下载大尺寸研磨盘高平面度精确量化的高效修整方法的技术资料

文档序号:32191763

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本发明属于光学元件加工技术领域,公开了一种大尺寸研磨盘高平面度精确量化的高效修整方法,其过程为:待修整研磨盘通过螺纹连接到机床上,在线修整机构通过在线修整机构安装支架连接到机床上,所述方法中量化控制百分表通过安装支架连接到在线修整机构安装支...
该专利属于西安应用光学研究所所有,仅供学习研究参考,未经过西安应用光学研究所授权不得商用。

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