【技术实现步骤摘要】
一种化学机械研磨垫研磨器
[0001]本技术涉及研磨设备的
，特别是涉及一种化学机械研磨垫研磨器。
技术介绍
[0002]化学机械研磨垫研磨器是用于研磨研磨垫的辅助装置，其在研磨设备的领域中得到了广泛的使用；由于化学机械研磨垫长时间使用后研磨的物料会在研磨垫上积累，影响后续的物料的研磨，需要定期的进行清理，但现有的化学机械研磨垫研磨器难以调节研磨垫的研磨位置，导致装置的使用便捷性较差。
技术实现思路
[0003]为解决上述技术问题，本技术提供一种便于快速调节研磨垫的打磨位置，提高其使用便捷性的化学机械研磨垫研磨器。
[0004]本技术的一种化学机械研磨垫研磨器，包括底座、固定架、第一电机、齿轮、齿条、连接板、移动板、固定组件、第一T型滑块、第二电机、第一锥齿轮、第二锥齿轮、丝杠轴、滑杆、第二T型滑块、第三电机和研磨盘，第一电机通过固定架固定在底座的顶端左侧，第一电机的输出端与齿轮连接，齿轮与齿条啮合传动连接，并且齿条固定在连接板的底端，齿条的前后两端设置有限位块，并且连接板固定在移动板的左端中部，研...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种化学机械研磨垫研磨器，其特征在于，包括底座(1)、固定架(2)、第一电机(3)、齿轮(4)、齿条(5)、连接板(6)、移动板(7)、固定组件、第一T型滑块(8)、第二电机(9)、第一锥齿轮(10)、第二锥齿轮(11)、丝杠轴(12)、滑杆(13)、第二T型滑块(14)、第三电机(15)和研磨盘(16)，第一电机(3)通过固定架(2)固定在底座(1)的顶端左侧，第一电机(3)的输出端与齿轮(4)连接，齿轮(4)与齿条(5)啮合传动连接，并且齿条(5)固定在连接板(6)的底端，齿条(5)的前后两端设置有限位块，并且连接板(6)固定在移动板(7)的左端中部，研磨垫通过固定组件固定在移动板(7)的右端，移动板(7)固定在第一T型滑块(8)的顶端中部，并且第一T型滑块(8)与底座(1)的顶端左侧滑动卡装，第二电机(9)固定在底座(1)的顶端右侧，第二电机(9)的输出端与第一锥齿轮(10)连接，第一锥齿轮(10)与第二锥齿轮(11)啮合传送连接，第二锥齿轮(11)固定在丝杠轴(12)的底部，并且丝杠轴(12)与底座(1)的顶端转动连接，滑杆(13)固定在底座(1)的顶端并位于丝杠轴(12)的左侧，第二T型滑块(14)与丝杠轴(12)螺装连接，并且第二T型滑块(14)与滑杆(13)滑动连接，第三电机(15)固定在第二T型滑块(14)的左端，第三电机(15)的输出端与研磨盘(16)连接，并且研磨盘(16)可与研磨垫接触。2.如权利要求1所述的一种化学机械研磨垫研磨器，其特征在于，固定组件包括两组电动推杆(17)、两组直角加夹持块(18)、两组螺杆(19)、两组转动把手(20)和两组压块(21)，两组电动推杆(17)分别对称固定在移动...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴庆飞，
申请(专利权)人：大连国茂材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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