一种可见光高吸收的合金靶制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可见光高吸收的合金靶，包括玻璃管，所述玻璃管的表面设置有合金靶材，所述合金靶材的外表面设置有第一功能层，所述第一功能层包括半脂环聚酰亚胺膜和氧化锆减反射膜，所述第一功能层的外表面设置有第二功能层，所述第二功能层包括PE防氧化膜和UV抗氧化膜，合金靶材的材质为铜，半脂环聚酰亚胺膜设置于合金靶材的外表面，氧化锆减反射膜设置于半脂环聚酰亚胺膜的外表面。本实用新型专利技术通过玻璃管、合金靶材、第一功能层、半脂环聚酰亚胺膜、氧化锆减反射膜、第二功能层、PE防氧化膜和UV抗氧化膜的配合，解决了现有的合金靶在使用过程中不具备可见光高吸收的性能，同时不具备抗氧化和低反射性能的问题。不具备抗氧化和低反射性能的问题。不具备抗氧化和低反射性能的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种可见光高吸收的合金靶


[0001]本技术涉及合金靶
，具体为一种可见光高吸收的合金靶。

技术介绍

[0002]对溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜，现有的合金靶在使用过程中不具备可见光高吸收的性能，同时不具备抗氧化和低反射的性能，为此，我们提出一种可见光高吸收的合金靶。

技术实现思路

[0003]解决的技术问题
[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了一种可见光高吸收的合金靶，具备可见光高吸收的性能，以及具备抗氧化和低反射性能的优点，解决了现有的合金靶在使用过程中不具备可见光高吸收的性能，同时不具备抗氧化和低反射性能的问题。
[0005]技术方案
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种可见光高吸收的合金靶，包括玻璃管，所述玻璃管的表面设置有合金靶材，所述合金靶材的外表面设置有第一功能层，所述第一功能层包括半脂环聚酰亚胺膜和氧化锆减反射膜，所述第一功能层的外表面设置有第二功能层，所述第二功能层包括PE防氧化膜和UV抗氧化膜。
[0007]优选的，所述合金靶材的材质为铜，所述半脂环聚酰亚胺膜设置于合金靶材的外表面，所述氧化锆减反射膜设置于半脂环聚酰亚胺膜的外表面。
[0008]优选的，所述合金靶材的材质为锰，所述半脂环聚酰亚胺膜和氧化锆减反射膜的厚度相同，所述半脂环聚酰亚胺膜的厚度为0.03
‑
0.04mm。<br/>[0009]优选的，所述合金靶材的材质为铁，所述PE防氧化膜设置于第一功能层的外表面，所述UV抗氧化膜设置于PE防氧化膜的外表面。
[0010]优选的，所述合金靶材的材质为铬，所述PE防氧化膜和UV抗氧化膜的厚度相同，所述PE防氧化膜的厚度为0.05
‑
0.06mm。
[0011]有益效果
[0012]与现有技术相比，本技术提供了一种可见光高吸收的合金靶，具备以下有益效果：
[0013]本技术通过设置合金靶材的材质，具有优异的可见光高吸收性能和低反射性能，通过设置半脂环聚酰亚胺膜，具有良好的低反射性能，通过设置氧化锆减反射膜，进一步提高了低反射性能，通过设置PE防氧化膜，具有优异的防氧化性能和耐候性能，通过设置UV抗氧化膜，进一步提高了抗氧化性能，解决了现有的合金靶在使用过程中不具备可见光高吸收的性能，同时不具备抗氧化和低反射性能的问题。
附图说明
[0014]图1为本技术结构示意图；
[0015]图2为本技术第一功能层结构示意图；
[0016]图3为本技术第一功能层剖视结构示意图；
[0017]图4为本技术第二功能层剖视结构示意图。
[0018]图中：1、玻璃管；2、合金靶材；3、第一功能层；31、半脂环聚酰亚胺膜；32、氧化锆减反射膜；4、第二功能层；41、PE防氧化膜；42、UV抗氧化膜。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]在技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0021]在技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0022]本技术的玻璃管1、合金靶材2、第一功能层3、半脂环聚酰亚胺膜31、氧化锆减反射膜32、第二功能层4、PE防氧化膜41和UV抗氧化膜42部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。
[0023]请参阅图1
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4，一种可见光高吸收的合金靶，包括玻璃管1，玻璃管1的表面设置有合金靶材2，通过设置合金靶材2的材质，具有优异的可见光高吸收性能和低反射性能，合金靶材2的外表面设置有第一功能层3，第一功能层3包括半脂环聚酰亚胺膜31和氧化锆减反射膜32，合金靶材2的材质为铜，半脂环聚酰亚胺膜31设置于合金靶材2的外表面，氧化锆减反射膜32设置于半脂环聚酰亚胺膜31的外表面，合金靶材2的材质为锰，半脂环聚酰亚胺膜31和氧化锆减反射膜32的厚度相同，半脂环聚酰亚胺膜31的厚度为0.03
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0.04mm，通过设置半脂环聚酰亚胺膜31，具有良好的低反射性能，通过设置氧化锆减反射膜32，进一步提高了低反射性能，第一功能层3的外表面设置有第二功能层4，第二功能层4包括PE防氧化膜41和UV抗氧化膜42，合金靶材2的材质为铁，PE防氧化膜41设置于第一功能层3的外表面，UV抗氧化膜42设置于PE防氧化膜41的外表面，合金靶材2的材质为铬，PE防氧化膜41和UV抗氧化膜42的厚度相同，PE防氧化膜41的厚度为0.05
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0.06mm，通过设置PE防氧化膜41，具有优异的防氧化性能和耐候性能，通过设置UV抗氧化膜42，进一步提高了抗氧化性能。
[0024]在使用时，通过设置合金靶材2的材质，具有优异的可见光高吸收性能和低反射性能，通过设置半脂环聚酰亚胺膜31，具有良好的低反射性能，通过设置氧化锆减反射膜32，进一步提高了低反射性能，通过设置PE防氧化膜41，具有优异的防氧化性能和耐候性能，通过设置UV抗氧化膜42，进一步提高了抗氧化性能，解决了现有的合金靶在使用过程中不具备可见光高吸收的性能，同时不具备抗氧化和低反射性能的问题。
[0025]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可见光高吸收的合金靶，包括玻璃管（1），其特征在于：所述玻璃管（1）的表面设置有合金靶材（2），所述合金靶材（2）的外表面设置有第一功能层（3），所述第一功能层（3）包括半脂环聚酰亚胺膜（31）和氧化锆减反射膜（32），所述第一功能层（3）的外表面设置有第二功能层（4），所述第二功能层（4）包括PE防氧化膜（41）和UV抗氧化膜（42）。2.根据权利要求1所述的一种可见光高吸收的合金靶，其特征在于：所述合金靶材（2）的材质为铜，所述半脂环聚酰亚胺膜（31）设置于合金靶材（2）的外表面，所述氧化锆减反射膜（32）设置于半脂环聚酰亚胺膜（31）的外表面。3.根据权利要求1所述的一种可见光高吸收的合金靶，其特征在于：所述合...

【专利技术属性】
技术研发人员：候俊男，牛中奇，
申请(专利权)人：东莞市兆广电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：