下载一种化学机械研磨垫研磨器的技术资料

文档序号:32584244

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本实用新型涉及研磨设备的技术领域,特别是涉及一种化学机械研磨垫研磨器,其便于快速调节研磨垫的打磨位置,提高装置使用便捷性;包括底座、固定架、第一电机、齿轮、齿条、连接板、移动板、固定组件、第一T型滑块、第二电机、第一锥齿轮、第二锥齿轮、丝杠...
该专利属于大连国茂材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过大连国茂材料科技有限公司授权不得商用。

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