一种高强度的真空靶材固定用外框结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高强度的真空靶材固定用外框结构，包括安装盘和安装环，所述安装盘的上表面固定安装有安装块，所述安装块的内部固定安装有气缸，所述安装块的上表面活动连接有对接盘，所述安装环的外表面固定安装有稳定卡，所述稳定卡的外表面固定安装有螺栓，所述安装环的内部固定安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的外表面固定连接有安装套，所述电动伸缩杆的输出端固定连接有护卡，所述护卡的内表面开设有卡槽，所述护卡的两侧均活动连接有辅助卡。本实用新型专利技术提高了固定外框的固定强度，同时也不会影响电动伸缩杆的拆卸维护，并且使靶材固定外框具有调节的功能，具有实用性。性。性。

【技术实现步骤摘要】
一种高强度的真空靶材固定用外框结构


[0001]本技术涉及靶材固定
，特别涉及一种高强度的真空靶材固定用外框结构。

技术介绍

[0002]镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应，真空镀主要包括真空蒸镀、溅射镀和离子镀几种类型，它们都是采用在真空条件下，通过蒸馏或溅射等方式在塑件表面沉积各种金属和非金属薄膜，通过这样的方式可以得到非常薄的表面镀层，同时具有速度快附着力好的突出优点，外框是用于固定的一种框架，外框主要用于固定靶材，使其可以平稳的加工镀膜；
[0003]现有的靶材固定外框存在一定缺陷，固定的强度不高，并且无法根据不同的靶材进行调节，给使用带来不便，在固定时容易脱落，会导致电镀失败，并且容易发生意外，给使用带来银黄，同时，无法有效的适用于各个形状的靶材也会影响到靶材的加工效率，也会影响到加工人员的加工体验，因此，现在提出一种高强度的真空靶材固定用外框结构。

技术实现思路

[0004]本技术的主要目的在于提供一种高强度的真空靶材固定用外框结构，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：
[0006]一种高强度的真空靶材固定用外框结构，包括安装盘和安装环，所述安装盘的上表面固定安装有安装块，所述安装块的内部固定安装有气缸，所述安装块的上表面活动连接有对接盘，所述安装环的外表面固定安装有稳定卡，所述稳定卡的外表面固定安装有螺栓，所述安装环的内部固定安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的外表面固定连接有安装套，所述电动伸缩杆的输出端固定连接有护卡，所述护卡的内表面开设有卡槽，所述护卡的两侧均活动连接有辅助卡。
[0007]优选的，所述螺栓的数量为两组，两组所述螺栓呈等间距分布在稳定卡的外表面两侧，所述稳定卡通过螺栓与安装环固定连接。
[0008]优选的，所述安装环的内外两壁之间开设有螺纹口，所述安装套的外表面为螺纹结构，所述电动伸缩杆位于螺纹口的内部与安装环通过安装套螺纹连接。
[0009]优选的，所述电动伸缩杆的一端贯穿安装环位于安装环的外部，所述稳定卡的内表面开设有对接槽，所述电动伸缩杆的一端位于稳定卡中对接槽的内部。
[0010]优选的，所述气缸的输出端贯穿安装块的上表面与对接盘固定连接，所述对接盘通过气缸和安装盘活动连接。
[0011]优选的，所述安装环位于对接盘的上表面与对接盘固定连接，所述安装环通过对
接盘、安装块和气缸与安装盘活动连接。
[0012]优选的，所述护卡的内表面位于卡槽的内部开设有衔接槽，所述护卡的两侧均转动安装有转动轴，所述转动轴的外表面套设有回卷弹簧，所述辅助卡与护卡通过转动轴和回卷弹簧活动连接。
[0013]与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：
[0014]1、通过设置的稳定卡、螺栓、安装套和螺纹口提高了固定外框的固定强度，能够有效的固定靶材的边缘，避免了因为受力问题而导致固定靶材的电动伸缩杆脱落的情况，同时也不会影响电动伸缩杆的拆卸维护，提高了固定外框的使用寿命以及固定效果，使其使用时间更长；
[0015]2、通过设置的护卡、卡槽、辅助卡、衔接槽、转动轴和回卷弹簧使靶材固定外框具有调节的功能，能够有效的适用于不用形状的靶材，设置的衔接槽也能很好的在卡和直角靶材的同时起到很好的受力以及固定的效果，具有实用性。
附图说明
[0016]图1为本技术一种高强度的真空靶材固定用外框结构的整体结构示意图；
[0017]图2为本技术一种高强度的真空靶材固定用外框结构中安装盘与安装环的连接结构示意图；
[0018]图3为本技术一种高强度的真空靶材固定用外框结构中安装环与稳定卡的连接结构示意图；
[0019]图4为本技术一种高强度的真空靶材固定用外框结构中安装环与电动伸缩杆的连接结构示意图；
[0020]图5为本技术一种高强度的真空靶材固定用外框结构中护卡与辅助卡的连接结构示意图。
[0021]图中：1、安装盘；2、安装块；3、气缸；4、对接盘；5、安装环；6、稳定卡；7、螺栓；8、电动伸缩杆；9、安装套；10、护卡；11、卡槽；12、辅助卡；13、螺纹口；14、对接槽；15、衔接槽；16、转动轴；17、回卷弹簧。
具体实施方式
[0022]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。
[0023]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0024]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体
的情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0025]如图1
‑
5所示，一种高强度的真空靶材固定用外框结构，包括安装盘1和安装环5，安装盘1的上表面固定安装有安装块2，安装块2的内部固定安装有气缸3，安装块2的上表面活动连接有对接盘4，安装环5的外表面固定安装有稳定卡6，稳定卡6的外表面固定安装有螺栓7，安装环5的内部固定安装有电动伸缩杆8，电动伸缩杆8的外表面固定连接有安装套9，电动伸缩杆8的输出端固定连接有护卡10，护卡10的内表面开设有卡槽11，护卡10的两侧均活动连接有辅助卡12。
[0026]螺栓7的数量为两组，两组螺栓7呈等间距分布在稳定卡6的外表面两侧，稳定卡6通过螺栓7与安装环5固定连接，稳定卡6上的螺栓7也会将稳定卡6牢牢固定在安装环5上，有效的避免了稳定卡6脱离。
[0027]安装环5的内外两壁之间开设有螺纹口13，安装套9的外表面为螺纹结构，电动伸缩杆8位于螺纹口13的内部与安装环5通过安装套9螺纹连接，安装套9会将电动伸缩杆8螺纹连接在安装环5的螺纹口13中。同时也可以方便的拆卸下来维护。
[0028]电动伸缩杆8的一端贯穿安装环5位于安装环5的外部，稳定卡6的内表面开设有对接槽14，电动伸缩杆8的一端位于稳定卡6中对接槽14的内部稳定卡6也会很好的抵住位于对接本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高强度的真空靶材固定用外框结构，包括安装盘(1)和安装环(5)，其特征在于，所述安装盘(1)的上表面固定安装有安装块(2)，所述安装块(2)的内部固定安装有气缸(3)，所述安装块(2)的上表面活动连接有对接盘(4)，所述安装环(5)的外表面固定安装有稳定卡(6)，所述稳定卡(6)的外表面固定安装有螺栓(7)，所述安装环(5)的内部固定安装有电动伸缩杆(8)，所述电动伸缩杆(8)的外表面固定连接有安装套(9)，所述电动伸缩杆(8)的输出端固定连接有护卡(10)，所述护卡(10)的内表面开设有卡槽(11)，所述护卡(10)的两侧均活动连接有辅助卡(12)。2.根据权利要求1所述一种高强度的真空靶材固定用外框结构，其特征在于，所述螺栓(7)的数量为两组，两组所述螺栓(7)呈等间距分布在稳定卡(6)的外表面两侧，所述稳定卡(6)通过螺栓(7)与安装环(5)固定连接。3.根据权利要求1所述一种高强度的真空靶材固定用外框结构，其特征在于，所述安装环(5)的内外两壁之间开设有螺纹口(13)，所述安装套(9)的外表面为螺纹结构，所述电动伸缩杆(8)位于螺纹口(13)的内部与安装环(5)通过安装套...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏奉龙，
申请(专利权)人：苏州晶胜特自动化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：