一种便于安装的真空靶材固定外框制造技术

本实用新型专利技术涉及靶材加工技术领域，尤其是一种便于安装的真空靶材固定外框，包括安装板，安装板的一侧分别设有连接杆A、连接杆B，连接杆A、连接杆B的一侧分别设有上卡环、下卡环，上卡环、下卡环的两侧均设有移动块，移动块的一侧设有螺纹孔，螺纹孔的内侧设有螺纹杆，螺纹杆的顶侧设有旋钮，螺纹杆的底侧设有限位环，上卡环、下卡环的内侧均设有靶材安装槽，靶材安装槽的内侧设有靶材，该便于安装的真空靶材固定外框，结构简单巧妙，操作方便快捷，靶材固定稳定性高，具有一定的缓冲性及散热性，防止靶材飞溅脱离，便于安装更换靶材。便于安装更换靶材。便于安装更换靶材。

【技术实现步骤摘要】
一种便于安装的真空靶材固定外框


[0001]本技术涉及靶材加工
，尤其涉及一种便于安装的真空靶材固定外框。

技术介绍

[0002]靶材即为镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。
[0003]靶材在进行加工的时候，需要用到固定外框来对靶材进行位置固定，从而方便进行加工，现有的固定外框结构复杂，拆装工序麻烦、不便捷，对靶材没有散热性及缓冲性，致使靶材加工的时候可能会发生脱离的情况，因此，我们设计了一种便于安装的真空靶材固定外框。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种便于安装的真空靶材固定外框。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]设计一种便于安装的真空靶材固定外框，包括安装板，所述安装板的一侧分别滑动连接设有连接杆A、连接杆B，所述连接杆A、连接杆B的一侧分别通过卡扣可拆卸式连接设有上卡环、下卡环，所述上卡环、下卡环的两侧均固定设有移动块，所述移动块的一侧固定设有螺纹孔，所述螺纹孔的内侧通过螺纹转动连接设有螺纹杆，所述螺纹杆的顶侧固定设有旋钮，所述螺纹杆的底侧通过螺纹转动连接设有限位环，所述上卡环、下卡环的内侧均固定设有靶材安装槽，所述靶材安装槽的内侧活动连接设有靶材，所述靶材的内侧固定设有缓冲机构。
[0007]优选的，所述缓冲机构包括：导向滑槽、导向框、弹簧，所述靶材安装槽与靶材相对的一侧固定设有导向滑槽，所述导向滑槽的内侧滑动连接设有导向框，所述导向框的一侧固定设有弹簧，所述弹簧的一侧与靶材安装槽的一侧相抵触。
[0008]优选的，所述导向框的底侧呈楔形结构设置。
[0009]优选的，所述导向框采用为石墨烯板构件。
[0010]优选的，所述安装板与连接杆A、连接杆B相对的一侧均固定设有限位滑槽，所述限位滑槽的内侧滑动连接设有限位滑块，两个所述限位滑块的一侧分别固定连接在连接杆A、连接杆B的一侧，所述限位滑槽与位滑块均呈T型结构设置。
[0011]本技术提出的一种便于安装的真空靶材固定外框，有益效果在于：通过设置
上卡环、下卡环、移动块、螺纹孔、螺纹杆、旋钮、限位环、靶材安装槽、靶材，首先顺时针转动旋钮带动螺纹杆将移动块进行位置移动，接着带动上卡环与下卡环做相对运动，调节到适当的位置时，将靶材插入靶材安装槽中，然后再逆时针转动旋钮带动螺纹杆将移动块进行位置移动，使上卡环与下卡环对靶材做夹紧运动，便于对靶材进行安装更换，操作方便快捷，去除了之前的麻烦工序，直接转动调节位置，便于安装靶材进行加工，该便于安装的真空靶材固定外框，结构简单巧妙，操作方便快捷，靶材固定稳定性高，具有一定的缓冲性及散热性，防止靶材飞溅脱离，便于安装更换靶材。
附图说明
[0012]图1为本技术提出的一种便于安装的真空靶材固定外框的正面轴测结构示意图；
[0013]图2为本技术提出的一种便于安装的真空靶材固定外框的侧面剖切轴测结构示意图；
[0014]图3为本技术提出的一种便于安装的真空靶材固定外框的正面剖切轴测结构示意图；
[0015]图4为本技术提出的一种便于安装的真空靶材固定外框的顶面轴测结构示意图。
[0016]图中：1安装板、2连接杆A、3连接杆B、4上卡环、5下卡环、6移动块、7螺纹孔、8螺纹杆、9旋钮、10限位环、11靶材安装槽、12靶材、13导向滑槽、14导向框、15弹簧、16限位滑槽、17限位滑块。
具体实施方式
[0017]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0018]参照图1
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4，一种便于安装的真空靶材固定外框，包括安装板1，安装板1的一侧分别滑动连接设有连接杆A2、连接杆B3，连接杆A2、连接杆B3的一侧分别通过卡扣可拆卸式连接设有上卡环4、下卡环5，上卡环4、下卡环5的两侧均固定设有移动块6，移动块6的一侧固定设有螺纹孔7，螺纹孔7的内侧通过螺纹转动连接设有螺纹杆8，螺纹杆8的顶侧固定设有旋钮9，螺纹杆8的底侧通过螺纹转动连接设有限位环10，上卡环4、下卡环5的内侧均固定设有靶材安装槽11，靶材安装槽11的内侧活动连接设有靶材12，靶材12的内侧固定设有缓冲机构。
[0019]为了便于适应不同厚度尺寸的靶材12，且对靶材12在加工的时候提供缓冲性，设置了缓冲机构包括：导向滑槽13、导向框14、弹簧15，靶材安装槽11与靶材12相对的一侧固定设有导向滑槽13，导向滑槽13的内侧滑动连接设有导向框14，导向框14的一侧固定设有弹簧15，弹簧15的一侧与靶材安装槽11的一侧相抵触，将靶材12插入靶材安装槽11中，然后靶材12对导向框14进行挤压，使导向框14在导向滑槽13中进行移动，然后再由弹簧15的回弹力对靶材12进行限位，在适应不同尺寸靶材12的同时，对靶材12再加工的时候提供一个限位缓冲，避免了刚性加工靶材12发生飞溅脱离的情况。
[0020]为了便于将靶材12插入靶材安装槽11中，导向框14的底侧呈楔形结构设置，楔形结构利用不同尺寸的靶材12进行安装。
[0021]为了提高导向框14的硬度，且对靶材12在加工的时候提供一个散热性，导向框14采用为石墨烯板构件，石墨烯具有良好的强度、柔韧度、导电导热等特性，它是目前为止导热系数最高的材料，具有非常好的热传导性能。
[0022]为了便于上卡环4与下卡环5的移动，安装板1与连接杆A2、连接杆B3相对的一侧均固定设有限位滑槽16，限位滑槽16的内侧滑动连接设有限位滑块17，两个限位滑块17的一侧分别固定连接在连接杆A2、连接杆B3的一侧，限位滑槽16与位滑块17均呈T型结构设置，限位滑槽16与限位滑块17对上卡环4与下卡环5提供了一个良好的导向性，使上卡环4与下卡环5进行分离移动的时候，提供一个限位，移动方便省事。
[0023]本技术使用时，首先顺时针转动旋钮9带动螺纹杆8将移动块6进行位置移动，接着带动上卡环4与下卡环5做相对运动，调节到适当的位置时，将靶材12插入靶材安装槽11中，然后再逆时针转动旋钮9带动螺纹杆8将移动块6进行位置移动，使上卡环4与下卡环5对靶材12做夹紧运动，便于对靶材12进行安装更换，操作方便快捷，去除了之前的麻烦工序，直接转动调节位置，便于安装靶材进行加工，该便于安装的真空靶材固定外框，结构简单巧妙，操作方便快捷，靶材固定稳定性高，具有一定的缓冲性及散本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于安装的真空靶材固定外框，包括安装板(1)，其特征在于，所述安装板(1)的一侧分别滑动连接设有连接杆A(2)、连接杆B(3)，所述连接杆A(2)、连接杆B(3)的一侧分别通过卡扣可拆卸式连接设有上卡环(4)、下卡环(5)，所述上卡环(4)、下卡环(5)的两侧均固定设有移动块(6)，所述移动块(6)的一侧固定设有螺纹孔(7)，所述螺纹孔(7)的内侧通过螺纹转动连接设有螺纹杆(8)，所述螺纹杆(8)的顶侧固定设有旋钮(9)，所述螺纹杆(8)的底侧通过螺纹转动连接设有限位环(10)，所述上卡环(4)、下卡环(5)的内侧均固定设有靶材安装槽(11)，所述靶材安装槽(11)的内侧活动连接设有靶材(12)，所述靶材(12)的内侧固定设有缓冲机构。2.根据权利要求1所述的一种便于安装的真空靶材固定外框，其特征在于，所述缓冲机构包括：导向滑槽(13)、导向框(14)、弹簧(15)，所述靶材...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏奉龙，
申请(专利权)人：苏州晶胜特自动化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：