【技术实现步骤摘要】
本技术属于晶圆清洗设备，具体涉及一种自洁净的密闭式开合门。
技术介绍
1、在晶圆清洗设备中，尤其是单晶圆清洗设备中，晶圆在各腔室中运动时，需经过开合门，因为腔室需要保证其密封性，故开合门需要具有密封的功能，然，并且门板在运动中，会产生微小粒子污染晶圆，故需要不断吹走微小粒子保障洁净度。因此，提供一种能持续吹走微小颗粒并且密封效果好的自洁净的密闭式开合门是有必要的。
技术实现思路
1、本技术的目的是提供一种自洁净的密闭式开合门。
2、为了解决上述技术问题，本技术提供了一种自洁净的密闭式开合门，包括：箱体；所述箱体的顶部设置有进风部，所述箱体的底部设置有排风部，所述箱体的一个侧壁设置有开口；所述箱体的开口端设置有门板组件，所述门板组件内部中空，并且所述门板组件与所述进风部和所述排风部连通；所述门板组件包括门板本体和滑动设置的升降面板，所述门板本体内部中空，所述门板本体的侧壁开设有连通的进料窗口，所述升降面板滑动设置在所述门板本体内部，其中当所述升降面板向上滑动至极限时，所述升降面板能与将外侧的所述进料窗口完全盖合。
3、进一步地，所述门板本体的内壁设置有一对导向块，所述导向块的相向的侧壁开设有竖直的滑动槽，所述滑动槽的顶部设置有与所述滑动槽连通的导向槽，所述导向槽和所述滑动槽等宽；所述升降面板的侧壁设置有一对滑动块，所述滑动块卡设在所述滑动槽内，以及所述导向槽向外侧的所述进料窗口弯曲。
4、进一步地，外侧的所述进料窗口的内壁设置有首尾相连的密封条，所
5、进一步地，所述升降面板的侧壁设置有一对随动块，所述随动块卡设在所述滑动槽内，所述滑动槽内设置有避让缺口。
6、进一步地，所述门板本体内设置有升降气缸，所述升降气缸的活塞杆竖直设置，所述升降气缸的活塞杆上铰接有铰接块，所述铰接块的顶部与所述升降面板铰接。
7、进一步地，所述箱体内部与内侧的所述进料窗口连通，并且所述箱体内部处于正压状态。
8、进一步地，所述进风部包括进风风扇，所述进风风扇设置在所述箱体的顶部，并且所述进风风扇的出风口通过管路与所述门板本体的顶部连通；所述排风部包括排风管路，所述排风管路与所述门板本体的底部连通。
9、本技术的有益效果：
10、1、箱体结构稳固可靠，能稳固架设进风部、门板组件与排风部，为本技术自洁净的密闭式开合门提供良好的工作环境；进风部能吹出洁净的气体进入箱体内部，排风部能将污染的气体排出箱体；
11、2、进风部的洁净气体进入门板组件内部对门板组件内部进行清洁，清洁完成的气体能从排风部排出；
12、3、箱体上的开口与进料窗口连通，当需要更换晶圆时，使所述升降面板下降，进料窗口连通，晶圆清洗完成后，能够通过进料窗口更换晶圆，晶圆更换完成后，使升降面板上升到极限然后能够盖合位于门板组件外侧的进料窗口，门板组件与箱体处于密闭状态，此时，进风部持续对门板组件内部以及箱体内部吹入洁净的气体，对设备进行清洁，防止了气体微粒污染晶圆，保证了晶圆的洁净度。
13、本技术的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本技术而了解。
14、为使本技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
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1.一种自洁净的密闭式开合门，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的自洁净的密闭式开合门，其特征在于，
3.如权利要求2所述的自洁净的密闭式开合门，其特征在于，
4.如权利要求3所述的自洁净的密闭式开合门，其特征在于，
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【技术特征摘要】
1.一种自洁净的密闭式开合门，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的自洁净的密闭式开合门，其特征在于，
3.如权利要求2所述的自洁净的密闭式开合门，其特征在于，
4.如权利要求3所述的自洁净的密...
【专利技术属性】
技术研发人员：许峯嘉，徐柏翔，王大江，
申请(专利权)人：创微微电子常州有限公司，
类型：新型
国别省市：
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