一种切割机主轴装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种切割机主轴装置，该主轴装置还包括套于主轴外周的主轴套，所述主轴套和主轴之间设有传动轴承，所述主轴套的左侧设有主轴前封盖，所述主轴前封盖和主轴之间设有轴套前端盖，所述主轴前封盖通过轴套前端盖和主轴套连接，所述主轴套后端内壁设有轴套后端盖，所述轴套后端盖的右侧设有后端压紧盖，所述轴套前端盖和轴套后端盖靠近主轴套的一端设有迷宫式台阶，分别与主轴套密封连接。本实用新型专利技术一种切割机主轴装置，对主轴予以密封保护，防止切割产生的水渗入，避免传动轴承的快速磨损，提高传动精度。提高传动精度。提高传动精度。

【技术实现步骤摘要】
一种切割机主轴装置


[0001]本技术涉及切割设备的
，特别涉及一种适用于半导体材料多线切割设备的主轴装置。

技术介绍

[0002]多线切割是一种通过金属丝的高速往复运动，把磨料带入半导体加工区域进行研磨，将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法。数控多线切割机已逐渐取代了传统的内圆切割，成为硅片切割加工的主要方式。
[0003]在线磨丝切割零件时需要研磨金刚砂予以辅助，高压水中含有研磨金刚砂，因此在切割时大多数是通过线磨丝及高压水进行的，由于高压水的辅助切割，及切割完成后的清洗，渗透入多线切割机的运动主轴中，使传动轴承快速磨损，丧失传动精度。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种切割机主轴装置，对主轴予以密封保护，防止切割产生的水渗入，避免传动轴承的快速磨损，提高传动精度。
[0005]为实现上述目的，本技术提出了一种切割机主轴装置，包括主轴，该主轴装置还包括套于主轴外周的主轴套，所述主轴套和主轴之间设有传动轴承，所述主轴套的左侧设有主轴前封盖，所述主轴前封盖和主轴之间设有轴套前端盖，所述主轴前封盖通过轴套前端盖和主轴套连接，所述主轴套后端内壁设有轴套后端盖，所述轴套后端盖的右侧设有后端压紧盖，所述轴套前端盖和轴套后端盖靠近主轴套的一端设有迷宫式台阶，分别与主轴套密封连接。
[0006]作为优选，所述主轴套为左端大右端小的T型结构，有效的保护主轴及主轴内的传动轴。
[0007]作为优选，所述主轴前封盖的侧壁设有集水槽，所述集水槽的外端设有排水孔；通过设置集水槽可以将渗入的水进行收集，然后从排水孔排出，与轴套前端盖相配合，实现主轴的密封、渗入水的排出的双重保护，达到对主轴传动轴的保护，避免磨损，提高传动精度。
[0008]作为优选，所述集水槽的内端与轴套前端盖相通，这样在水渗入到轴套前端盖的表面时能及时的将水排出。
[0009]作为优选，所述集水槽设置有2个，2个集水槽相邻设置，且大小不同，有利于水的分散快速排出。
[0010]作为优选，所述主轴右端还设有带轮，所述带轮通过膨胀连接套与主轴连接，方便主轴与其他传输部件的连接。
[0011]本技术的有益效果：本技术通过设置主轴套，主轴套的两端分别设置有轴套前端盖和轴套后端盖，轴套前端盖和轴套后端盖设置有迷宫式台阶，实现与主轴、主轴套的密封连接；在轴套前端盖上还设置有主轴前封盖，主轴前封盖内设置有集水槽，集水槽的外端设置有排水孔，实现轴套前端盖外表面渗入水的及时排出，保护主轴及传动轴承。
[0012]本技术的特征及优点将通过实施例结合附图进行详细说明。
附图说明
[0013]图1是本技术的结构示意图。
[0014]图2是图1中A处的局部放大图。
[0015]图中：1
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主轴、2
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主轴套、3
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深沟球轴承、4
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主轴前封盖、5
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轴套前端盖、6
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轴套后端盖、7
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后端压盖螺母、8
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四槽带轮、9
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压盖螺母、10
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迷宫式台阶、51
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集水槽、52
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排水孔、91
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压紧防松垫。
具体实施方式
[0016]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面通过附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。但是应该理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限制本技术的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本技术的概念。
[0017]如图1和图2所示，本实施例的一种切割机主轴装置，包括主轴1和套于主轴1外周的主轴套2，主轴1和主轴套2之间设有深沟球轴承3，
[0018]具体的，主轴套2的截面为前长后短的T形结构，即主轴套2前端的直径大，后端的直径小，
[0019]主轴套2的前端设有主轴前封盖4，主轴前封盖4与主轴1之间还设置有轴套前端盖5，用于主轴套2前端的密封定位，主轴套2后端与主轴1之间设有轴套后端盖6，用于主轴套2后端的密封定位，主轴1上还设有后端压盖螺母7，用于轴套后端盖6的压紧定位，主轴1的尾部还设有四槽带轮8，用于与其他部件的连接，如皮带，主轴1前端设有压盖螺母9，压盖螺母9的前端设有压紧防松垫91，用于主轴1前端的压紧固定；
[0020]本技术的主要改进在于：为了防止半导体在切割时产生的水渗透入主轴1中，不仅设置了主轴套2，在与主轴套2固定连接的轴套前端盖5和轴套后端盖6上均设置有迷宫式台阶10，在主轴套2和主轴1连接时，迷宫式台阶10的结构设置加强了两者之间的固定密封，在很大程度上防止了水的渗入；同时在轴套前端盖5内设置多个集水槽51，由于切割时水是渗透进去的，水滴非常小，所以集水槽51可以设置的比较小，具体的，可以在轴套前端盖5内设置两个相对的一大一小的集水槽51，集水槽51的两端相通，靠近轴套前端盖5的内端直径小于外端直径，外端设有排水孔52，可以把渗透进入轴套前端盖5的水排出，避免对主轴1内的传动轴承造成损坏，丧失传动精度。
[0021]通过采用上述技术方案，主轴1与主轴套2之间的密封性好，同时设置的集水槽51和排水孔52还能将渗入到轴套前端盖5的水收集排出，既避免了水的渗入还能有效排出，对主轴1内的深沟球轴承3给予很大的保护，延长主轴1及深沟球轴承3的使用寿命，保持传动精度。
[0022]以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换或改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种切割机主轴装置，包括主轴，其特征在于：该主轴装置还包括套于主轴外周的主轴套，所述主轴套和主轴之间设有传动轴承，所述主轴套的左侧设有主轴前封盖，所述主轴前封盖和主轴之间设有轴套前端盖，所述主轴前封盖通过轴套前端盖和主轴套连接，所述主轴套后端内壁设有轴套后端盖，所述轴套后端盖的右侧设有后端压紧盖，所述轴套前端盖和轴套后端盖靠近主轴套的一端设有迷宫式台阶，分别与主轴套密封连接。2.如权利要求1所述的切割机主轴装置，其特征在于：所述主轴套为左端大右端小的T型...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹小荣，许晓靖，曹凌峰，
申请(专利权)人：杭州格勒玛数控机床制造有限公司，
类型：新型
国别省市：