一种高强度真空靶材固定外框制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高强度真空靶材固定外框，包括固定底板，所述固定底板圆周外壁通过螺栓连接有固定框，固定框圆周内壁等距设置有三个固定机构，所述固定机构包括电动伸缩杆、推板一和固定块一，固定块一通过螺栓连接于固定框圆周内壁。本实用新型专利技术通过设置有多个固定机构，当靶材放置在固定底板上时，控制电动伸缩杆伸长的长度，带动推板一运动，使得垫板一夹住靶材，同时由于垫板一上设置有压力传感器，通过压力传感器检测固定机构夹持力度，防止用力过小或过大，使得靶材夹持不紧或夹坏，同时可以用于不同尺寸靶材的夹持，减少工作人员更换固定外框的劳动强度，增加整体装置的使用范围。的使用范围。的使用范围。

【技术实现步骤摘要】
一种高强度真空靶材固定外框


[0001]本技术涉及靶材固定
，尤其涉及一种高强度真空靶材固定外框。

技术介绍

[0002]靶材材料的技术发展趋势与下游应用产业的薄膜技术发展趋势息息相关，随着时代的发展，靶材应用也越来越广泛，在对靶材的固定上就需要用到一种高强度真空靶材固定外框。
[0003]但现有靶材固定框，只是将靶材安装在固定框内，直接用固定盖，将其固定，当靶材大小不同时，就需要更换不同尺寸的靶材固定框，费时费力。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种高强度真空靶材固定外框。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种高强度真空靶材固定外框，包括固定底板，所述固定底板圆周外壁通过螺栓连接有固定框，固定框圆周内壁等距设置有三个固定机构，所述固定机构包括电动伸缩杆、推板一和固定块一，固定块一通过螺栓连接于固定框圆周内壁，电动伸缩杆通过螺栓连接于固定块一一侧外壁，推板一通过螺栓连接于电动伸缩杆一侧外壁，所述推板一远离电动伸缩杆一侧外壁通过螺栓连接有垫板一，所述垫板一远离推板一一侧外壁通过螺栓连接有压力传感器。
[0007]作为本技术再进一步的方案：所述固定框圆周内壁通过铰链连接有两个挡板。
[0008]作为本技术再进一步的方案：每个所述挡板一侧外壁均通过螺栓连接有两个固定杆，所述固定杆圆周外壁通过螺纹连接有固定帽，固定杆圆周外壁设置有固定板。
[0009]作为本技术再进一步的方案：所述固定底板一侧外壁开有三个安装槽，安装槽内设置有连接板，连接板一侧外壁通过螺栓连接有限位板，连接板一侧外壁开有通孔，连接板一侧外壁设置有拉绳。
[0010]作为本技术再进一步的方案：每个所述挡板一侧外壁均通过螺栓连接有两个定位机构。
[0011]作为本技术再进一步的方案：所述定位机构包括弹性支撑杆、推板二、弹簧和固定块二，固定块二通过螺栓连接于挡板一侧外壁，弹性支撑杆通过螺栓连接于固定块二一侧外壁，弹簧卡接于固定块二一侧外壁，推板二通过螺栓连接于弹性支撑杆一侧外壁，所述推板二一侧外壁通过螺栓连接有垫板二。
[0012]本技术的有益效果为：
[0013]1.通过设置有多个固定机构，当靶材放置在固定底板上时，控制电动伸缩杆伸长的长度，带动推板一运动，使得垫板一夹住靶材，同时由于垫板一上设置有压力传感器，通
过压力传感器检测固定机构夹持力度，防止用力过小或过大，使得靶材夹持不紧或夹坏，同时可以用于不同尺寸靶材的夹持，减少工作人员更换固定外框的劳动强度，增加整体装置的使用范围。
[0014]2.通过设置有固定杆、固定板和固定帽，将两个挡板固定连接，防止在不使用时，挡板打开，使得固定底板上靶材掉落，同时由于挡板和固定框通过铰链固定，打开挡板，方便放置靶材，通过设置有连接板，在连接板上设置有通孔，方便工作人员安装整体装置。
[0015]3.通过设置有多个定位机构，当靶材放置在固定底板上时，将挡板固定，由于弹簧具有弹力，会将靶材紧压在固定底板上，防止在移动或使用靶材时，靶材晃动。
附图说明
[0016]图1为本技术提出的一种高强度真空靶材固定外框的俯视结构示意图；
[0017]图2为本技术提出的一种高强度真空靶材固定外框的主视结构示意图；
[0018]图3为本技术提出的一种高强度真空靶材固定外框的固定机构结构示意图；
[0019]图4为本技术提出的一种高强度真空靶材固定外框的定位机构结构示意图；
[0020]图5为本技术提出的一种高强度真空靶材固定外框的连接板结构示意图；
[0021]图6为本技术提出的一种高强度真空靶材固定外框的图1中A处结构示意图。
[0022]图中：1固定框、2挡板、3固定底板、4连接板、5电动伸缩杆、6推板一、7压力传感器、8垫板一、9固定块一、10弹性支撑杆、11垫板二、12推板二、13弹簧、14固定块二、15通孔、16限位板、17固定杆、18固定板、19固定帽。
具体实施方式
[0023]下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。
[0024]下面详细描述本专利的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利，而不能理解为对本专利的限制。
[0025]在本专利的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利的限制。
[0026]在本专利的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利中的具体含义。
[0027]一种高强度真空靶材固定外框，如图1和3所示，包括固定底板3，所述固定底板3圆周外壁通过螺栓连接有固定框1，固定框1圆周内壁等距设置有三个固定机构，固定机构包括电动伸缩杆5、推板一6和固定块一9，固定块一9通过螺栓连接于固定框1圆周内壁，电动伸缩杆5通过螺栓连接于固定块一9一侧外壁，推板一6通过螺栓连接于电动伸缩杆5一侧外壁，推板一6远离电动伸缩杆5一侧外壁通过螺栓连接有垫板一8，垫板一8远离推板一6一侧外壁通过螺栓连接有压力传感器7；通过设置有多个固定机构，当靶材放置在固定底板3上
时，控制电动伸缩杆5伸长的长度，带动推板一6运动，使得垫板一8夹住靶材，同时由于垫板一8上设置有压力传感器7，通过压力传感器7检测固定机构夹持力度，防止用力过小或过大，使得靶材夹持不紧或夹坏，同时可以用于不同尺寸靶材的夹持，减少工作人员更换固定外框的劳动强度，增加整体装置的使用范围。
[0028]为了方便安装靶材；如图1和6所示，所述固定框1圆周内壁通过铰链连接有两个挡板2，每个挡板2一侧外壁均通过螺栓连接有两个固定杆17，固定杆17圆周外壁通过螺纹连接有固定帽19，固定杆17圆周外壁设置有固定板18；通过在固定框1上设置挡板2，用于挡住靶材，防止靶材掉落，同时由于挡板2和固定框1通过铰链固定，打开挡板2，方便放置靶材。
[0029]为了方便安装整体装置；如图1、2和5所示，所述固定底板3一侧外壁开有三个安装槽，安装槽内设置有连接板4，连接板4一侧外壁通过螺栓连接有限位板16，连接板4一侧外壁开有通孔15，连接板4一侧外壁设置有拉绳；通过设置有固定杆17、固定板18和固定帽19，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高强度真空靶材固定外框，包括固定底板(3)，其特征在于，所述固定底板(3)圆周外壁通过螺栓连接有固定框(1)，固定框(1)圆周内壁等距设置有三个固定机构，所述固定机构包括电动伸缩杆(5)、推板一(6)和固定块一(9)，固定块一(9)通过螺栓连接于固定框(1)圆周内壁，电动伸缩杆(5)通过螺栓连接于固定块一(9)一侧外壁，推板一(6)通过螺栓连接于电动伸缩杆(5)一侧外壁，所述推板一(6)远离电动伸缩杆(5)一侧外壁通过螺栓连接有垫板一(8)，所述垫板一(8)远离推板一(6)一侧外壁通过螺栓连接有压力传感器(7)。2.根据权利要求1所述的一种高强度真空靶材固定外框，其特征在于，所述固定框(1)圆周内壁通过铰链连接有两个挡板(2)。3.根据权利要求2所述的一种高强度真空靶材固定外框，其特征在于，每个所述挡板(2)一侧外壁均通过螺栓连接有两个固定杆(17)，所述固定杆(17)圆周外壁通过螺纹连接有固定帽(19)，固定杆(...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏奉龙，
申请(专利权)人：苏州晶胜特自动化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：