中公开了设置有向桥式输送车所保持的FOUP供给氮气的氮气供给装置的物品输送设备。氮气供给装置设置于沿着桥式输送车的行驶路径的位置。
[0004]在专利文献2中公开了在对半导体元件等输送对象物进行输送的输送车(AGV)上设置有氮气储气瓶的构成。氮气储气瓶储藏用于向输送车内的输送对象物的收纳室供给的氮气。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：日本特开2016
‑
96192号公报
[0008]专利文献2：日本特开昭61
‑
196856号公报

技术实现思路

[0009]专利技术要解决的课题
[0010]在专利文献1所记载的物品输送设备中，仅能够在设置有氮气供给装置的气体供给位置处向桥式输送车所保持的FOUP供给氮气。因此，在桥式输送车的行驶时间较长的情况下，在桥式输送车的行驶中FOUP内的氮气逐渐减少，FOUP内的半导体基板有可能氧化。另一方面，在专利文献2所记载的构成中，在输送对象物的输送中能够从氮气储气瓶向收纳室供给氮气，但为了使氮气储气瓶内的氮气不用尽，需要定期地实施氮气储气瓶的更换作业等。
[0011]本专利技术的一个方案的目的在于提供一种输送车系统，能够有效地维持非活性气体向输送中的容器的供给。
[0012]用于解决课题的手段
[0013]本专利技术的一个方案的输送车系统具备：轨道；输送车，沿着轨道行驶而输送容器，具有贮存非活性气体的贮存部，在容器的输送中从贮存部向容器内部供给非活性气体；以及气体供给装置，沿着轨道设置，向输送车的贮存部供给非活性气体。
[0014]在上述输送车系统中，输送车具有用于向输送中的容器的内部供给非活性气体的贮存部。由此，在容器的输送中，能够持续地向容器内供给非活性气体，能够适当地维持容器内被非活性气体充满的状态。进而，在上述输送车系统中，沿着输送车行驶的轨道设置有向贮存部供给非活性气体的气体供给装置。由此，能够容易且适当地向输送车所具有的贮存部供给(补充)非活性气体。例如，在贮存部内的非活性气体用尽之前，使输送车沿着轨道
行驶至设置有气体供给装置的位置(气体供给位置)来补充非活性气体，由此能够适当地维持贮存部中贮存有非活性气体的状态。通过以上，根据上述输送车系统，能够有效地维持非活性气体向输送中的容器的供给。
[0015]上述输送车系统也可以进一步具备控制器，该控制器对贮存部中所贮存的非活性气体的状态进行监视，基于非活性气体的状态来判定是否需要向贮存部供给非活性气体，在判定为需要供给非活性气体的情况下，使输送车行驶至设置有气体供给装置的位置。根据上述构成，通过控制器，能够使贮存部内的非活性气体的状态监视以及非活性气体向贮存部内的补给自动化。其结果，能够适当地防止输送车的贮存部内的非活性气体用尽。
[0016]输送车也可以具有：气体供给管，与贮存部连接，供非活性气体流通；喷嘴，设置于气体供给管的前端，通过与设置于容器的底面的注入口连接而向容器内部供给非活性气体；以及支承台，支承容器的底面，并且能够将喷嘴固定在与容器的注入口对应的位置。根据上述构成，容器由支承台支承而容器的载荷施加于支承台，由此能够使容器的注入口与固定于支承台的喷嘴紧密地连接。由此，能够将贮存部内的非活性气体以稳定的状态经由气体供给管、喷嘴以及注入口向容器内供给。
[0017]输送车也可以进一步具有：主体部，在容器的输送中存放容器；以及升降机构，能够悬吊容器，并相对于主体部升降，支承台构成为，至少在升降机构进行升降动作时，能够退避到不与升降机构以及由升降机构悬吊的容器干涉的退避位置。根据上述构成，支承台构成为能够退避到退避位置，由此能够适当地进行与升降机构的升降动作相伴随的容器的移载动作(抓货或者卸货)。
[0018]输送车也可以为，在使支承台退避到退避位置的状态下，利用升降机构对容器进行抓货而使其上升，由此将容器存放到主体部内，在容器被存放到主体部内之后，将支承台从退避位置配置到容器下方，在支承台被配置到容器下方之后，使升降机构动作以将容器载放到支承台上。根据上述构成，通过对升降机构以及支承台的一系列动作进行控制，由此能够在对容器进行抓货之后向能够从贮存部向该容器内供给非活性气体的状态顺畅地转移。
[0019]支承台也可以具有对容器向上下方向的移动进行限制的限制部件。根据上述构成，在容器的输送中(非活性气体向容器内的供给中)，能够防止容器相对于支承台朝上方飞出。由此，能够使容器的注入口与固定于支承台的喷嘴之间的连接状态稳定化。
[0020]专利技术的效果
[0021]根据本专利技术的一个方案，能够提供一种输送车系统，能够有效地维持非活性气体向输送中的容器的供给。
附图说明
[0022]图1是表示一个实施方式的桥式输送车系统的图。
[0023]图2是表示设置于支承台的锁定机构的图。
[0024]图3是表示从气体供给装置向桥式输送车供给非活性气体的状态的图。
[0025]图4是表示桥式输送车系统的动作的一例的流程图。
[0026]图5是表示从对FOUP进行抓货到进行卸货为止的桥式输送车的动作的一例的流程图。
[0027]图6的(A)以及图6的(B)是表示抓货处理时的桥式输送车的动作的图。
[0028]图7的(A)以及图7的(B)是表示抓货处理时的桥式输送车的动作的图。
具体实施方式
[0029]以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行详细说明。在附图的说明中，对于相同或者等同的要素使用相同的符号并省略重复的说明。
[0030]图1是表示一个实施方式的桥式输送车系统的图。如图1所示，桥式输送车系统1(输送系统)具备行驶导轨2(轨道)、桥式输送车3(输送车)、气体供给装置4以及上位控制器5。行驶导轨2设置于比地面高的位置(例如无尘室的顶棚等)。桥式输送车3沿着行驶导轨2行驶。桥式输送车3例如在保管设备与规定的装载口之间输送FOUP10(容器)或者中间掩模盒等。通常，桥式输送车系统1具备多个桥式输送车3，但在本实施方式中，着眼于一个桥式输送车3进行说明。
[0031]在FOUP10中收纳有多个半导体晶片等。FOUP10具有供桥式输送车3把持的凸缘10a。此外，在FOUP10的底面10b上设置有将FOUP10的内部(在本实施方式中，为收纳有多个半导体晶片的收纳室内)与外部连通的注入口10c。
[0032]在以下的说明中，为了便于说明，将沿着行驶导轨2的方向(图1的左右方向)设为X轴方向，铅垂方向(图1的上下方向)设为Z轴方向，与X轴方向以及Z轴方向的双方正交的方本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种输送车系统，具备：轨道；输送车，在上述轨道上行驶而输送容器，具有贮存非活性气体的贮存部，在上述容器的输送中从上述贮存部向上述容器的内部供给上述非活性气体；以及气体供给装置，沿着上述轨道设置，向上述输送车的上述贮存部供给上述非活性气体。2.根据权利要求1所述的输送车系统，其中，还具备控制器，该控制器对上述贮存部所贮存的上述非活性气体的状态进行监视，基于上述非活性气体的状态来判定是否需要向上述贮存部供给上述非活性气体，在判定为需要供给上述非活性气体的情况下，使上述输送车行驶至设置有上述气体供给装置的位置。3.根据权利要求1或2所述的输送车系统，其中，上述输送车具有：气体供给管，与上述贮存部连接，供上述非活性气体流通；喷嘴，设置于上述气体供给管的前端，通过与设置于上述容器的底面的注入口连接而向上述容器的内部供给上述非活性气体；以及支承台，支承上述容器的上述底面，并且能够将上述喷嘴...

【专利技术属性】
技术研发人员：本告阳一，
申请(专利权)人：村田机械株式会社，
类型：发明
国别省市：