一种测试装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种测试装置。该测试装置包括：包括第一接口和第二接口；第一接口用于连接被测件，第二接口用于连接外部电源；测试装置还包括电阻模块、开关模块、采集模块、控制模块和测试模块；测试模块用于根据被测件的当前工作状态生成控制指令，并将控制指令发送至控制模块；控制模块，用于根据控制指令控制开关模块的状态，以使电阻模块、开关模块和采集模块形成被测件的当前工作状态对应的工作回路；采集模块，用于采集电阻模块处于该工作回路的电参数；测试模块，还用于获取采集模块采集的电阻模块处于该工作回路的电参数，并根据该电参数计算被测件的输出电参数。本发明专利技术能够提高测试的可靠性。测试的可靠性。测试的可靠性。

【技术实现步骤摘要】
一种测试装置


[0001]本专利技术涉及电参数采集
，尤其涉及一种测试装置。

技术介绍

[0002]半导体器件测试是保证产品性能满足相关指标要求，降低产品失效率的重要手段。半导体器件性能指标的高效、精确采集，对测试设备及测试方法提出极高的要求。半导体器件具有夹断、静态、饱和等多个产品测试状态，不同状态下需采集的电流水平有着极大差异。在夹断、静态状态下，需精准采集的电流水平最低为uA级别，最高为百mA级别；饱和状态下，需精准采集的电流水平最低为十uA级别，最高为10A甚至更高级别。因此半导体器件测试系统中电流采集模块需具有宽范围、高精度、结构简单、低故障率的特点，以保证测试的高效率、准确性及稳定性。
[0003]然而，现有技术的电路中包含多个加法放大器、反相器、电压表和单片机模块等，导致电路结构复杂、故障率高、灵活性差、难以实际使用。即现有技术的电路结构复杂、不能满足实际需求。

技术实现思路

[0004]本专利技术实施例提供了一种测试装置，以解决现有技术的电路结构复杂、不能满足实际需求的问题。
[0005]本专利技术实施例提供了一种测试装置，包括第一接口和第二接口；第一接口用于连接被测件，第二接口用于连接外部电源；
[0006]测试装置还包括电阻模块、开关模块、采集模块、控制模块和测试模块；开关模块分别与电阻模块、采集模块和控制模块连接；电阻模块分别与采集模块、第一接口和第二接口连接；测试模块分别与采集模块和控制模块连接；
[0007]测试模块，用于根据被测件的当前工作状态生成控制指令，并将控制指令发送至控制模块；
[0008]控制模块，用于根据控制指令控制开关模块的状态，以使电阻模块、开关模块和采集模块形成被测件的当前工作状态对应的工作回路；
[0009]采集模块，用于采集电阻模块处于该工作回路的电参数；其中，被测件的不同的工作状态对应不同的工作回路，电阻模块在不同的工作回路中的阻值不同；
[0010]所测试模块，还用于获取采集模块采集的电阻模块处于该工作回路的电参数，并根据该电参数计算被测件的输出电参数。
[0011]在一种可能的实现方式中，电阻模块包括第一电阻和第二电阻；第一电阻的阻值小于第二电阻的阻值；
[0012]第一电阻，第一端分别与第一接口和采集模块连接，第二端分别与第二电阻的第一端和开关模块连接；第二电阻的第二端分别与第二接口和开关模块连接。
[0013]在一种可能的实现方式中，开关模块包括第一单刀双掷开关和第一开关；第一单
刀双掷开关和第一开关均受控于控制模块；
[0014]第一单刀双掷开关，动端与采集模块连接，第一不动端与第一电阻的第二端连接，第二不动端分别与第一开关的第二端和第二电阻的第二端连接；
[0015]第一开关的第一端与第二电阻的第一端连接。
[0016]在一种可能的实现方式中，输出电参数包括输出电流；
[0017]测试模块，具体用于：
[0018]在被测件处于输出第一电流的工作状态时，生成第一控制指令，并将第一控制指令发送给控制模块；或者，
[0019]在被测件处于输出第二电流的工作状态时，生成第二控制指令，并将第二控制指令发送给控制模块；其中，第一电流大于第二电流。
[0020]在一种可能的实现方式中，控制模块具体用于：
[0021]根据第一控制指令，控制第一单刀双掷开关的动端与第一单刀双掷开关的第一不动端处于连接状态，以及控制第一开关处于闭合状态，以使第一电阻、第一单刀双掷开关和采集模块形成被测件处于输出第一电流的工作状态对应的工作回路；或者，
[0022]根据第二控制指令，控制第一单刀双掷开关的动端与第一单刀双掷开关的第二不动端处于连接状态，以及控制第一开关处于断开状态，以使第一电阻、第二电阻、第一单刀双掷开关和采集模块形成被测件处于输出第二电流的工作状态对应的工作回路。
[0023]在一种可能的实现方式中，电阻模块还包括第三电阻；第一电阻的阻值小于第三电阻的阻值；
[0024]第三电阻，第一端分别与第二电阻的第二端和开关模块连接，第二端分别与第二接口和开关模块连接。
[0025]在一种可能的实现方式中，开关模块包括第二单刀双掷开关、第三单刀双掷开关、第二开关和第三开关；第二单刀双掷开关、第三单刀双掷开关、第二开关和第三开关均受控于控制模块；
[0026]第二单刀双掷开关，动端与采集模块连接，第一不动端与第三单刀双掷开关的动端连接，第二不动端分别与第三开关的第二端和第三电阻的第二端连接；
[0027]第三单刀双掷开关，第一不动端与第一电阻的第二端连接，第二不动端分别与第二开关的第二端、第三开关的第一端、第二电阻的第二端和第三电阻的第一端连接；第二开关的第一端与第二电阻的第一端连接。
[0028]在一种可能的实现方式中，输出电参数包括输出电流；
[0029]测试模块具体用于：
[0030]在被测件处于输出第三电流的工作状态时，生成第三控制指令，并将第三控制指令发送给控制模块；或者，
[0031]在被测件处于输出第四电流的工作状态时，生成第四控制指令，并将第四控制指令发送给控制模块；或者，
[0032]在被测件处于输出第五电流的工作状态时，生成第五控制指令，并将第五控制指令发送给控制模块；
[0033]其中，第三电流大于第四电流，第四电流大于第五电流。
[0034]在一种可能的实现方式中，开关模块具体用于：
[0035]根据第三控制指令，控制第二单刀双掷开关的动端与第二单刀双掷开关的第一不动端处于连接状态，控制第三单刀双掷开关的动端与第三单刀双掷开关的第一不动端处于连接状态，以及控制第二开关和第三开关均处于闭合状态，以使第一电阻、第三单刀双掷开关、第二单刀双掷开关和采集模块形成被测件处于输出第三电流的工作状态对应的工作回路；或者，
[0036]根据第四控制指令，控制第二单刀双掷开关的动端与第二单刀双掷开关的第一不动端处于连接状态，控制第三单刀双掷开关的动端与第三单刀双掷开关的第二不动端处于连接状态，以及控制第二开关处于断开状态，第三开关处于闭合状态，以使第一电阻、第二电阻、第三单刀双掷开关、第二单刀双掷开关和采集模块形成被测件处于输出第四电流的工作状态对应的工作回路；或者，
[0037]根据第五控制指令，控制第二单刀双掷开关的动端与第二单刀双掷开关的第二不动端处于连接状态，以及控制第三单刀双掷开关、第二开关和第三开关均处于断开状态，以使第一电阻、第二电阻、第三电阻、第二单刀双掷开关和采集模块形成被测件处于输出第五电流的工作状态对应的工作回路。
[0038]在一种可能的实现方式中，测试模块还用于显示被测件的输出电参数。
[0039]本专利技术实施例提供一种测试装置，该装置包括电阻模块、开关模块、采集模块、控制模块和测试模块；开关模块分别与电阻模块、采集模块和控制模块连接；电阻模块分别与采集模块、第一接口和第二接口连接；测试本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种测试装置，其特征在于，包括第一接口和第二接口；所述第一接口用于连接被测件，所述第二接口用于连接外部电源；所述测试装置还包括电阻模块、开关模块、采集模块、控制模块和测试模块；所述开关模块分别与所述电阻模块、所述采集模块和所述控制模块连接；所述电阻模块分别与所述采集模块、所述第一接口和所述第二接口连接；所述测试模块分别与所述采集模块和所述控制模块连接；所述测试模块，用于根据所述被测件的当前工作状态生成控制指令，并将所述控制指令发送至所述控制模块；所述控制模块，用于根据所述控制指令控制所述开关模块的状态，以使所述电阻模块、所述开关模块和所述采集模块形成所述被测件的当前工作状态对应的工作回路；所述采集模块，用于采集所述电阻模块处于该工作回路的电参数；其中，所述被测件的不同的工作状态对应不同的工作回路，所述电阻模块在不同的工作回路中的阻值不同；所述测试模块，还用于获取所述采集模块采集的所述电阻模块处于该工作回路的电参数，并根据该电参数计算所述被测件的输出电参数。2.如权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述电阻模块包括第一电阻和第二电阻；所述第一电阻的阻值小于所述第二电阻的阻值；所述第一电阻，第一端分别与所述第一接口和所述采集模块连接，第二端分别与所述第二电阻的第一端和所述开关模块连接；所述第二电阻的第二端分别与所述第二接口和所述开关模块连接。3.如权利要求2所述的测试装置，其特征在于，所述开关模块包括第一单刀双掷开关和第一开关；所述第一单刀双掷开关和所述第一开关均受控于所述控制模块；所述第一单刀双掷开关，动端与所述采集模块连接，第一不动端与所述第一电阻的第二端连接，第二不动端分别与所述第一开关的第二端和所述第二电阻的第二端连接；所述第一开关的第一端与所述第二电阻的第一端连接。4.如权利要求3所述的测试装置，其特征在于，所述输出电参数包括输出电流；所述测试模块，具体用于：在所述被测件处于输出第一电流的工作状态时，生成第一控制指令，并将所述第一控制指令发送给所述控制模块；在所述被测件处于输出第二电流的工作状态时，生成第二控制指令，并将所述第二控制指令发送给所述控制模块；其中，所述第一电流大于所述第二电流。5.如权利要求4所述的测试装置，其特征在于，所述控制模块具体用于：根据所述第一控制指令，控制所述第一单刀双掷开关的动端与所述第一单刀双掷开关的第一不动端处于连接状态，以及控制所述第一开关处于闭合状态，以使所述第一电阻、所述第一单刀双掷开关和所述采集模块形成所述被测件处于输出第一电流的工作状态对应的工作回路；或者，根据所述第二控制指令，控制所述第一单刀双掷开关的动端与所述第一单刀双掷开关的第二不动端处于连接状态，以及控制所述第一开关处于断开状态，以使所述第一电阻、所述第二电阻、所述第一单刀双掷开关和所述采集模块形成所述被测件处于输出第二电流的工作状态对应的工作回路。
6.如权利要求2所述的测试装置，其特征在于，所述电阻模块还包括第...

【专利技术属性】
技术研发人员：段磊，李浩，张博，郭跃伟，黎荣林，崔健，
申请(专利权)人：河北博威集成电路有限公司，
类型：发明
国别省市：