一种硅片载具检测仪制造技术

本技术属于光伏设备技术领域，具体公开了一种硅片载具检测仪，其固定机构设置于工作台上，固定机构将硅片载具固定于工作台，图像获取装置获取硅片载具的待检测舟杆的舟杆图像，信息处理装置接收图像获取装置传送的舟杆图像，并通过比对待检测舟杆的舟杆图像与标准舟杆的舟杆图像，得到待检测舟杆的舟齿信息，进而判定待检测舟杆的舟齿是否处在标准尺寸的公差范围内，判断方式更简单、更便捷、更快速，并且检测结果准确，检测效率较高。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及检测，尤其涉及一种硅片载具检测仪。

技术介绍

1、在太阳能电池的加工过程中，需要使用专用的硅片载具来承载硅片，例如，常见的硅片载具有石墨舟、石英舟等等。当需要对硅片进行加工时，由自动化设备(插片机)将硅片插入到硅片载具内，而这就要求硅片载具的制作精度较高。硅片载具作为硅片的载体，如其关键尺寸不能满足标准尺寸的公差要求，插片机无论是将硅片导入到硅片载具中，还是从硅片载具中将硅片导出，都会导致卡片次数，以及碎片概率增加。

2、因此，现有的硅片载具出厂时的关键尺寸精度是否达标，或在生产过程中硅片载具在重复使用后是否变形，对于硅片的顺利上料、下料具有极其重要的意义。现有技术中判断硅片载具的关键尺寸是否符合标准尺寸，一般是通过人工拿尺子检测后，人为判断硅片载具是否符合标准尺寸，但是这种检测方式的检测效率较低，且检测精度无法保证。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种硅片载具检测仪，其能够以更简单、更便捷、更快速的方式判断硅片载具的关键尺寸是否达标，提高了检测的效率和准确性。

2、本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种硅片载具检测仪，用于检测硅片载具(10)，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的硅片载具检测仪，其特征在于，所述固定机构和所述图像获取装置(200)中的至少一者能够沿所述待检测舟杆(11)的长度方向移动，以使所述图像获取装置(200)能够依次拍摄并储存所述待检测舟杆(11)上多个待检测区域的所述舟杆图像，所述信息处理装置根据所述舟杆图像得到的所述舟齿信息包括舟齿尺寸，和/或相邻两个舟齿之间的间距。

3.根据权利要求2所述的硅片载具检测仪，其特征在于，所述图像获取装置(200)包括：

4.根据权利要求3所述的硅片载具检测仪，其特征在于，所述...

【技术特征摘要】

1.一种硅片载具检测仪，用于检测硅片载具(10)，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的硅片载具检测仪，其特征在于，所述固定机构和所述图像获取装置(200)中的至少一者能够沿所述待检测舟杆(11)的长度方向移动，以使所述图像获取装置(200)能够依次拍摄并储存所述待检测舟杆(11)上多个待检测区域的所述舟杆图像，所述信息处理装置根据所述舟杆图像得到的所述舟齿信息包括舟齿尺寸，和/或相邻两个舟齿之间的间距。

3.根据权利要求2所述的硅片载具检测仪，其特征在于，所述图像获取装置(200)包括：

4.根据权利要求3所述的硅片载具检测仪，其特征在于，所述移动组件包括伺服电机、丝杠、滑轨(220)和第一滑块(230)，所述伺服电机与所述丝杠传动连接，所述丝杠与所述第一滑块(230)螺纹连接，所述第一滑块(230)滑动设置于所述滑轨(220)，所述相机(210)设置于所述第一滑块(230)上。

5.根据权利要求3所述的硅片载具检测仪，其特征在于，所述固定机构包括锁紧组件，所述第一限位件(320)固定在所述工作台(100)；所述第二限位件(330)滑动设置于所述工作台(100)，所述锁紧组件用于将所述第二限位件(330)固定在所述工作台(100)上。

6.根据权利要求5所述的硅片载具检测仪，其特征在于，所述工作台(100)设有至少两个导向件(400)，相邻两个所述导向件(400)之间间隔形成导向槽(410)，所述第二限位件(330)设有至少一个第二滑块(331)，其中，所述第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪滢，李勃，董雪迪，
申请(专利权)人：拉普拉斯无锡半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：