反应腔室辅助安装装置以及安装方法制造方法及图纸

本申请属于半导体加工技术领域，具体涉及一种反应腔室辅助安装装置以及安装方法。该辅助安装装置包括辅助框架、导轨、滑块以及承载板，两个以上的导轨并列设置在所述辅助框架的顶部，每个所述导轨上均对应设置有所述滑块，所述滑块可移动地设置在对应的所述导轨上，所述承载板和所述导轨对应设置，所述承载板通过对应的所述导轨上的滑块支撑，所述反应腔室可落在所述承载板上，推动所述反应腔室，所述反应腔室可带动所述承载板上沿导轨滑动至待安装位置。本申请可改善去胶设备的反应腔室的安装效率、安装成本以及安装的安全性，具有很好的实用价值。的实用价值。的实用价值。

【技术实现步骤摘要】
反应腔室辅助安装装置以及安装方法


[0001]本申请属于半导体加工
，具体涉及一种反应腔室辅助安装装置以及安装方法。

技术介绍

[0002]去胶设备的反应腔室质量较重，在安装及维护时需要高位叉车将反应腔室吊起，以辅助安装，对安装人员的人力、安装所需的辅助工具以及待安装设备附近的所需要的维护空间要求较高，安装效率低，且安装成本较高。
[0003]另外，去胶设备的反应腔室吊起后，需要两人将反应腔室推至于传送腔室连接位置处，再通过另外的两人安装螺丝固定，其安装方式耗费人力、且安装时安全风险较大、极易出现重物伤人的意外情况的发生。
[0004]因此，需对现有技术改进。

技术实现思路

[0005]为解决上述技术问题，本申请提供一种反应腔室辅助安装装置以及安装方法，旨在至少能够在一定程度上改善去胶设备的反应腔室的安装效率、安装成本以及安装的安全性。
[0006]本申请的技术方案为：
[0007]一方面，本申请提供了一种反应腔室辅助安装装置，以辅助反应腔室的安装，所述辅助安装装置包括：
[0008]辅助框架；
[0009]两个以上的导轨，并列设置在所述辅助框架的顶部；
[0010]滑块，每个所述导轨上均对应设置有所述滑块，所述滑块可移动地设置在对应的所述导轨上；
[0011]承载板，所述承载板和所述导轨对应设置，所述承载板通过对应的所述导轨上的滑块支撑，所述反应腔室可落在所述承载板上，推动所述反应腔室，所述反应腔室可带动所述承载板上沿导轨滑动至待安装位置。
[0012]在一些实施方案中，所述辅助框架包括两个相对设置的支撑板；
[0013]所述导轨设置有两个，所述导轨和所述支撑板对应设置，所述导轨固定设置在对应的所述支撑板上。
[0014]在一些实施方案中，所述导轨的长度方向的两端均设置有定位件。
[0015]在一些实施方案中，每个所述导轨上的两个所述定位件相对的端部均设置有缓存件。
[0016]在一些实施方案中，所述导轨的宽度方向的两侧设置在凹槽，所述滑块设置有嵌设在所述凹槽中的导向部。
[0017]在一些实施方案中，所述承载板和对应的所述导轨上的滑块固定连接。
[0018]可选地，所述承载板和对应的所述导轨上的滑块通过多个螺钉固定连接。
[0019]在一些实施方案中，所述承载板的顶部的宽度方向的外侧均设置有第一定位件，两个所述承载板上的所述第一定位件和所述反应腔室的宽度方向的尺寸相一致。
[0020]在一些实施方案中，所述承载板的顶部的宽度方向的外侧均还设置有第二定位件，所述第二定位件包括固定连接且成L形的第一定位板以及第二定位板，所述第一定位板的内侧面和所述第一定位件的内侧面位于同一直线上，所述第二定位板设置在所述第一定位板的内侧。
[0021]另一方面，本申请还提供了一种反应腔室安装方法，其特殊之处在于，所述安装方法包括：
[0022]操作反应腔室至上述辅助安装装置的承载板上；
[0023]推动反应腔室，所述反应腔室带动所述承载板上沿导轨滑动至待安装位置；
[0024]装配所述反应腔室至待安装处。
[0025]本申请的有益效果至少包括：
[0026]本申请所提供的一种反应腔室辅助安装装置以及安装方法，在实施时，先操作反应腔室至辅助安装装置的承载板上，由于辅助框架的顶部设置有两个以上并列的导轨，且每个导轨上均对应设置有滑块，承载板通过对应的导轨上的滑块支撑，当反应腔室落在承载板上后，可推动反应腔室，反应腔室可带动承载板上沿导轨滑动至待安装位置，即可进行反应腔室的安装，具有较好的机械化，可改善去胶设备的反应腔室的安装效率、安装成本以及安装的安全性，具有很好的实用价值。
附图说明
[0027]为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0028]图1为本申请实施例的一种反应腔室辅助安装装置的结构示意图；
[0029]图2为图1中的辅助框架的结构示意图；
[0030]图3为图1中的A处放大示意图；
[0031]图4为图3中的滑块在导轨上的装配示意图；
[0032]图5为图1中的承载板的结构示意图。
[0033]附图标记：
[0034]100
‑
辅助框架，101
‑
车体，102
‑
滚轮，103
‑
支撑板，200
‑
导轨，201
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凹槽，202
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定位件， 203
‑
缓冲件，204
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固定件，210
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第一通孔，220
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第二通孔，300
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滑块，301
‑
导向部，400
‑
承载板，401
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第一定位件，402
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第二定位件，4021
‑
第一定位板，4022
‑
第二定位板。
具体实施方式
[0035]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其
他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0036]需要说明的是，本申请实施例中所有方向性指示仅用于解释在某一特定姿态下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
[0037]下文的公开提供了许多不同的实施例或例子用来实现本申请的不同结构。为了简化本申请的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本申请。此外，本申请可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施例和/或设置之间的关系。此外，本申请提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。
[0038]图1为本申请实施例的一种反应腔室辅助安装装置的结构示意图，结合图1，该反应腔室辅助安装装置用于辅助反应腔室的安装，该辅助安装装置包括辅助框架100、导轨200、滑块300以及承载板400。
[0039]图2为图1中的辅助框架的结构示意图，结合图1以及图2，本申请实施例的辅助框架100包括车体101、滚轮102以及支撑板103，其中，车体101整体可呈箱型，多个滚轮102设置在车体101的底部，可通过滚轮102将辅助框架100移动至所需位置，且，滚轮102 本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种反应腔室辅助安装装置，以辅助反应腔室的安装，其特征在于，所述辅助安装装置包括：辅助框架；两个以上的导轨，并列设置在所述辅助框架的顶部；滑块，每个所述导轨上均对应设置有所述滑块，所述滑块可移动地设置在对应的所述导轨上；承载板，所述承载板和所述导轨对应设置，所述承载板通过对应的所述导轨上的滑块支撑，所述反应腔室可落在所述承载板上，推动所述反应腔室，所述反应腔室可带动所述承载板上沿导轨滑动至待安装位置。2.根据权利要求1所述的反应腔室辅助安装装置，其特征在于，所述辅助框架包括两个相对设置的支撑板；所述导轨设置有两个，所述导轨和所述支撑板对应设置，所述导轨固定设置在对应的所述支撑板上。3.根据权利要求1所述的反应腔室辅助安装装置，其特征在于，所述导轨的长度方向的两端均设置有定位件。4.根据权利要求3所述的反应腔室辅助安装装置，其特征在于，每个所述导轨上的两个所述定位件相对的端部均设置有缓存件。5.根据权利要求1所述的反应腔室辅助安装装置，其特征在于，所述导轨的宽度方向的两侧设置在凹槽，所述滑块设置有嵌设在所述凹槽中的导向...

【专利技术属性】
技术研发人员：牛贞发，李庆伟，刘吉翔，
申请(专利权)人：无锡邑文电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：