适用于异质结电池非晶硅沉积的载板制造技术

本实用新型专利技术公开了一种适用于异质结电池非晶硅沉积的载板，属于太阳能电池制造设备技术领域。其解决了现有技术中PECVD用载板不方便搬运、加工和经常会覆盖尘土的缺陷。其主要包括机架，还包括载板本体，所述载板本体上开设多个硅片卡槽，所述载板本体包括第一子载板和第二子载板，所述第一子载板通过铰链与第二子载板铰接，第一子载板上分别开设第一横向凹槽和第一竖向凹槽，第二子载板上分别开设与第一横向凹槽配合的第二横向凹槽和与第一竖向凹槽配合的第二竖向凹槽，第一横向凹槽和第二横向凹槽分别与第一固定板通过螺栓固定，第一竖向凹槽和第二竖向凹槽分别与第二固定板通过螺栓固定。过螺栓固定。过螺栓固定。

【技术实现步骤摘要】
适用于异质结电池非晶硅沉积的载板


[0001]本技术属于太阳能电池制造设备
，具体地说，尤其涉及一种适用于异质结电池非晶硅沉积的载板。

技术介绍

[0002]太阳能因其清洁安全无污染的特点成为利用效率最高的可再生资源之一。光伏技术作为太阳能最重要的应用之一，可以有效的改变能源消费结构、减小全球变暖和生态环境的增长式恶化趋势。为了实现碳中和，迫切需要开发具有高效、低成本的太阳能电池。其中异质结太阳能电池因其具有高转换效率、低温度系数好以及简单的低温工艺而受到广泛关注。
[0003]现有的异质结太阳能电池制备过程包括制绒清洗、非晶硅沉积、TCO沉积和丝网印刷电级；非晶硅沉积步骤起到钝化、形成p
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n结的关键作用，对于HJT电池的转换效率起到决定性作用，因此，制备性能优异的非晶硅薄膜是获得高效HJT电池的关键技术；现有技术中的HJT电池非晶硅薄膜主要使用PECVD设备制作，传统PECVD载板为平板式结构，目前能够用于制作的载板原材料有石墨、碳纤维、金属等材料，不同的材料制作的不同结构的载板会直接影响电池转换效率。但是由本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于异质结电池非晶硅沉积的载板，包括载板本体，所述载板本体上开设多个硅片卡槽(1)，其特征在于：所述载板本体包括第一子载板(2)和第二子载板(3)，所述第一子载板(2)通过铰链(4)与第二子载板(3)铰接，第一子载板(2)上分别开设第一横向凹槽(5)和第一竖向凹槽(6)，第二子载板(3)上分别开设与第一横向凹槽(5)配合的第二横向凹槽(7)和与第一竖向凹槽(6)配合的第二竖向凹槽(8)，所述第一横向凹槽(5)和第二横向凹槽(7)中安装第一固定板(9)，第一横向凹槽(5)和第二横向凹槽(7)分别与第一固定板(9)通过螺栓(10)固定，第一竖向凹槽(6)和第二竖向凹槽(8)中安装第二固定板(11)，第一竖向凹槽(6)和第二竖向凹槽(8)分别与第二固定板(11)通过螺栓(10)固定，所述第一子载板(2)的底面和第二子载板(3)的底面上分别开设第一底凹槽(12)和第二底凹槽(13)，所述第一底凹槽(12)和第二底凹槽(13)内安装第三固定板(14)，且第三固定板(14)分别与第一底凹槽(12)和第二底凹槽(13)通过螺栓(10)固定。2.根据权利要求1所述的适用于异质结电池非晶硅沉积的载板，其特征在于：所述第一子载板(2)和第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：师海峰，白焱辉，王继磊，黄金，鲍少娟，冀杨洲，高英杰，贾慧君，
申请(专利权)人：晋能光伏技术有限责任公司，
类型：新型
国别省市：