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本实用新型公开了一种适用于异质结电池非晶硅沉积的载板，属于太阳能电池制造设备技术领域。其解决了现有技术中PECVD用载板不方便搬运、加工和经常会覆盖尘土的缺陷。其主要包括机架，还包括载板本体，所述载板本体上开设多个硅片卡槽，所述载板本体包括...
该专利属于晋能光伏技术有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过晋能光伏技术有限责任公司授权不得商用。

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