石英舟与石英舟系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种石英舟，包括主体以及硅片间隔结构，硅片间隔结构包括第一间隔结构、第二间隔结构以及硅片安装组，其中，所述硅片安装组包括多个硅片安装位，所述硅片安装位用于安装所述硅片，所述硅片安装位之间的间距相同，且所述硅片安装组与所述第一间隔结构之间的间距等同于所述硅片安装位之间的间距，所述硅片安装组与所述第二间隔结构之间的间距等同于所述硅片安装位之间的间距。通过让硅片安装组与第一间隔结构之间的间距等同于硅片安装位之间的间距以及让硅片安装组与第二间隔结构之间的间距等同于硅片安装位之间的间距，进而减少在扩散通源时形成的扰流，提高硅片的质量。片的质量。片的质量。

【技术实现步骤摘要】
石英舟与石英舟系统


[0001]本公开涉及太阳能电池制造设备领域，具体涉及一种石英舟与石英舟系统。

技术介绍

[0002]光伏能源发展不断推陈出新，目前晶硅电池片在尺寸上也不断向大硅片方向发展，G12即210兼容M10即182尺寸已然经成为行业新投产能的标配。而且随着业内晶硅电池生产机台设备产能的不断提升，对应器具的设计尺寸也在不断加大。在晶硅电池生产工艺流程中，硅片尺寸越大，扩散工序形成PN结的均匀性越难控制。随着机台产能需求的增加，作为扩散时晶硅硅片的载体的石英舟载片量在增加，舟的尺寸也在不断加长，对扩散方阻的控制更增加了难度。
[0003]目前182
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210大尺寸硅片石英舟，一舟可容纳1400
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1600片，较常规石英舟载片量增加一倍。其石英舟设计分为3段，每两段之间有承重设计，避免舟形变损坏。由于舟段间的分段间隔，导致硅片在炉管内部排列并非等距分布，承重块位置与硅片距离较大，存在较大空隙，在扩散通源时，会形成间隙区域扰流，导致该位置硅片扩散电阻严重偏小，以间隙最外侧一片表现最为突出。该类方阻本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英舟，其特征在于，包括主体以及硅片间隔结构，硅片间隔结构包括第一间隔结构、第二间隔结构以及硅片安装组，其中，所述硅片安装组包括多个沿第一方向依次分布的硅片安装位，所述硅片安装位形成于所述主体，且所述硅片安装位用于安装所述硅片，其中所述第一间隔结构、所述硅片安装组以及所述第二间隔结构沿所述第一方向依次设置，所述硅片安装位之间的间距相同，且所述硅片安装组与所述第一间隔结构之间的间距等同于所述硅片安装位之间的间距，所述硅片安装组与所述第二间隔结构之间的间距等同于所述硅片安装位之间的间距。2.根据权利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述第一间隔结构与所述第二间隔结构为间隔片，其中，间隔片为石英片或者硅片；或者所述第一间隔结构与所述第二间隔结构为间隔片组，其中所述间隔片组包括多片沿第一方向依次分布的间隔片，所述间隔片之间的间距等于所述硅片安装位之间的间距，其中，间隔片为石英片或者硅片。3.根据权利要求2所述的石英舟，其特征在于，所述间隔片可拆卸地安装于所述主体。4.根据权利要求2所述的石英舟，其特征在于，所述间隔片的厚度为0.2
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0.5cm。5.根据权利要求1所述的石英舟，其特征在于，包括多个沿所述第一方向分布的所述硅片间隔结构。6.根据权利要求1
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5任一项所述的石英舟，其特征在于，一个所述硅片安装位包括位于同一横切面的一个或多个第一舟槽，所述第一舟槽安装于所述主体，其中，所述横切面与所...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈素素，李志辉，王贵梅，
申请(专利权)人：晶澳太阳能有限公司，
类型：新型
国别省市：