一种半导体开关器件测试装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种半导体开关器件测试装置，包括第一开关器件、母线电容、电感、电源支路、放电支路和续流支路；电源支路的第一端通过第一开关器件分别连接至母线电容的第一端和放电支路的第一端，母线电容的第二端与电源支路的第二端电连接，放电支路的第二端与第一被测器件的第一端电连接，第一被测器件的第二端与第二被测器件的第一端电连接，电源支路的第二端与第二被测器件的第二端电连接，电感与第一被测器件并联，续流支路与第二被测器件并联，续流支路适于在第二被测器件发生异常时短接第二被测器件的两端。本实用新型专利技术能够避免对第二被测器件造成二次损伤，保护第二被测器件。器件。器件。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体开关器件测试装置


[0001]本技术涉及半导体测试
，具体而言，涉及一种半导体开关器件测试装置。

技术介绍

[0002]随着新能源技术的快速发展，变流器、逆变器的功率等级日益提高，其内部所用功率半导体器件也频繁更新。功率半导体器件作为变流器等的核心器件，其特性参数测试一直是其可靠性的表征手段，其中，动态测试结果在实际的设计应用过程中最受关注。
[0003]如图1所示，现有技术的半导体开关器件测试电路包括电源支路、开关器件、放电支路、母线电容和电感，其中，电源支路的正极通过开关器件连接至母线电容的正极，母线电容的负极与电源支路的负极电连接，放电支路与母线电容并联，母线电容的正极与第一被测器件的第一端电连接，电源支路的负极与第二被测器件的第二端电连接，第一被测器件的第二端与第二被测器件的第一端电连接，电感与第一被测器件并联。
[0004]其中，母线电容的容量较大，用于稳定输入电压和支撑负载输出，测试时，首先通过电源支路将母线电容充电至指定电位，然后断开开关器件，通过放电支路和被测器件对母线电容进行放电。但是，采用这种本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体开关器件测试装置,其特征在于，包括第一开关器件、母线电容、电感、电源支路、放电支路和续流支路；所述电源支路的第一端通过所述第一开关器件分别连接至所述母线电容的第一端和所述放电支路的第一端，所述母线电容的第二端与所述电源支路的第二端电连接，所述放电支路的第二端与第一被测器件的第一端电连接，所述第一被测器件的第二端与第二被测器件的第一端电连接，所述电源支路的第二端与所述第二被测器件的第二端电连接，所述电感与所述第一被测器件并联，所述续流支路与所述第二被测器件并联，其中，所述续流支路适于在所述第二被测器件发生异常时短接所述第二被测器件的两端。2.根据权利要求1所述的半导体开关器件测试装置,其特征在于，所述放电支路包括并联的第一限流支路与第二开关支路，所述第一限流支路的一端与所述母线电容的第一端电连接，所述第一限流支路的另一端与所述第一被测器件的第一端电连接。3.根据权利要求2所述的半导体开关器件测试装置，其特征在于，所述第二开关支路包括开关管，所述半导体开关器件测试装置还包括采样电路，所述采样电路包括差分采样单元，第二电阻，第三电阻，第二二极管和第二电容，所述差分采样单元的同相输入端与直流电源电连接，并连接至所述第二电阻一端，所述差分采样单元的反相输入端与所述第二电阻另一端电连接，所述差分采样单元的反相输入端还与所述第二电容的一端电连接，并通过所述第三电阻连接至所述第二二极管的正极，所述第二二极管的负极分别与所述第二开关支路的第一端和所述母线电容的第一端电连接，所述第二电容的另一端接地，并分别与所述第二开关支路的第二端和所述第一被测器件的第一端电连接。4.根据权利要求3所述的半导体开关器件测试装置，其特征在于，所述续流支路包括第三开关支路，所述第三开关支路与所述第二被测器件并联。5.根据权利要求4所述的半导体开关器件测试装置，其特征在于，还包括控制电路，所述控制电路包括比较器、延时器、与门、或门和触发器，所述触发器的第一输入端适于输入使能信号，所述触发器的第二输入端与所述或门的输出端电连接，所述触发器的第一输出端与所述第二开关支路的第三端电连接，所述触发器的第二输出端与所述第三开关支路电连接，所述或门的第一输入端与所述与门的输出端电连接，所述或门的第二输入端适于输入停止信号，所述与门的第一输入端与所述比较器的输出端电连接，所述与门的第二输出端与所述延时器的输出端电连接，所述延时器的输入端适于...

【专利技术属性】
技术研发人员：张凯暾，王圣明，刘雷，王浩然，
申请(专利权)人：合肥恒钧检测技术有限公司，
类型：新型
国别省市：