本实用新型专利技术提出了一种半导体清洗设备的隔离装置和半导体清洗设备，半导体清洗设备的隔离装置包括：驱动模块，包括主体和活动部，主体用于驱动活动部移动；多个缓冲器，沿活动部的位移路径，分别位于活动部的第一侧和第二侧；挡板，与活动部相连接。本实用新型专利技术提出的半导体清洗设备的隔离装置，活动部可活动地设置在主体上，主体可驱动活动部移动，并且，活动部上设置有挡板，能够隔离两个清洗槽，进而在半导体清洗过程中，降低两个清洗槽之间酸气相互蹿动的可能，提升半导体洁净度和良品率，并且，可以通过活动部的运动，使得挡板不再间隔两个清洗槽，从而便于半导体在两个清洗槽之间的运输。输。输。
【技术实现步骤摘要】
半导体清洗设备的隔离装置和半导体清洗设备
[0001]本技术涉及半导体清洗设备
，具体而言涉及一种半导体清洗设备的隔离装置和一种半导体清洗设备。
技术介绍
[0002]相关技术中，随着半导体的快速发展，对晶圆清洗的工艺要求也越来越高。在晶圆清洗的过程中，难免会出现两个工艺槽之间酸气互窜的问题。工艺槽之间酸气互窜会影响晶圆的清洗工艺，导致晶圆的洁净度和良率不达标。
技术实现思路
[0003]本技术旨在解决或改善现有技术中存在的技术问题之一。
[0004]为此，本技术的第一方面提出了一种半导体清洗设备的隔离装置。
[0005]本技术的第二方面提出了一种半导体清洗设备。
[0006]有鉴于此，根据本技术的第一方面，本技术提出了一种半导体清洗设备的隔离装置，包括：驱动模块，包括主体和活动部，主体用于驱动活动部移动；多个缓冲器，沿活动部的位移路径，分别位于活动部的两侧，即第一侧和第二侧；挡板，与活动部相连接。
[0007]本技术提出的半导体清洗设备的隔离装置，包括驱动模块、缓冲器和挡板，驱动模块包括有主体和活动部，活动部可活动地设置在主体上，主体可驱动活动部移动，并且，活动部上设置有挡板，能够隔离两个清洗槽，进而在半导体清洗过程中，降低两个清洗槽之间酸气相互蹿动的可能，提升半导体洁净度和良品率，并且，可以通过活动部的运动，使得挡板不再间隔两个清洗槽，从而便于半导体在两个清洗槽之间的运输。
[0008]并且，由于缓冲器沿着活动部移动方向设置在活动部的两侧，并设置在滑动部的路径上，进而在活动部与缓冲器相接触后可以平稳的停止，进而可以稳定地停留到某个位置，降低驱动模块和挡板的振动。
[0009]另外，根据本技术提供的上述技术方案中的半导体清洗设备的隔离装置，还可以具有如下附加技术特征：
[0010]在上述技术方案的基础上，进一步地，还包括：第一连接件，沿垂直于活动部的位移路径方向上，设于活动部任一侧，挡板与所述活动部通过第一连接件相连接，挡板设于活动部任一侧，即在活动部的第三侧或第四侧，与第一连接件相连接，其中，挡板包括：遮挡部；连接部，设于遮挡部的一侧，连接部与第一连接件相连接。
[0011]在该技术方案中，活动部通过第一连接件和挡板相连接，第一连接件和挡板的连接面位于活动部运动方向的侧面，从而改变挡板和驱动模块的位置关系，使得半导体清洗设备的隔离装置在半导体清洗设备的位置更加合理，并且，挡板包括：遮挡部和连接部，通过连接部和第一连接件相连接，降低挡板材料的投入，降低生产成本。
[0012]在上述任一技术方案的基础上，进一步地，第二连接件，设于挡板上，挡板在活动部的上方，第二连接件与活动部相连接。
[0013]在该技术方案中，挡板设置在活动部的上方，活动部始终在下方支撑挡板，并且，挡板和活动部通过第二连接件相连接，从而提升挡板的稳定性。
[0014]在上述任一技术方案的基础上，进一步地，驱动模块为机械接合式无杆气缸。
[0015]在该技术方案中，驱动模块采用机械接合式无杆气缸，并且，机械接合式无杆气缸在支撑挡板压力作用下，保持良好的运行效果，提升挡板运行的稳定性。
[0016]在上述任一技术方案的基础上，进一步地，还包括：连接杆，挡板和活动部通过连接杆相连接，连接杆的长度方向与活动部的移动路径一致；滑动组件，滑动组件包括导轨和至少一个可滑动地设于导轨上的滑块，导轨的长度方向与活动部的移动路径一致；活动部和连接杆分别与滑块相连接。
[0017]在该技术方案中，通过连接杆连接活动部和挡板，进而延长挡板的移动范围，进而可以对驱动模块进行保护，使驱动模块远离清洗槽，从而提升驱动模块的使用寿命，并且，连接杆和活动部通过滑块相连接，通过滑块和导轨为连接杆提供支撑，滑块可以跟随活动部在导轨上运动，从而提升驱动模块的承载能力。
[0018]在上述任一技术方案的基础上，进一步地，还包括：第一固定板，驱动模块和导轨设于第一固定板；第二固定板，与第一固定板相连接，第一固定板和第二固定板形成夹角。
[0019]在该技术方案中，安装板包括第一固定板和第二固定板，第一固定板和第二固定板形成夹角，从而使得半导体清洗设备的隔离装置具有更多的安装面，在与半导体清洗设备的机身配合时，可以更稳定。
[0020]在上述任一技术方案的基础上，进一步地，驱动模块为耦合式无杆气缸。
[0021]在该技术方案中，驱动模块采用耦合式无杆气缸，耦合式无杆气缸，构造简单，成本低。
[0022]在上述任一技术方案的基础上，进一步地，还包括：连接套，套设在连接杆外部；密封件，设于连接杆和连接套之间。
[0023]在该技术方案中，连接杆还穿设于连接套，进而通过连接套，提升连接杆的稳定性，使得连接杆可以在活动部的驱动下平稳的运动，并且，通过连接杆可延长挡板的移动位置，从而便于半导体清洗设备的隔离装置的安装，半导体清洗设备的隔离装置无需过于靠近清洗槽。并且，通过密封件提升连接杆和连接套之间气密性，降低酸气通过连接杆和连接套之间的间隙侵蚀其他部件的可能性，并且，还能够提升连接杆运动时的平稳性。
[0024]在上述任一技术方案的基础上，进一步地，还包括：多个检测模块，分别位于活动部的两侧，即第一侧和第二侧，用于检测活动部的移动位置。
[0025]在该技术方案中，通过检测模块的检测，可以确定活动部的移动位置，进而将可以确定挡板的位置，从而提升挡板的控制，提升活动部停留位置的准确性，提升挡板遮挡的效果。
[0026]根据本技术的第二方面，本技术提出了一种半导体清洗设备，包括：如上述技术方案中任一项提出的半导体清洗设备的隔离装置。
[0027]本技术提出的半导体清洗设备，因包括如上述技术方案中任一项提出的半导体清洗设备的隔离装置，因此，具有如上述技术方案中任一项提出的半导体清洗设备的隔离装置的全部的技术效果，再次不再一一陈述。
[0028]本技术的附加方面和优点将在下面的描述部分中变得明显，或通过本实用新
型的实践了解到。
附图说明
[0029]本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0030]图1示出本技术一个实施例提供的半导体清洗设备的隔离装置的结构示意图；
[0031]图2示出本技术一个实施例提供的半导体清洗设备的隔离装置的结构示意图；
[0032]图3示出本技术一个实施例提供的半导体清洗设备的隔离装置的结构示意图；
[0033]图4示出本技术一个实施例提供的半导体清洗设备的隔离装置的结构示意图；
[0034]图5示出本技术一个实施例提供的半导体清洗设备的隔离装置的结构示意图；
[0035]图6示出本技术一个实施例提供的半导体清洗设备的隔离装置的结构示意图；
[0036]图7示出本技术一个实施例本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体清洗设备的隔离装置，其特征在于，包括：驱动模块，包括主体和活动部，所述主体用于驱动所述活动部移动；多个缓冲器，沿所述活动部的位移路径，分别位于所述活动部的两侧；挡板，与所述活动部相连接。2.根据权利要求1所述的半导体清洗设备的隔离装置，其特征在于，还包括：第一连接件，沿垂直于所述活动部的位移路径方向上，设于所述活动部任一侧，所述挡板与所述活动部通过所述第一连接件相连接，其中，所述挡板包括：遮挡部；连接部，设于所述遮挡部的一侧，所述连接部与所述第一连接件相连接。3.根据权利要求1所述的半导体清洗设备的隔离装置，其特征在于，还包括：第二连接件，设于所述挡板上，所述挡板在所述活动部的上方，所述第二连接件与所述活动部相连接。4.根据权利要求2或3所述的半导体清洗设备的隔离装置，其特征在于，所述驱动模块为机械接合式无杆气缸。5.根据权利要求1所述的半导体清洗设备的隔离装置，其特征在于，还包括：连接杆，所述挡板和所述活动部通过所述连接杆相连接，所述连接杆的长度方向与所...
【专利技术属性】
技术研发人员：左国军，邱瑞，成旭，李雄朋，陈雷，谈丽文，申斌，
申请(专利权)人：创微微电子常州有限公司，
类型：新型
国别省市：
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