TOPCon电池正面叠层减反膜的制备方法技术

本发明专利技术涉及一种TOPCon电池正面叠层减反膜的制备方法，属于太阳能电池制备技术领域。包括：进舟、预热并抽真空；检漏并抽真空；氨气预沉积；辉光放电；抽真空；预沉积硅烷和氨气；沉积第一氮化硅膜层；沉积第二氮化硅膜层；沉积第三氮化硅膜层；沉积第四氮化硅膜层；抽真空、吹扫炉管、恢复气压后出舟。本发明专利技术可以在TOPCon电池正面形成叠层的纯氮化硅减反膜，不仅具有良好的减反射效果，还能对硅片表面进行钝化，提高电池的性能。同时，因为氮化硅膜层具有更好的致密性，可显著提升电池片的抗PID、UV衰减性能。此外，该工艺还可以取消笑气(N<subgt;2</subgt;O)的耗用，进而取消尾排笑气尾气处理设备，从而可以降低生产成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及太阳能电池制备，尤其涉及一种topcon电池正面叠层减反膜的制备方法。

技术介绍

1、topcon电池，全称为tunnel oxide passivated contact电池，是一种基于选择性载流子原理的隧穿氧化层钝化接触的太阳能电池，近年来，由于其高转换效率、低衰减性能、高性价比等明显优势，逐步被行业企业采纳。其电池结构为n型硅衬底电池，在电池背面制备一层超薄氧化硅，然后再沉积一层掺杂硅薄层，二者共同形成了钝化接触结构，有效降低表面复合和金属接触复合。由于优异的载流子选择性钝化接触性能，使得用topcon电池理论极限效率高达28.7％，是最接近晶体硅太阳电池理论极限效率(29.43％)的技术，具有非常远大的研发潜力。

2、目前市场制备topcon电池的正面减反射膜层主要使用pecvd工艺(等离子增强化学气相沉积法)制备，具体为：向反应室内通入硅烷(sih4)、氨气(nh3)和一氧化二氮(n2o)等反应气体，在电场的作用下电离形成等离子体，等离子体中的高能电子与反应气体分子碰撞，使其激发、离解或电离，从而生成反应所需的活性基团，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种TOPCon电池正面叠层减反膜的制备方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的TOPCon电池正面叠层减反膜的制备方法，其特征在于，所述S1中的进舟、预热并抽真空，包括：

3.根据权利要求1所述的TOPCon电池正面叠层减反膜的制备方法，其特征在于，所述S2中的检漏并抽真空，包括：

4.根据权利要求1所述的TOPCon电池正面叠层减反膜的制备方法，其特征在于，所述S3中的氨气预沉积，包括：

5.根据权利要求1所述的TOPCon电池正面叠层减反膜的制备方法，其特征在于，所述S4中的辉光放电，包括：

<p>6.根据权利要求...

【技术特征摘要】

1.一种topcon电池正面叠层减反膜的制备方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的topcon电池正面叠层减反膜的制备方法，其特征在于，所述s1中的进舟、预热并抽真空，包括：

3.根据权利要求1所述的topcon电池正面叠层减反膜的制备方法，其特征在于，所述s2中的检漏并抽真空，包括：

4.根据权利要求1所述的topcon电池正面叠层减反膜的制备方法，其特征在于，所述s3中的氨气预沉积，包括：

5.根据权利要求1所述的topcon电池正面叠层减反膜的制备方法，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：穆晓超，崔宁，张伟，郝鹏飞，王菲，杨海翠，颉林娜，杨立友，
申请(专利权)人：晋能光伏技术有限责任公司，
类型：发明
国别省市：