冷凝器及半导体制程机台制造技术

本公开是关于一种冷凝器及半导体制程机台，涉及集成电路技术领域。该冷凝器包括：密封腔体；其中，所述密封腔体的内部设置有气流通道；所述气流通道的周围填充有冷却液；所述密封腔体上设置有进气口、出气口和排液口，所述进气口与所述气流通道的入口连通，所述出气口与所述气流通道的出口连通，所述排液口与所述气流通道连通；所述气流通道为特斯拉阀结构通道。本公开可以提高气体与冷却液的接触面积，提高冷凝器的冷凝效果。提高冷凝器的冷凝效果。提高冷凝器的冷凝效果。

【技术实现步骤摘要】
冷凝器及半导体制程机台


[0001]本公开涉及集成电路
，具体而言，涉及一种冷凝器及半导体制程机台。

技术介绍

[0002]光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展，更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用。
[0003]在半导体制程机台中，光刻胶经过高温烘烤后，会变成光刻胶蒸汽并从排气管排出。为了防止光刻胶沉积在排气管内，通常需要在进入排气管之前，通过冷凝器对光刻胶蒸汽进行冷凝收集。
[0004]然而，现有的冷凝器冷凝效果较差。
[0005]需要说明的是，在上述
技术介绍
部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

技术实现思路

[0006]本公开的目的在于提供一种冷凝器及半导体制程机台，进而至少在一定程度上克服冷凝器的冷凝效果较差的问题。
[0007]本公开的其他特性和优点将通过下面的详细描述变得显然，或部分地通过本专利技术的实践而习得。
[0008]根据本公开的第一方面，提供一种冷凝器，包括：密封腔体；其中，
[0009]所述密封腔体的内部设置有气流通道；
[0010]所述气流通道的周围填充有冷却液；
[0011]所述密封腔体上设置有进气口、出气口和排液口，所述进气口与所述气流通道的入口连通，所述出气口与所述气流通道的出口连通，所述排液口与所述气流通道连通；
[0012]所述气流通道为特斯拉阀结构通道。
[0013]可选的，所述密封腔体包括：密封连接的第一腔体和第二腔体；其中，
[0014]所述第一腔体的内部间隔设置有多个凸起部；
[0015]所述第二腔体的内部设置有容纳腔；
[0016]多个所述凸起部嵌入所述容纳腔中形成所述特斯拉阀结构通道。
[0017]可选的，多个所述凸起部沿所述特斯拉阀结构通道的中心线两侧间隔交错排列。
[0018]可选的，所述凸起部包括第一端和第二端；其中，
[0019]所述第一端的纵截面面积小于所述第二端的纵截面面积；
[0020]所述第一端朝向所述特斯拉阀结构通道的出口设置。
[0021]可选的，所述凸起部的内部填充有冷却液。
[0022]可选的，所述第二腔体还包括外壳，所述外壳的内部设置有所述容纳腔，所述容纳腔的腔壁与所述外壳之间填充有所述冷却液。
[0023]可选的，所述第一腔体和所述第二腔体上均设置有冷却水进口和冷却水出口。
[0024]可选的，所述第一腔体为上腔体，所述第二腔体为下腔体；
[0025]所述进气口和所述出气口设置在所述第一腔体上；
[0026]所述排液口设置在所述第二腔体上。
[0027]可选的，所述凸起部与所述容纳腔的底壁密封连接。
[0028]可选的，所述排液口处设置有排液管，所述排液管的外壁上设置有温度调节模块。
[0029]可选的，所述温度调节模块包括控制部和加热部，所述加热部包裹在所述排液管的外壁上；
[0030]所述控制部与所述加热部连接，用于控制所述加热部的加热时间以及加热温度。
[0031]根据本公开的第二方面，提供一种半导体制程机台，包括：光刻胶蒸汽排出口、废气排出口、集液箱和如上任一项所述的冷凝器；其中，
[0032]所述光刻胶蒸汽排出口与所述冷凝器的进气口连通；
[0033]所述废气排出口与所述冷凝器的出气口连通；
[0034]所述冷凝器的排液口与所述集液箱连通。
[0035]本公开提供的技术方案可以包括以下有益效果：
[0036]本公开的示例性实施方式中的冷凝器，一方面，气体在特斯拉阀结构通道中流通的过程中，一部分通过特斯拉结构通道的中心通道通过，还有很大一部分会从中心通道两侧的通道通过，并且气流会发生绕弯，在绕弯的过程中会增大气体流通的路径，进而增大气体与气流通道的通道壁接触的机会，使得气体有充足的机会被冷却，从而可以提高冷凝的效果。另一方面，由于特斯拉阀结构通道是一种几何形状固定的被动单向通道。被冷凝后的废气如果产生倒灌，沿相反的路径回流到气流通道中是很难的，因为从弯道处折回的废气会对回流的废气产生阻挡，从而可以阻止废气的回流，减少废气回灌的情况发生。再一方面，由于特斯拉阀结构通道无任何活动部件，无需输入能量即可实现气流单向导通，因此使用特斯拉阀结构通道的冷凝器无需动力装置即可实现气体的定向流通，从而可以节约冷凝器的加工成本，同时还可以节约能源。
[0037]应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。
附图说明
[0038]此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：
[0039]图1示意性示出了根据本公开的示例性实施方式的一个冷凝器的结构示意图；
[0040]图2示意性示出了根据本公开的示例性实施方式的一种冷凝器的气流通道的结构示意图一；
[0041]图3示意性示出了根据本公开的示例性实施方式的一种冷凝器的气流通道的结构示意图二；
[0042]图4示意性示出了根据本公开的示例性实施方式的一种冷凝器的第一腔体的俯视图；
[0043]图5示意性示出了根据本公开的示例性实施方式的一种冷凝器的第一腔体的仰视图；
[0044]图6示意性示出了图5中的A-A向的截面示意图；
[0045]图7示意性示出了根据本公开的示例性实施方式的一种冷凝器的第二腔体的俯视图；
[0046]图8示意性示出了图7中的B-B向的截面示意图。
[0047]附图标记说明：
[0048]100-冷凝器；110-进气口；120-出气口；130-排液口；140-气流通道；150-第一腔体；151-凸起部；160-第二腔体；161-容纳腔；162-外壳；170-冷却水进口；180-冷却水出口；190-温度调节模块。
具体实施方式
[0049]现在将参考附图更全面地描述示例实施例。然而，示例实施例能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施例；相反，提供这些实施例使得本公开将全面和完整，并将示例实施例的构思全面地传达给本领域的技术人员。在图中相同的附图标记表示相同或类似的部分，因而将省略对它们的重复描述。
[0050]此外，所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本公开的实施例的充分理解。然而，本领域技术人员将意识到，可以实践本公开的技术方案而没有所述特定细节中的一个或更多，或者可以采用其它的方法、组元、装置、步骤等。在其它情况下，不详细示出或描述公知结构、方法、装置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种冷凝器，其特征在于，包括：密封腔体；其中，所述密封腔体的内部设置有气流通道；所述气流通道的周围填充有冷却液；所述密封腔体上设置有进气口、出气口和排液口，所述进气口与所述气流通道的入口连通，所述出气口与所述气流通道的出口连通，所述排液口与所述气流通道连通；所述气流通道为特斯拉阀结构通道。2.根据权利要求1所述的冷凝器，其特征在于，所述密封腔体包括：密封连接的第一腔体和第二腔体；其中，所述第一腔体的内部间隔设置有多个凸起部；所述第二腔体的内部设置有容纳腔；多个所述凸起部嵌入所述容纳腔中形成所述特斯拉阀结构通道。3.根据权利要求2所述的冷凝器，其特征在于，多个所述凸起部沿所述特斯拉阀结构通道的中心线两侧间隔交错排列。4.根据权利要求2或3所述的冷凝器，其特征在于，所述凸起部包括第一端和第二端；其中，所述第一端的纵截面面积小于所述第二端的纵截面面积；所述第一端朝向所述特斯拉阀结构通道的出口设置。5.根据权利要求2所述的冷凝器，其特征在于，所述凸起部的内部填充有冷却液。6.根据权利要求2所述的冷凝器，其特征在于，所述第二腔体还包括外壳，所述外壳的内部设置有所...

【专利技术属性】
技术研发人员：李天龙，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：