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本发明公开了一种半导体激光器注入电流调频无机械飞点扫描干涉系统，特点是，它包括：注入式半导体激光器、聚焦镜、消色差物镜、编码光栅、柱面反射镜、分光棱镜、光电位置检测器、分析电路、微处理器、高速ＣＣＤ器件和分光棱镜构成的迈克尔逊干涉仪、其测量...
该专利属于上海理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海理工大学授权不得商用。

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