一种半导体湿法刻蚀系统技术方案

本发明专利技术公开了一种半导体湿法刻蚀系统，包括机壳，机壳内设有平移腔，平移腔下端壁固定连接有左右对称的两个放置块，平移腔下端壁内设有两个左右对称的转动腔，机壳内设有运输机构、旋转机构、传动机构，运输机构能够将晶圆竖直的放入转动腔内，方便刻蚀，旋转机构能够使晶圆竖直方向转动，传动机构能够为旋转机构提供动力，通过运输机构中设有能够相向运动并能够与晶圆接触的夹紧轮，从而实现夹紧晶圆，防止晶圆掉落，通过设有的能够左右运动的平移块，以及能够上下运动的升降块，从而实现晶圆的自动上料与运输，通过旋转机构中设有的能够上下运动的升降杆，从而实现对不同规格的晶圆进行刻蚀。进行刻蚀。进行刻蚀。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体湿法刻蚀系统


[0001]本申请涉及晶圆刻蚀领域，尤其涉及一种半导体湿法刻蚀系统。

技术介绍

[0002]刻蚀工艺分为湿法刻蚀和干法刻蚀，在湿法刻蚀时需要刻蚀液对晶圆表面进行刻蚀，现有的刻蚀工艺通常将晶圆放入刻蚀槽中使刻蚀液浸润晶圆，此时由于晶圆的一面需要与支撑晶圆的实体接触，导致晶圆每次只能刻蚀一面，无法进行双面刻蚀，同时在运输晶圆中会接触晶圆待刻蚀表面，影响刻蚀效果。

技术实现思路

[0003]为解决以上问题，本专利技术通过以下技术方案予以实现：包括机壳，所述机壳内设有平移腔，所述平移腔下端壁固定连接有左右对称的两个放置块，所述放置块能够竖直放置晶圆，所述平移腔左端壁内设有动力腔，所述动力腔前后端壁内对称设有两个传动带腔，所述平移腔下端壁内设有两个左右对称的转动腔，所述转动腔与所述平移腔连通，所述转动腔下端壁内设有与所述转动腔连通的接触轮腔，所述接触轮腔右端壁内设有从动轮腔，两个所述转动腔下端壁内设有电机腔，所述电机腔设有两个左右对称设的皮带腔，所述电机腔左端壁内设有液压腔，所述机壳内设有运输机构、旋转机构、传动机构，所述运输机构能够将晶圆竖直的放入转动腔内，方便刻蚀，所述旋转机构能够使晶圆竖直方向转动，所述传动机构能够为旋转机构提供动力；所述运输机构包括所述动力腔左端壁固定连接的移动电机，所述移动电机动力连接有动力轴，所述动力轴固定连接有动力轮，所述传动带腔左端壁转动连接有另一端与所述平移腔右端壁转动连接的平移轴，所述平移轴固定连接有位于所述传动带腔内的传动带轮，两个所述传动带轮与所述动力轮之间连接设有传动带，所述平移腔内滑动连接有升降块，所述升降块内设有传动腔，所述传动腔右端壁内设有凸轮腔、椭圆轮腔，所述传动腔左端壁固定连接有动力电机，所述动力电机动力连接有转动轴，所述转动轴固定连接有不完全齿轮，所述传动腔左端壁转动连接有一端位于所述凸轮腔内的拉绳轮，所述拉绳轮固定连接有位于所述传动腔内的第二啮合轮，所述第二啮合轮能够与所述不完全齿轮啮合，所述拉绳轮固定连接有位于所述凸轮腔内的凸轮，所述凸轮腔内滑动连接有前后对称的两个拉绳板，所述拉绳板与所述凸轮腔端壁连接设有拉绳弹簧，所述传动腔左端壁转动连接有一端位于所述椭圆轮腔内的液压轴，所述液压轴固定连接有位于所述传动腔内的的第一啮合轮，所述第一啮合轮并能够与所述不完全齿轮啮合，所述液压轴固定连接有位于所述椭圆轮腔内的的椭圆轮，所述椭圆轮腔内滑动连接有前后对称的两个推液板，所述推液板与所述椭圆轮腔端壁之间连接有液压弹簧，所述升降块内前后对称设有两个存液腔，所述存液腔与所述椭圆轮腔连通，两个所述存液腔下端壁内设有左右两端和下端开口的夹紧腔，所述存液腔内滑动连接有一端位于所述夹紧腔内的推力板，所述推力板固定位于所述夹紧腔内的支撑块，所述夹紧腔前后端壁滑动连接有平移块，两个所述平移轴与所述平移块螺
纹连接，所述平移块与所述夹紧腔上端壁之间连接设有前后对称的两个推力弹簧，所述支撑块与所述平移块接触，所述升降块下端固定连接有前后对称的两个铰接轴，所述铰接轴转动连接有两个上下对称的铰接杆，两个所述铰接杆之间连接设有夹紧弹簧，两组上下对称的两个铰接杆与所述拉绳板之间连接设有夹紧拉绳，所述铰接杆转动连接有夹紧轮，四组所述夹紧轮能够夹紧晶圆，防止晶圆掉落。
[0004]优选的，所述旋转机构包括所述转动腔下端壁内设有的左右对称的两个升降腔，所述升降腔与所述液压腔连通，所述升降腔内滑动连接有升降板，所述升降板与所述升降腔下端壁连接设有升降弹簧，所述升降板固定连接有一端位于所述转动腔内的升降杆，所述升降杆位于所述转动腔内的一端内设有顶块腔，所述顶块腔靠经对称中心一侧端壁固定连接有上下对称的两个第一电磁铁，所述顶块腔内滑动连接有顶板，所述顶板与所述顶块腔端壁之间连接设有顶板弹簧，所述顶板固定连接有一端位于所述转动腔内的顶杆，所述顶杆固定连接有能够顶住晶圆中心位置的顶块，所述接触轮腔左端壁转动连接有一端位于所述从动轮腔内的接触轮轴，所述接触轮轴固定连接有位于所述接触轮腔内的接触轮，所述电机腔能够与晶圆边缘接触，所述接触轮轴固定连接有位于所述从动轮腔内的从动轮，所述转动腔左右端壁均匀分布有四组喷头，所述喷头能够喷洒刻蚀液与清洗液。
[0005]优选的，所述传动机构包括所述电机腔右端壁固定连接的驱动电机，所述驱动电机动力连接有驱动轴，所述驱动轴固定连接有转动块，所述转动块上下对称设有两个移动腔，所述移动腔右端壁固定连接有上下对称的两个第二电磁铁，所述移动腔内滑动连接有弹簧板，所述弹簧板与所述移动腔左端壁连接设有电磁弹簧，所述弹簧板固定连接有贯穿所述移动腔且两端位于所述电机腔内的移动杆，所述移动杆固定连接有位于所述电机腔内的切换块、摩擦块，所述电机腔右端壁转动连接有一端位于所述液压腔内的螺纹轴，所述螺纹轴固定连接有位于所述电机腔内的第一摩擦轮，所述第一摩擦轮能够与所述切换块接触，所述液压腔内滑动连接有液压板，所述液压板与所述螺纹轴螺纹连接，两个所述皮带腔远离对称中心一侧端面转动连接有皮带轮轴，所述皮带轮轴贯穿所述电机腔，所述皮带轮轴固定连接有位于所述皮带腔内的皮带轮，所述皮带轮轴固定连接有位于所述电机腔内的切换轮，所述切换轮能够与所述摩擦块接触，所述皮带轮与所述从动轮之间连接设有皮带。
[0006]本专利技术提供了一种半导体湿法刻蚀系统，具备以下有益效果：本专利技术通过设置了运输机构，从而通过运输机构中设有能够相向运动并能够与晶圆接触的夹紧轮，从而实现夹紧晶圆，防止晶圆掉落，同时由于圆晶竖直放置，可同时刻蚀晶圆两面，通过设有的能够左右运动的平移块，以及能够上下运动的升降块，从而实现晶圆的自动上料与运输，并且不会与晶圆刻蚀面接触，保证了刻蚀效果，本专利技术通过设置了旋转机构，通过旋转机构中设有的能够上下运动的升降杆，从而实现对不同规格的晶圆进行刻蚀，通过设置的能够相向运动从而顶住晶圆中心位置的顶块，以及能够转动的接触轮，从而实现晶圆竖直方向的旋转，保证了刻蚀的一致性，从而保证了刻蚀效果。
附图说明
[0007]图1是本专利技术的一种半导体湿法刻蚀系统三维示意图；图2是本专利技术的一种半导体湿法刻蚀系统内部结构示意图；图3是本专利技术图2中的A
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A处结构示意图；
图4是本专利技术图3的局部放大示意图；图5是本专利技术图2中的B
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B处结构示意图；图6是本专利技术传动腔的结构示意图；图7是本专利技术图2的局部放大示意图；图8是本专利技术图2中的C
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C处结构示意图。
具体实施方式
[0008]面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0009]参阅图1
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图8，本专利技术提供一种技术方案：一种半导体湿法刻蚀系统，包括机壳10，所述机壳10内设有平移腔15，所述平移腔15下端壁固定连接有左右对称的两个本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体湿法刻蚀系统，包括机壳（10），其特征在于：所述机壳（10）内设有平移腔（15），所述平移腔（15）下端壁固定连接有左右对称的两个放置块（11），所述放置块（11）能够竖直放置晶圆，所述平移腔（15）左端壁内设有动力腔（14），所述动力腔（14）前后端壁内对称设有两个传动带腔（82），所述平移腔（15）下端壁内设有两个左右对称的转动腔（18），所述转动腔（18）下端壁内设有与所述转动腔（18）连通的接触轮腔（29），所述接触轮腔（29）右端壁内设有从动轮腔（31），两个所述转动腔（18）下端壁内设有电机腔（36），所述电机腔（36）设有两个左右对称设的皮带腔（39），所述电机腔（36）左端壁内设有液压腔（44），所述机壳（10）内设有运输机构（88）、旋转机构（89）、传动机构（87），所述运输机构（88）能够将晶圆竖直的放入转动腔（18）内，方便刻蚀，所述旋转机构（89）能够使晶圆竖直方向转动，所述传动机构（87）能够为旋转机构（89）提供动力；所述运输机构（88）包括所述动力腔（14）左端壁固定连接的移动电机（13），所述移动电机（13）动力连接有动力轴（16），所述动力轴（16）固定连接有动力轮（12），所述传动带腔（82）左端壁转动连接有另一端与所述平移腔（15）右端壁转动连接的平移轴（17），所述平移轴（17）固定连接有位于所述传动带腔（82）内的传动带轮（81），两个所述传动带轮（81）与所述动力轮（12）之间连接设有传动带（80），所述平移腔（15）内滑动连接有升降块（67），所述升降块（67）内设有传动腔（74），所述传动腔（74）右端壁内设有凸轮腔（84）、椭圆轮腔（73），所述传动腔（74）左端壁固定连接有动力电机（77），所述动力电机（77）动力连接有转动轴（70），所述转动轴（70）固定连接有不完全齿轮（76），所述传动腔（74）左端壁转动连接有一端位于所述凸轮腔（84）内的拉绳轮（78），所述拉绳轮（78）固定连接有位于所述传动腔（74）内的第二啮合轮（79），所述第二啮合轮（79）能够与所述不完全齿轮（76）啮合，所述拉绳轮（78）固定连接有位于所述凸轮腔（84）内的凸轮（83），所述凸轮腔（84）内滑动连接有前后对称的两个拉绳板（69），所述拉绳板（69）与所述凸轮腔（84）端壁连接设有拉绳弹簧（68），所述传动腔（74）左端壁转动连接有一端位于所述椭圆轮腔（73）内的液压轴（71），所述液压轴（71）固定连接有位于所述传动腔（74）内的的第一啮合轮（75），所述第一啮合轮（75）并能够与所述不完全齿轮（76）啮合，所述液压轴（71）固定连接有位于所述椭圆轮腔（73）内的的椭圆轮（72），所述椭圆轮腔（73）内滑动连接有前后对称的两个推液板（85），所述推液板（85）与所述椭圆轮腔（73）端壁之间连接有液压弹簧（57），所述升降块（67）内前后对称设有两个存液腔（56），所述存液腔（56）与所述椭圆轮腔（73）连通，两个所述存液腔（56）下端壁内设有左右两端和下端开口的夹紧腔（86），所述存液腔（56）内滑动连接有一端位于所述夹紧腔（86）内的推力板（59），所述推力板（59）固定位于所述夹紧腔（86）内的支撑块（58），所述夹紧腔（86）前后端壁滑动连接有平移块（55），两个所述平移轴（17）与所述平移块（55）螺纹连接，所述平移块（55）与所述夹紧腔（86）上端壁之间连接设有前后对称的两个推力弹簧（66），所述支撑块（58）与所述平移块（55）接触，所述升降块（67）下端固定连接有前后对称的两个铰接轴（6...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁莉萍，
申请(专利权)人：丁莉萍，
类型：发明
国别省市：