【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】电声滤波器部件及制造方法以减少碎片的影响
[0001]本专利技术涉及电声滤波器部件以及制造这种部件的方法。
技术介绍
[0002]电声滤波器部件可以用于RF滤波器，例如，用于无线通信设备的RF滤波器，以分开需要的RF信号和不需要的RF信号。
[0003]电声滤波器部件可以使用电声谐振器，诸如BAW谐振器(BAW＝体声波)或SAW谐振器(SAW＝表面声波)，其中电极结构与压电材料接触，并且当RF信号被施加到电极结构时，在声学RF信号与电磁RF信号之间进行转换。
[0004]这种谐振器可以彼此电连接以形成RF滤波器，例如，在梯形状电路拓扑结构中。
[0005]电声谐振器需要腔以允许压电材料的振荡。进一步地，电声谐振器的有源结构必须被保护以免受诸如灰尘或水之类的有害环境影响。可以提供包括薄膜层的薄膜封装，该薄膜层与载体基板一起围合其中可以布置有源结构的腔。
[0006]制造这样的部件的典型方法涉及同时应用于多个稍后待分离的部件的制造步骤。在共同晶片材料上创建有源结构和对应腔之后，晶片例如通过切块被单
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种电声滤波器部件，包括：
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压电层中的压电材料，
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被布置在所述压电层上的电极层中的电极结构，
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在所述电极结构上方的腔，其中，
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所述压电材料的侧面为平面。2.根据前述权利要求所述的电声滤波器部件，其中所述压电层的所述平面侧面没有碎片。3.根据前述权利要求中一项所述的电声滤波器部件，还包括所述电极结构上或上方的功能层，其中所述功能层的侧面为平面。4.根据前述权利要求中一项所述的电声滤波器部件，其中所述功能层的所述平面侧面没有碎片。5.根据前述权利要求所述的电声滤波器部件，其中所述功能层覆盖所述压电材料的所述侧面。6.根据前述权利要求中一项所述的电声过滤器部件，其中所述功能层：
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为TCF补偿层、修整层或钝化层，
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包括选自电介质材料、氮化物、SiN4、氧化物、氧化硅、SiO2的材料或由其组成。7.根据前述权利要求中任一项所述的电声滤波器部件，其中所述腔由薄膜封装TFAP形成。8.根据前述权利要求中一...
【专利技术属性】
技术研发人员：T，
申请(专利权)人：RF三六零欧洲有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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