一种生产处理液隔离操作舱制造技术

本实用新型专利技术提供一种生产处理液隔离操作舱，包括基面、舱体和物料桶，所述舱体安装在基面上，所述物料桶安装于舱体内，所述物料桶顶端一周设有至少一个小管接法兰，所述大管接法兰穿过舱体能够与小管接法兰连接，用于连接回收处理液的管道，所述物料桶的底端两侧设有出口管接法兰，用于连接处理液净化管道，所述舱体顶部设有排风扇，所述排风扇的下方设有排风滤网罩，所述排风滤网罩位于物料桶的上方。本实用新型专利技术一种生产处理液隔离操作舱，其不仅处理液的灌装回收方便，效率高，同时密封性好，安全性高。全性高。全性高。

【技术实现步骤摘要】
一种生产处理液隔离操作舱


[0001]本技术涉及研磨设备的
，特别涉及一种适用于半导体材料生产处理液隔离操作舱。

技术介绍

[0002]半导体原材料在加工（如切割、研磨等）时，会产生处理液（包含重水），需要对处理液进行集中回收净化处理。在灌装处理液时，若操作不当则会使处理液飞溅、漫溢、及重水挥发、气味扩散等。由于处理液中含有有害气体、重水等威胁人体健康安全的成分，因此在操作时要非常小心。
[0003]但是这样的灌装处理效率慢，同时偶尔也会有外部因素的干扰导致处理液的飞溅、外溢等，因此需要提出一种安全性高的生产处理液隔离操作舱。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种生产处理液隔离操作舱，其不仅处理液的灌装回收方便，效率高，同时密封性好，安全性高。
[0005]为实现上述目的，本技术提出了一种生产处理液隔离操作舱，包括基面、舱体和物料桶，所述舱体安装在基面上，所述物料桶安装于舱体内，所述物料桶顶端一周设有至少一个小管接法兰，所述大管接法兰穿过舱体能够与小管接法兰连接，用于连接回收处理液的管道，所述物料桶的底端两侧设有出口管接法兰，用于连接处理液净化管道，所述舱体顶部设有排风扇，所述排风扇的下方设有排风滤网罩，所述排风滤网罩位于物料桶的上方。
[0006]作为优选，所述舱体前侧还设有维修口，所述维修口的上下两端设置有隔板滑条，调节滑板卡于所述隔板滑条内左右移动，实现维修口的开闭；方便零部件的安装和维修。
[0007]作为优选，所述舱体前侧还安装有扶梯；用于配合维修。
[0008]作为优选，所述舱体侧壁上设有观察窗，所述观察窗为矩形，所述观察窗由多根档条、短档、透明玻璃组合安装而成；用于观察舱体内的工作状态。
[0009]作为优选，所述舱体由多张盖板、横板和多根立柱、横杆组合而成，所述盖板和横板外表面设有金属板喷塑层，内表面设有PCU耐腐耐酸层，所述立柱、横杆表面设有耐腐耐酸层；舱体内的密封效果好，工作安全性高。
[0010]本技术的有益效果：本技术通过设置舱体，在舱体内设置物料桶，物料桶设置有进口管接法兰和出口管接法兰，便于处理液的灌装回收；通过将舱体的盖板和横板外表面设置金属板喷塑层，内表面设置PCU耐腐耐酸层，立柱、横杆表面设置耐腐耐酸层，其密封性高，安全性高。
[0011]本技术的特征及优点将通过实施例结合附图进行详细说明。
附图说明
[0012]图1是本技术实施例的结构示意图一。
[0013]图2是本技术实施例的结构示意图二。
[0014]图3是本技术实施例的结构示意图三。
[0015]图中：1
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基面、2
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舱体、3
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物料桶、4
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排风扇、5
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排风滤网罩、6
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隔板滑条、7
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调节滑板、8
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扶梯、21
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观察窗、22
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开关面板、31
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小管接法兰、32
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大管接法兰、33
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隔板、34
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出口管接法兰。
具体实施方式
[0016]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面通过附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。但是应该理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限制本技术的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本技术的概念。
[0017]如图1至图3所示，本实施例的一种生产处理液隔离操作舱，包括基面1、舱体2和物料桶3，舱体2安装在基面1上，物料桶3位于舱体2内，本实施例中设置了两个物料桶3位于舱体2内，物料桶3顶端设有多个小管接法兰31，每个小管接法兰31都可以连接大管接法兰32，根据需要实际确定连接大管接法兰32的数量，具体的，其中一部分的大管接法兰32外端穿过舱体2顶端，另一部分的大管接法兰32外端穿过舱体2侧壁，与用于灌装半导体原材料生产处理液（如重水）的管道连接，将处理液回收至物料桶3内，防止灌装处理时的飞溅、漫溢及重水挥发、气味扩散等，保护工作人员的身体健康；具体的，为了便于与管道连接，位于舱体2顶端的大管接法兰32设置成直角状，位于舱体2侧壁的大管接法兰32通过隔板33固定；在物料桶3底端两侧设置了出口管接法兰34，出口管接法兰34穿过舱体2侧壁底部，用于接通处理液净化管道，方便处理液的回收净化。
[0018]处理液回收至物料桶3内后，通过在舱体2顶端设置排风扇4，排风扇4下端设置排风滤网罩5，对少量的挥发气体进行适当过滤。
[0019]为了方便工作人员的维修和零部件的安装，在舱体2的前侧上端设置维修口，在维修口的上下两端设置隔板滑条6，调节滑板7卡于隔板滑条6内左右移动，用于维修口的开闭；由于物料桶3的高度较高，在舱体2的前侧还设置了扶梯8，方便工作人员的操作。
[0020]为了便于观察舱体2内工作状态，在舱体2左侧壁上设置矩形观察窗21，观察窗21设置有两个，由多根长档条、短档条固定而成，两个观察窗21之间上端设置开关面板22，用于舱体2内整体运行状态的控制。
[0021]由于半导体原材料生产出的处理液，尤其是重水，其环境污染大、威胁工作人员的身体健康，在灌装回收时，其密封性要求较高，因此对舱体2的密封性要求也较高，本技术的舱体2由多张盖板、横板和多根立柱、横杆组合而成，盖板和横板外表面均采用金属板喷塑，内表面采用PCU耐腐耐酸材料，立柱、横杆采用金属制作而成，同时经耐腐耐酸涂料处理；隔离人与处理液，保证密封，提高工作人员操作的安全性。
[0022]工作时，处理液灌装回收时，将大管接法兰32与连接处理液的回收管道连接，实现处理液的集中回收处理；通过观察窗21可以实时观察，维修口方便维修。
[0023]以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换或改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种生产处理液隔离操作舱，包括基面、舱体和物料桶，所述舱体安装在基面上，所述物料桶安装于舱体内，其特征在于：所述物料桶顶端一周设有至少一个小管接法兰，大管接法兰穿过舱体能够与小管接法兰连接，用于连接回收处理液的管道，所述物料桶的底端两侧设有出口管接法兰，用于连接处理液净化管道，所述舱体顶部设有排风扇，所述排风扇的下方设有排风滤网罩，所述排风滤网罩位于物料桶的上方。2.如权利要求1所述的生产处理液隔离操作舱，其特征在于：所述舱体前侧还设有维修口，所述维修口的上下两端设置有隔板滑条，调节滑板卡于所述隔板滑条内左右...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹小荣，许晓靖，曹凌峰，
申请(专利权)人：杭州格勒玛数控机床制造有限公司，
类型：新型
国别省市：