一种安全性高的溅射设备用载盘制造技术

本实用新型专利技术公开了一种安全性高的溅射设备用载盘，包括溅射设备，所述溅射设备的内腔安装有基座且所述基座上可分离时安装有载盘，所述载盘的下端一体成型并呈对称设有两组插块且两组所述插块的下端位于基座上设有插槽内，所述载盘的上端呈对称活动安装有两组手提组件且所述手提组件的下端与滑动安装在插块内的插接组件连接，可通过插接组件与基座插接实现载盘与基座的固定。本实用新型专利技术所述的一种安全性高的溅射设备用载盘，通过手提组件、插接组件和插块，便于载盘与基座的拆装，且通过其上设置的两组手握杆对载盘进行稳定把持，可防止因把持不稳导致载盘掉落，提高其使用安全性。性。性。

【技术实现步骤摘要】
一种安全性高的溅射设备用载盘


[0001]本技术涉及溅射设备领域，特别涉及一种安全性高的溅射设备用载盘。

技术介绍

[0002]现有的溅射设备用的载盘一般通过螺栓固定固定设置在基座上，其不方便拆装，且其上未设置把手，无法很好地对其进行稳定把持运输，容易因把持不稳导致其滑落掉下，容易造成安全事故，故此，我们提出一种安全性高的溅射设备用载盘来解决此问题。

技术实现思路

[0003]本技术的主要目的在于提供一种安全性高的溅射设备用载盘，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：
[0005]一种安全性高的溅射设备用载盘，包括溅射设备，所述溅射设备的内腔安装有基座且所述基座上可分离时安装有载盘，所述载盘的下端一体成型并呈对称设有两组插块且两组所述插块的下端位于基座上设有插槽内，所述载盘的上端呈对称活动安装有两组手提组件且所述手提组件的下端与滑动安装在插块内的插接组件连接，可通过插接组件与基座插接实现载盘与基座的固定。
[0006]优选的，所述手提组件包括竖杆，所述竖杆呈对称设置有两组且两组所述竖杆之间安装有手握杆，两组所述竖杆位于载盘内腔的下端上均固定有挡环且两组所述挡环的上方设有套接在竖杆外围的复位弹簧。
[0007]优选的，所述手握杆的外壁上通过粘黏剂固定有弹性缓冲套且所述弹性缓冲套的外壁上设有防滑纹。
[0008]优选的，所述挡环的上方的载盘的内腔壁上安装有可与挡环接触并阻挡挡环向上运动的阻挡柱。
[0009]优选的，所述插接组件包括插杆，所述插杆滑动设置在内腔，所述插杆的一端转动设有活动杆且所述活动杆远离插杆的一端与竖杆的下端转动连接。
[0010]优选的,所述插杆的上下端均安装有万向滚珠且上下端设置的万向滚珠远离插杆的一端均与插块的内腔壁相抵触。
[0011]与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：
[0012]本技术中，通过手提组件、插接组件和插块，可将双手握住两组手握杆，将两组竖杆向上提起，向上运动的竖杆上的挡环做压缩复位弹簧的运动且通过利用活动杆带动插杆滑动，从而使得插块与基座插接分离，安装时，直接将插块与基座插接，通过复位弹簧的弹力作用使得插杆与基座插接即可，便于载盘与基座的拆装，且通过其上设置的两组手握杆对载盘进行稳定把持，可防止因把持不稳导致载盘掉落，提高其使用安全性。
附图说明
[0013]图1为本技术一种安全性高的溅射设备用载盘的整体结构图；
[0014]图2为本技术一种安全性高的溅射设备用载盘的基座及载盘局部剖面图；
[0015]图3为本技术一种安全性高的溅射设备用载盘的A处结构放大图；
[0016]图4为本技术一种安全性高的溅射设备用载盘的基座及载盘局部图。
[0017]图中：1、溅射设备；2、基座；3、载盘；4、手提组件；41、竖杆；42、手握杆；43、挡环；44、复位弹簧；5、插接组件；51、插杆；52、万向滚珠；53、活动杆；6、阻挡柱；7、插块。
具体实施方式
[0018]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。
[0019]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0020]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0021]如图1
‑
4所示，一种安全性高的溅射设备用载盘，包括溅射设备1，溅射设备1的内腔安装有基座2且基座2上可分离时安装有载盘3，载盘3的下端一体成型并呈对称设有两组插块7且两组插块7的下端位于基座2上设有插槽内，载盘3的上端呈对称活动安装有两组手提组件4且手提组件4的下端与滑动安装在插块7内的插接组件5连接，可通过插接组件5与基座2插接实现载盘3与基座2的固定。
[0022]手提组件4包括竖杆41，竖杆41呈对称设置有两组且两组竖杆41之间安装有手握杆42，两组竖杆41位于载盘3内腔的下端上均固定有挡环43且两组挡环43的上方设有套接在竖杆41外围的复位弹簧44，插接组件5包括插杆51，插杆51滑动设置在内腔，插杆51的一端转动设有活动杆53且活动杆53远离插杆51的一端与竖杆41的下端转动连接，当需要将载盘3余基座2分离时，可将双手握住两组手握杆42，将两组竖杆41向上提起，此时由于载盘3的重力作用，载盘3并未向上运动，而向上运动的竖杆41上的挡环43做压缩复位弹簧44的运动且通过利用活动杆53带动插杆51滑动，当复位弹簧44被压缩到一定程度同时插杆51与基座2插接分离后，向上运动的竖杆41会带动载盘3向上运动，从而使得插块7与基座2插接分离，安装时，直接将插块7与基座2插接，通过复位弹簧44的弹力作用使得插杆51与基座2插接即可，便于载盘3与基座2的拆装，且通过其上设置的两组手握杆42对载盘3进行把持，便于对载盘3的提拎。
[0023]手握杆42的外壁上通过粘黏剂固定有弹性缓冲套且弹性缓冲套的外壁上设有防滑纹，通过弹性缓冲套缓冲与手之间的压力，提高使用舒适度，其防滑纹可加强与手之间的
摩擦力的作用，起到防滑的作用。
[0024]挡环43的上方的载盘3的内腔壁上安装有可与挡环43接触并阻挡挡环43向上运动的阻挡柱6，当。
[0025]插杆51的上下端均安装有万向滚珠52且上下端设置的万向滚珠52远离插杆51的一端均与插块7的内腔壁相抵触。
[0026]需要说明的是，本技术为一种安全性高的溅射设备用载盘，当需要将载盘3余基座2分离时，可将双手握住两组手握杆42，将两组竖杆41向上提起，此时由于载盘3的重力作用，载盘3并未向上运动，而向上运动的竖杆41上的挡环43做压缩复位弹簧44的运动且通过利用活动杆53带动插杆51滑动，当复位弹簧44被压缩到一定程度同时插杆51与基座2插接分离后，向上运动的竖杆41会带动载盘3向上运动，从而使得插块7与基座2插接分离，安装时，直接将插块7与基座2插接，通过复位弹簧44的弹力作用使得插杆51与基座2插接即可，便于载盘3与基座2的拆装，且通过其上设置的两组手握杆42对载盘3进行稳定把持，可防止因把持不稳导本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种安全性高的溅射设备用载盘，包括溅射设备(1)，其特征在于：所述溅射设备(1)的内腔安装有基座(2)且所述基座(2)上可分离时安装有载盘(3)，所述载盘(3)的下端一体成型并呈对称设有两组插块(7)且两组所述插块(7)的下端位于基座(2)上设有插槽内，所述载盘(3)的上端呈对称活动安装有两组手提组件(4)且所述手提组件(4)的下端与滑动安装在插块(7)内的插接组件(5)连接，可通过插接组件(5)与基座(2)插接实现载盘(3)与基座(2)的固定。2.根据权利要求1所述的一种安全性高的溅射设备用载盘，其特征在于：所述手提组件(4)包括竖杆(41)，所述竖杆(41)呈对称设置有两组且两组所述竖杆(41)之间安装有手握杆(42)，两组所述竖杆(41)位于载盘(3)内腔的下端上均固定有挡环(43)且两组所述挡环(43)的上方设有套接在竖杆(41)外围的复位弹簧(44)。3.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏奉龙，
申请(专利权)人：苏州晶胜特自动化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：