一种硅片上下料系统技术方案

本发明专利技术公开了一种硅片上下料系统,包括导片机装置、硅片翻转装置和搬运装置，导片机装置控制硅片流转至硅片翻转装置，并控制花篮的内部流转，硅片翻转装置控制对硅片的吸取、翻转以及分合，搬运装置控制硅片在主机与硅片翻转装置间的流转，本发明专利技术采用传感器对花篮满缺料状态进行检测，实现了对硅片数量的精细控制，本发明专利技术采用对射传感器对花篮内硅片余量进行检测，同时采用朝向传感器对花篮朝向进行检测，防止花篮输送时发生反放错误，提高设备的自动化控制程度，本发明专利技术实现了硅片由导片机装置到主机的上料流程以及由主机到导片机装置的下料流程，实现了硅片循环往复的上下料过程。程。程。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片上下料系统


[0001]本专利技术属于光伏领域，涉及一种硅片上下料系统。

技术介绍

[0002]现有技术中，硅片从主机到导片机的下料过程以及从导片机到主机的上料料过程是单独运行的，结构复杂，成本高，同时两组系统占地空间大，此专利技术有效地解决了这种问题。

技术实现思路

[0003]本专利技术为了克服现有技术的不足，提供一种硅片上下料系统。
[0004]为了实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案：一种硅片上下料系统，其特征在于：包括导片机装置、硅片翻转装置和搬运装置，导片机装置包括上料导片组件、下料导片组件以及连接上料导片组件和下料导片组件的横移输送机构，上料导片组件控制硅片上料工序，下料导片组件控制硅片下料工序，横移输送机构对上料导片组件和下料导片组件的花篮进行流转，硅片翻转装置包括硅片翻转机构、硅片横移机构以及硅片偏移机构，硅片横移机构和硅片偏移机构控制硅片翻转机构的移动，硅片翻转机构控制对硅片的吸取以及翻转，搬运装置控制硅片在主机与硅片翻转装置间的流转。
[0005]进一步的；所述上料导片组件包括上料来料对接输送机构、上料缓存输送机构、上料花篮升降机构、上料花篮输送机构、上料硅片输送机构、上料硅片缓存机构以及上料接片机构，上料花篮输送机构位于上料花篮升降机构下侧，下料导片组件包括下料来料对接输送机构、下料缓存输送机构、下料花篮升降机构、下料花篮输送机构、下料硅片输送机构、下料硅片缓存机构以及下料接片机构，下料花篮输送机构位于下料花篮升降机构下侧，横移输送机构分别与上料花篮输送机构、下料花篮输送机构连接，花篮经上料花篮输送机构、横移输送机构以及下料花篮输送机构在上料导片组件和下料导片组件间流转。
[0006]进一步的；所述硅片翻转机构包括吸取组件，吸取组件包括翻转电机和吸取构件，翻转电机和吸取构件控制硅片翻转，吸取构件设置有两组，一组翻转电机连接两组吸取构件，一组吸取构件包括第一吸取板和吸盘，另一组吸取构件包括第二吸取板和吸盘，翻转电机输出轴分别连接第一吸取板和第二吸取板，若干吸盘依次安装在第一吸取板和第二吸取板，第一吸取板和第二吸取板上的吸盘间距与两组上料接片机构的间距相配，吸盘将硅片的吸取或放置。
[0007]进一步的；所述搬运装置包括花篮定位移动机构、花篮硅片顶升机构、硅片规整机构、石英舟硅片顶升机构、吸盘横移机构、石英舟定位移动机构、石英舟翻转搬运组件和石英舟托输送机构，花篮定位移动机构、花篮硅片顶升机构、石英舟硅片顶升机构、吸盘横移机构以及石英舟定位移动机构控制硅片的搬运流转，硅片规整机构对花篮硅片顶升机构顶升以及石英舟硅片顶升机构内的硅片进行调整，石英舟翻转搬运组件对石英舟进行搬运和翻转，石英舟托输送机构与主机连接，控制硅片输入或输出主机。
[0008]进一步的；所述花篮定位移动机构设置有两组，包括用于承载花篮的承托组件和用于移动承托组件的驱动组件，驱动组件驱动承托组件，用于硅片的搬运；花篮硅片顶升机构包括承载机架和顶升组件，承载机架包括顶升动力组件，顶升动力组件控制顶升组件升降，顶升组件包括顶升连接板和顶升件，顶升件包括顶升框架组件、顶齿固定板和顶齿组件，顶齿组件通过顶齿固定板安装在顶升框架板，顶齿组件由若干顶齿构成，一组顶齿设置有若干插槽，硅片导入或导出插槽。
[0009]进一步的；所述顶升框架组件由两组水平对称分布的顶升框架板构成，一组顶升件设置有两组顶齿组件，一组顶齿组件与一组顶升框架板对应，顶齿固定板与顶升框架板固设连接，顶齿组件与顶齿固定板固设连接，顶齿固定板与顶升框架板之前设置有连接稳定装置，连接稳定装置位于顶齿固定板与顶升框架板之间，连接稳定装置包括连接稳定固定部和连接稳定调节部，连接稳定固定部和连接稳定调节部固设连接，连接稳定固定部与顶齿固定板下端面固设连接，连接稳定调节部与顶升框架板位置相对，连接稳定调节部上固设有连接稳定穿孔，连接稳定穿孔设置有连接稳定调节杆，顶升框架板固设有框架调节腰孔，连接稳定调节杆伸入框架调节腰孔，通过调节连接稳定调节杆伸入框架调节腰孔的长度控制顶齿固定板相对于顶升框架板的位置，相邻的顶齿连接，插槽上端连通设置有导腔每组顶齿组件上相邻的插槽间距保持一致，使硅片依次导入插槽内。
[0010]进一步的；所述硅片规整机构包括硅片规整组件和硅片规整限制组件，硅片规整组件包括硅片规整动力构件和硅片规整调整构件，硅片规整动力构件驱动硅片规整调整构件相对或相背运动，硅片规整限制组件限制硅片规整调整构件的运动以及对硅片进行检测。
[0011]进一步的；所述石英舟硅片顶升机构包括硅片顶升移动组件和石英舟顶齿组件，硅片顶升移动组件的动力组件控制石英舟顶齿组件往返移动，石英舟顶齿组件将位于石英舟定位移动机构内的硅片顶出或将位于石英舟顶齿组件内的硅片放置到石英舟定位移动机构内，吸盘横移机构包括横移机构和硅片分离移动机构，硅片吸取分离装置控制硅片的吸取和分离，横移机构控制硅片吸取分离装置水平移动，进而控制硅片在花篮硅片顶升机构和石英舟硅片顶升机构间的流转，石英舟托输送机构包括承载石英舟托的石英舟托组件和驱动石英舟托组件移动的移动组件，移动组件包括输送动力组件，输送动力组件带动石英舟托组件移动。
[0012]进一步的；所述横移输送机构包括流转输送组件和流转移动组件，流转移动组件包括横移动力组件，横移动力组件驱动流转输送组件相对于流转移动组件移动，流转输送组件分别与上料花篮输送机构和下料花篮输送机构相接，流转输送组件上端面与上料花篮输送机构和下料花篮输送机构上端面处于同一水平面，便于花篮流转。
[0013]进一步的；所述上料来料对接输送机构其长度容纳多组花篮同时进行输送，上料来料对接输送机构在输送方向的两端固设有来料阻挡气缸，两侧固设有对称的两组来料对射传感器，两组来料对射传感器和来料阻挡气缸同步运行将花篮依次单个输送至上料缓存输送机构，上料来料对接输送机构设置有来料重量传感器，来料重量传感器对花篮满缺料状态进行检测。
[0014]综上所述，本专利技术的有益之处在于：
[0015]1)、本专利技术采用传感器对花篮满缺料状态进行检测，实现了对硅片数量的精细控
制，本专利技术采用对射传感器对花篮内硅片余量进行检测，同时采用朝向传感器对花篮朝向进行检测，防止花篮输送时发生反放错误，提高设备的自动化控制程度。
[0016]2)、本专利技术通过接片升降组件对接片组件的升降控制，实现了将硅片输出组件上输送的硅片依次导入上料接片槽的目的，通过缓存升降组件对缓存组件的升降控制，实现了将硅片输出组件上输送的硅片依次导入缓存槽的目的。
[0017]3)、本专利技术实现了硅片由导片机装置到主机的上料流程以及由主机到导片机装置的下料流程，实现了硅片循环往复的上下料过程。
[0018]4)、本专利技术通过吸盘依次插入相邻的上料接片槽或下料接片槽将硅片的吸取或放置，进而实现将硅片导出或导入导片机装置，硅片翻转机构实现对硅片翻转，在上料系统中，通过一组吸取组件将从上料接片机构吸取的硅片进行翻转，为后续硅片背对背合片进行预处理，而在下料系统本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片上下料系统,其特征在于：包括导片机装置、硅片翻转装置和搬运装置，导片机装置包括上料导片组件、下料导片组件以及连接上料导片组件和下料导片组件的横移输送机构，上料导片组件控制硅片上料工序，下料导片组件控制硅片下料工序，横移输送机构对上料导片组件和下料导片组件的花篮进行流转，硅片翻转装置包括硅片翻转机构、硅片横移机构以及硅片偏移机构，硅片横移机构和硅片偏移机构控制硅片翻转机构的移动，硅片翻转机构控制对硅片的吸取以及翻转，搬运装置控制硅片在主机与硅片翻转装置间的流转。2.根据权利要求1所述的一种硅片上下料系统，其特征在于：所述上料导片组件包括上料来料对接输送机构、上料缓存输送机构、上料花篮升降机构、上料花篮输送机构、上料硅片输送机构、上料硅片缓存机构以及上料接片机构，上料花篮输送机构位于上料花篮升降机构下侧，下料导片组件包括下料来料对接输送机构、下料缓存输送机构、下料花篮升降机构、下料花篮输送机构、下料硅片输送机构、下料硅片缓存机构以及下料接片机构，下料花篮输送机构位于下料花篮升降机构下侧，横移输送机构分别与上料花篮输送机构、下料花篮输送机构连接，花篮经上料花篮输送机构、横移输送机构以及下料花篮输送机构在上料导片组件和下料导片组件间流转。3.根据权利要求1所述的一种硅片上下料系统，其特征在于：所述硅片翻转机构包括吸取组件，吸取组件包括翻转电机和吸取构件，翻转电机和吸取构件控制硅片翻转，吸取构件设置有两组，一组翻转电机连接两组吸取构件，一组吸取构件包括第一吸取板和吸盘，另一组吸取构件包括第二吸取板和吸盘，翻转电机输出轴分别连接第一吸取板和第二吸取板，若干吸盘依次安装在第一吸取板和第二吸取板，第一吸取板和第二吸取板上的吸盘间距与两组上料接片机构的间距相配，吸盘将硅片的吸取或放置。4.根据权利要求1所述的一种硅片上下料系统，其特征在于：所述搬运装置包括花篮定位移动机构、花篮硅片顶升机构、硅片规整机构、石英舟硅片顶升机构、吸盘横移机构、石英舟定位移动机构、石英舟翻转搬运组件和石英舟托输送机构，花篮定位移动机构、花篮硅片顶升机构、石英舟硅片顶升机构、吸盘横移机构以及石英舟定位移动机构控制硅片的搬运流转，硅片规整机构对花篮硅片顶升机构顶升以及石英舟硅片顶升机构内的硅片进行调整，石英舟翻转搬运组件对石英舟进行搬运和翻转，石英舟托输送机构与主机连接，控制硅片输入或输出主机。5.根据权利要求4所述的一种硅片上下料系统，其特征在于：所述花篮定位移动机构设置有两组，包括用于承载花篮的承托组件和用于移动承托组件的驱动组件，驱动组件驱动承托组件，用于硅片的搬运；花篮硅片顶升机构包括承载机架和顶升组件，承载机架包括顶升动力组件，顶升动力组件控制顶升组件升降，顶升组件包括顶升连接板和顶升件，顶升件包括顶升框架组件、顶齿固定板和顶齿组件，顶齿组件通过顶齿固定板安装在顶升框架板，顶齿组件由若干顶齿构成，一组顶齿设置有...

【专利技术属性】
技术研发人员：林佳继，周欢，时祥，
申请(专利权)人：拉普拉斯无锡半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：