下载石英舟与石英舟系统的技术资料

文档序号:33073337

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本实用新型公开了一种石英舟,包括主体以及硅片间隔结构,硅片间隔结构包括第一间隔结构、第二间隔结构以及硅片安装组,其中,所述硅片安装组包括多个硅片安装位,所述硅片安装位用于安装所述硅片,所述硅片安装位之间的间距相同,且所述硅片安装组与所述第一...
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