【技术实现步骤摘要】
大尺寸研磨盘高平面度精确量化的高效修整方法
[0001]本专利技术属于光学元件加工
，涉及一种大尺寸研磨盘高平面度精确量化的高效修整方法。
技术介绍
[0002]空间光学、天文学和国防领域对大口径光学系统的应用逐渐增多，大口径平面光学元件作为其组成部分需求也与日俱增，为了满足成像要求，大口径平面光学元件应具备高透过率、高分辨率等优良性能。零件加工中，研磨工序作为抛光前一道工序，对零件最终指标的实现至关重要，大口径平面光学元件的加工要求了大尺寸、高平面度精度的研磨盘。
[0003]针对研磨盘的修整，我国技术专利CN207189453U“磨盘在线修整机构”,公开了一种磨盘在线修整机构，该装置采用驱动电机、驱动丝杠、支撑固定架、调节螺钉、修整刀滑块和修整刀，实现极高的磨盘在线修整精度。
[0004]但该装置若要达到平面修整效果，必须要求操作者有较高的经验水平，效率低，修整重复精度差，由于大口径平面光学元件对分辨率等与成像质量相关的指标有着很高的要求，加工时要求两个被加工面面形高低匹配，而研磨工序零件被加工面与...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种大尺寸研磨盘高平面度精确量化的高效修整装置，其特征在于，包括：机床，待修整研磨盘通过螺纹连接到机床上，在线修整机构通过第一安装支架连接到机床上，并位于待修整研磨盘外周侧；量化控制百分表通过第二安装支架连接到第一安装支架上，从而与机床床身连接到一起，在线修整机构机身上加装转接支架，量化控制百分表安装到第二安装支架上并与转接支架接触。2.如权利要求1所述的大尺寸研磨盘高平面度精确量化的高效修整装置，其特征在于，所述机床选用单轴研磨机。3.基于权利要求1或2所述大尺寸研磨盘高平面度精确量化的高效修整装置的修整方法，其特征在于，所述修整方法的过程为：在线修整机构、机床、量化控制百分表安装完成，待修整研磨盘安装到机床上，启动基准面形修整；使用平面度测量量具测得待修整研磨盘基准面形平面度数值，根据预期平面度精度，量化计算确定并精确控制量化控制百分表的调整量及调整方向，完成量化控制，启动修整；使用平面度测量量具测得上一次修整完成后研磨盘的平面度数值，比较测量结果与预期平面度精度并做出修整反馈，根据修整反馈再次进行量化计算，根据计算结果精确控制量化控制百分表的调整量，确定是否启动再次修整，直到达到研磨盘的预期平面度精度。4.如权利要求3所述的大尺寸研磨盘高平面度精确量化的高效修整方法，其特征在于，启动基准面形修整时，预设在线修整机构位于待修整研磨盘的右侧，在线修整机构按照设定的参数自右至左进给，自待修整研磨盘的边缘至中心...
【专利技术属性】
技术研发人员：苏瑛，张瑜，郭芮，杨海成，张峰，刘选民，张云龙，许增奇，王阜超，
申请(专利权)人：西安应用光学研究所，
类型：发明
国别省市：
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