【技术实现步骤摘要】
一种精密镜面研磨装置
[0001]本技术涉及研磨设备的
，特别涉及一种适用于半导体材料精密镜面研磨装置。
技术介绍
[0002]研磨机是用涂上或嵌入磨料的研具对工件表面进行研磨的磨床。主要用于研磨工件中的高精度平面、内外圆柱面、圆锥面、球面、螺纹面和其他型面。
[0003]高精度平面的研磨要求具有较高的研磨精密度，尤其是对半导体材料的精密镜面的研磨，现有的研磨机一般安装完成后，其用于提供驱动力的电机或研磨砂轮的位置固定不变，不能进行有效调节，导致在对高精密镜面研磨时，其砂轮的位置与镜面的位置无法达到高度的匹配和有效研磨，研磨的效果有待提高。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种精密镜面研磨装置，通过对磨头和电机的位置进行有效调节，提高研磨效果。
[0005]为实现上述目的，本技术提出了一种精密镜面研磨装置，包括底座、安装在底座上的电机和磨头，所述磨头包括磨头组件和安装在磨头组件一端的研磨金刚砂轮，所述电机与磨头组件通过皮带传动连接，该研磨装置还包括磨头夹...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种精密镜面研磨装置，包括底座、安装在底座上的电机和磨头，所述磨头包括磨头组件和安装在磨头组件一端的研磨金刚砂轮，所述电机与磨头组件通过皮带传动连接，其特征在于：该研磨装置还包括磨头夹座，所述磨头通过磨头夹座与底座连接，所述底座与磨头夹座活动连接，用于调节磨头垂直方向的高度。2.如权利要求1所述的精密镜面研磨装置，其特征在于：所述磨头夹座设有开口，所述开口上设有调节压块，所述底座靠近磨头夹座的一端设有凹槽，所述调节压块位于凹槽内，磨头调节螺杆下部分与调节压块螺纹连接后伸入底座，与底座螺纹连接，所述磨头调节螺杆的上端设有手轮一。3.如权利要求2所述的精密镜面研磨装置，其特征在于：所述磨头调节螺杆上设有挡块，所述挡块位于调节压块的下方，用于磨头调节螺杆的限位。4.如权利要求2所述的精密镜面研磨装置，其特征在于：所述磨头夹座的两侧设有供螺栓滑动的椭圆槽一，所述螺栓穿过椭圆槽一与底座连接，所述底座两侧设有供磨头导柱滑动的椭圆槽二，所述磨头导柱两端穿过椭圆槽二与磨头夹座连接。5.如权利要求1所述的精密镜面研磨装置，其特征在于：所述底座远离磨头夹座的...
【专利技术属性】
技术研发人员：曹小荣，许晓靖，曹凌峰，
申请(专利权)人：杭州格勒玛数控机床制造有限公司，
类型：新型
国别省市：
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