一种精密镜面研磨装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种精密镜面研磨装置，包括底座、安装在底座上的电机和磨头，所述磨头包括磨头组件和安装在磨头组件一端的研磨金刚砂轮，所述电机与磨头组件通过皮带传动连接，该研磨装置还包括磨头夹座，所述磨头通过磨头夹座与底座连接，所述底座与磨头夹座活动连接，用于调节磨头垂直方向的高度。本实用新型专利技术一种精密镜面研磨装置，通过对磨头和电机的位置进行有效调节，提高研磨效果。提高研磨效果。提高研磨效果。

A precision mirror grinding device

【技术实现步骤摘要】
一种精密镜面研磨装置


[0001]本技术涉及研磨设备的
，特别涉及一种适用于半导体材料精密镜面研磨装置。

技术介绍

[0002]研磨机是用涂上或嵌入磨料的研具对工件表面进行研磨的磨床。主要用于研磨工件中的高精度平面、内外圆柱面、圆锥面、球面、螺纹面和其他型面。
[0003]高精度平面的研磨要求具有较高的研磨精密度，尤其是对半导体材料的精密镜面的研磨，现有的研磨机一般安装完成后，其用于提供驱动力的电机或研磨砂轮的位置固定不变，不能进行有效调节，导致在对高精密镜面研磨时，其砂轮的位置与镜面的位置无法达到高度的匹配和有效研磨，研磨的效果有待提高。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种精密镜面研磨装置，通过对磨头和电机的位置进行有效调节，提高研磨效果。
[0005]为实现上述目的，本技术提出了一种精密镜面研磨装置，包括底座、安装在底座上的电机和磨头，所述磨头包括磨头组件和安装在磨头组件一端的研磨金刚砂轮，所述电机与磨头组件通过皮带传动连接，该研磨装置还包括磨头夹座，所述磨头通过磨头夹座与底座连接，所述底座与磨头夹座活动连接，用于调节磨头垂直方向的高度。
[0006]作为优选，所述磨头夹座设有开口，所述开口上设有调节压块，所述底座靠近磨头夹座的一端设有凹槽，所述调节压块位于凹槽内，磨头调节螺杆下部分与调节压块螺纹连接后伸入底座，与底座螺纹连接，所述磨头调节螺杆的上端设有手轮一；旋转手轮一时可以对磨头垂直方向的位置进行调节，提高研磨的精密度。
>[0007]作为优选，所述磨头调节螺杆上设有挡块，所述挡块位于调节压块的下方，用于磨头调节螺杆的限位；限制磨头垂直方向的移动范围。
[0008]作为优选，所述磨头夹座的两侧设有供螺栓滑动的椭圆槽一，所述螺栓穿过椭圆槽一与底座连接，所述底座两侧设有供磨头导柱滑动的椭圆槽二，所述磨头导柱两端穿过椭圆槽二与磨头夹座连接；磨头夹座位于底座上且能够稳定的上下移动。
[0009]作为优选，所述底座远离磨头夹座的一端设有调节槽，所述调节槽内设有调节组件，所述电机与调节组件连接，用于调节电机水平方向的位置。
[0010]作为优选，所述调节组件包括与电机连接的移动调节柱和电机调节螺杆，所述电机调节螺杆与移动调节柱螺纹连接，所述电机调节螺杆远离移动调节柱的一端设有手轮二；通过旋转手轮二实现电机的水平调节，拉紧与磨头连接的皮带轮，提高研磨的效果。
[0011]作为优选，所述调节槽靠近手轮二的一端设有调节螺杆挡块，所述调节螺杆挡块上设有凹槽，所述电机调节螺杆上设有两个间隔设置的限位块，两个所述限位块分别位于凹槽的两侧，用于电机调节螺杆的限位。
[0012]作为优选，该研磨装置还包括带轮罩，所述底座上安装有支撑脚架，所述带轮罩与支撑脚架连接，所述电机的磨头带轮和磨头组件的磨头带轮均位于带轮罩内；用于保护磨头和电机的磨头带轮。
[0013]作为优选，该研磨装置还包括砂轮防护罩，所述砂轮防护罩设有卡环，所述卡环卡于磨头组件上，所述研磨金刚砂轮位于砂轮防护罩内；用于在研磨时提高安全性；同时将研磨时产生的废屑隔离在内。
[0014]本技术的有益效果：本技术通过设置磨头，磨头上设有磨头夹座，磨头夹座和底座能够上下活动连接，底座上设有电机，通过调节组件可以调节电机在底座上的水平位置，实现磨头和电机的双调节，提高了设备安装的精密度，研磨时的位置匹配度更高，提高研磨效果。
[0015]本技术的特征及优点将通过实施例结合附图进行详细说明。
附图说明
[0016]图1是本技术的结构示意图。
[0017]图2是本技术的爆炸结构示意图一。
[0018]图3是本技术的爆炸结构示意图二。
[0019]图4是图2中A处的局部放大图。
[0020]图中：1
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底座、2
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电机、3
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磨头组件、4
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研磨金刚砂轮、5
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磨头夹座、6
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磨头调节螺杆、7
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电机垫板、8
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移动调节柱、9
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电机调节螺杆、10
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手轮二、11
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凹槽、12
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椭圆槽二、13
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磨头导柱、14
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带轮罩、15
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砂轮隔套、16
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压紧螺母、17
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砂轮防护罩、18
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调节槽、21
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磨头带轮一、31
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磨头带轮二、32
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磨头轴、33
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磨头轴套、34
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磨头端盖、51
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调节压块、52
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椭圆槽一、61
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手轮一、62
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挡块、91
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限位块、141
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带轮罩支撑架、181
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调节螺杆挡块、182
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卡位槽。
具体实施方式
[0021]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面通过附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。但是应该理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限制本技术的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本技术的概念。
[0022]如图1至图4所示，本实施例的一种精密镜面研磨装置，包括底座1、电机2和磨头，磨头包括磨头组件3和研磨金刚砂轮4，磨头组件3上套入有磨头夹座5，磨头夹座5设有开口，底座1一端位于开口内与磨头夹座5连接，磨头夹座5上设有电机2，电机2与磨头组件3通过皮带传动连接，研磨金刚砂轮4与磨头组件3连接用于半导体材料镜面的研磨。
[0023]为了提高精密镜面研磨的精密性，首先对磨头的垂直方向进行调节，磨头夹座5开口处设有调节压块51，底座1和磨头夹座5连接处的一端设有凹槽11，调节压块51位于凹槽11内，磨头调节螺杆6下部分与调节压块51螺纹连接后伸入底座1，与底座1螺纹连接，实现磨头调节螺杆6的旋转，磨头调节螺杆6的上端连接有手轮一61，这样，旋转手轮一61时，就能带动调节压块51，进而可以带动磨头的垂直方向的调节；若在调节的过程中磨头的重量较重，调节的效果不理想，可以借助外力托住磨头实现垂直方向的调节；同时为了防止旋转时磨头调节螺杆6的上下移动，在磨头调节螺杆6上还设置了挡块62，挡块62位于调节压块
51的下方。
[0024]为了配合磨头的定位和上下移动，在与底座1连接时要有能够调整的范围，具体的，一方面，磨头夹座5的开口处两侧设置供螺栓上下活动的椭圆槽一52，磨头夹座5通过螺栓内端穿过椭圆槽一52后与底座1连接，另一方面，底座1两侧设置有椭圆槽二12，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种精密镜面研磨装置，包括底座、安装在底座上的电机和磨头，所述磨头包括磨头组件和安装在磨头组件一端的研磨金刚砂轮，所述电机与磨头组件通过皮带传动连接，其特征在于：该研磨装置还包括磨头夹座，所述磨头通过磨头夹座与底座连接，所述底座与磨头夹座活动连接，用于调节磨头垂直方向的高度。2.如权利要求1所述的精密镜面研磨装置，其特征在于：所述磨头夹座设有开口，所述开口上设有调节压块，所述底座靠近磨头夹座的一端设有凹槽，所述调节压块位于凹槽内，磨头调节螺杆下部分与调节压块螺纹连接后伸入底座，与底座螺纹连接，所述磨头调节螺杆的上端设有手轮一。3.如权利要求2所述的精密镜面研磨装置，其特征在于：所述磨头调节螺杆上设有挡块，所述挡块位于调节压块的下方，用于磨头调节螺杆的限位。4.如权利要求2所述的精密镜面研磨装置，其特征在于：所述磨头夹座的两侧设有供螺栓滑动的椭圆槽一，所述螺栓穿过椭圆槽一与底座连接，所述底座两侧设有供磨头导柱滑动的椭圆槽二，所述磨头导柱两端穿过椭圆槽二与磨头夹座连接。5.如权利要求1所述的精密镜面研磨装置，其特征在于：所述底座远离磨头夹座的...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹小荣，许晓靖，曹凌峰，
申请(专利权)人：杭州格勒玛数控机床制造有限公司，
类型：新型
国别省市：