半导体激光器注入电流调频无机械飞点扫描干涉系统技术方案

本发明专利技术公开了一种半导体激光器注入电流调频无机械飞点扫描干涉系统，特点是，它包括：注入式半导体激光器、聚焦镜、消色差物镜、编码光栅、柱面反射镜、分光棱镜、光电位置检测器、分析电路、微处理器、高速ＣＣＤ器件和分光棱镜构成的迈克尔逊干涉仪、其测量臂直接射于被测区域，参考臂为标准平面、阶梯平面或装校样板，本发明专利技术的优点是，利用注入式半导体激光器的调频特性，加入编码光栅后，改变注入电流的大小即可实现无机械扫描。采用光电位置探测器，可以精确计算注入电流变化与光点位移变化的关系，使利用注入式半导体激光器非线性调频区域进行检测成为了现实，大大增加了调制宽度。利用此方法，也可确定某一注入电流大小下，输出光频的大小。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种利用改变半导体激光器注入电流，对输出光进行调频，通过编码光栅实现的无机械飞点扫描的系统。
技术介绍
近年来，随着对微/小机械及相关技术实际需求的快速发展，解决微/小工件的定位、实时检测、局部表面光-糙性质监控等已成为机械检测领域的突出的问题，这些问题通过扫描系统来解决，但现有的各种扫描系统，一般都是通过机械运动的方法，例如转动反射镜来实现扫描。这种扫描方法的特点是简单，易于控制，但是由于机械运动的影响，其扫描精度一般不会太高，进而影响检测精度。
技术实现思路
本专利技术的目的为了克服现有技术的缺点，提供一种半导体激光器注入电流调频无机械飞点扫描干涉系统，消除了机械振动对检测精度的影响。本专利技术的技术方案如下一种半导体激光器注入电流调频无机械飞点扫描干涉系统，其特点是，它包括一个能改变注入电流的大小，改变输出光的频率大小的注入式半导体激光器；一聚焦镜，用于对注入式半导体激光器所发出的激光进行聚焦，通过置于其后的针孔发出平行光；一消色差物镜，消除通过针孔后平行光的色差；一编码光栅，通过消色差物镜后输出平行光，入射到刻线由密到疏按设计的函数分布编码光栅上，使平行光束按疏本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体激光器注入电流调频无机械飞点扫描干涉系统，其特征在于，它包括：一个能改变注入电流的大小，改变输出光的频率大小的注入式半导体激光器；　　　　一聚焦镜，用于对注入式半导体激光器所发出的激光进行聚焦，通过置于其后的针孔发出平行光；　　　　一消色差物镜，消除通过针孔后平行光的色差；　　　　一编码光栅，通过消色差物镜后输出平行光，入射到刻线由密到疏按设计的函数分布编码光栅上，使平行光束按疏密方向汇聚为一条直线；　　　　一柱面反射镜，编码光栅的聚焦线设计在一轴心与其垂直的柱面反射镜上，使聚焦成一条直线的光线汇聚成矩形小点，将输出光频的改变转变为光点位移的改变；　　　　一消色差物镜，消除经柱面反射...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：郑刚，李孟超，董翔宇，
申请(专利权)人：上海理工大学，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]