晶片盒支撑体拉伸辅助装置制造方法及图纸

技术编号:3239738 阅读:172 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术为一种晶片盒支撑体拉伸辅助装置,该装置包括插槽及把持件,所述插槽之开口端可套入支撑体之定位端,所述插槽之连接端与晶片盒支撑体拉伸辅助装置的把持件可连接成可垂直的固定装置;所述晶片盒支撑体拉伸辅助装置的把持件的一端可与晶片盒支撑体拉伸辅助装置的两个空心管状插槽连接成可垂直的固定装置,另一端可悬空或搭接在晶片盒边缘,把持件宽度可超出晶片盒边缘宽度;所述晶片盒支撑体拉伸辅助装置使用时附加于支撑体之定位件与晶片盒边缘之间,使用后可自然取下,不影响晶片盒整体结构。(*该技术在2016年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种便于安全储存晶圆片的晶片盒支撑体拉伸辅助装置
技术介绍
目前已知的相关技术中,如申请号为“ZL03238804.7”的中国专利申请中描述的,为确保片状产品在生产过程中,例如晶圆片,的安全储存、搬移和避免破损与污染,多采用斜槽、可封闭的晶片盒储存晶圆片。为减少晶圆片在晶片盒内的晃动,又在晶片盒中加入了支撑体设计。图8是晶片盒支撑体侧面示意图。如图8所示,实际使用中,将晶圆装入支撑体70的斜槽中时,由于支撑体的材料、结构、精度等原因,通常支撑体70靠近定位件40一端的第一储存间隙90略小,使得第一片晶圆不易安放,常需反复放置,由此增加了晶圆片破损的可能性。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种便于安全储存晶圆片的晶片盒支撑体拉伸辅助装置,通过外力作用于该装置,适当增加支撑体间隙宽度,使晶圆可以顺利地装入伴有支撑体的斜槽中。本技术的基本构思是晶片盒支撑体拉伸辅助装置使用时附加于支撑体定位端与晶片盒边缘间,便于向支撑体施加外力。所述晶片盒内设置有用于与支撑体之抵顶端及斜槽紧密连接的固定结构;所述晶片盒附有可盖合于所述晶片盒的盒盖,以及可与晶片盒及支撑体紧密套合的斜槽;所述支撑体设置有定位端及抵顶端,用以与晶片盒内之固定结构紧密连接。作为实现本技术的技术方案,此晶片盒支撑体拉伸辅助装置设有插槽及把持件,所述插槽的开口端可套入支撑体之定位端,连接端与晶片盒支撑体拉伸辅助装置的把持件连接成垂直装置;所述晶片盒支撑体拉伸辅助装置的把持件的一端与晶片盒支撑体拉伸辅助装置的插槽连接成垂直装置,另一端可悬空或搭接在晶片盒边缘;所述晶片盒支撑体拉伸辅助装置使用时附加于支撑体之定位件与晶片盒边缘之间,使用后可自然取下,不影响晶片盒整体结构。如上所述,采用本技术的晶片盒支撑体拉伸辅助装置,可通过外力拉伸作用,适当增加支撑体间隙宽度,尤其是第一间隙宽度,减少了第一片晶圆片破损的可能性。附图说明图1是本技术的第一个实施方式的结构示意图;图2是本技术的第二个实施方式的结构示意图;图3是本技术的第三个实施方式的折叠前后侧面示意图;图4是本技术的第四个实施方式的折叠前后侧面示意图;图5是本技术的第一个实施方式中的空心管状插槽的剖面图;图6是本技术的第二个实施方式中的空心管状插槽的剖面图;图7是本技术的使用状态示意图;图8是晶片盒支撑体侧面示意图。其中10插槽 11连接端12开口端20把持件30折叠连接件31固定面32连接弹簧 33固定面40定位端50晶片盒边缘60晶片盒70支撑体80斜槽 90间隙具体实施方式以下结合附图和具体实施方式对本技术作详细说明。图1是本技术的第一个实施方式的结构示意图。如图1所示,本技术的晶片盒支撑体拉伸辅助装置包括两部分空心管状插槽10及把持件20。空心管状插槽10的连接端11与把持件20的一端连接成垂直固定结构;所述空心管状插槽10为四面壁、中空管状结构。图7是本技术的使用状态示意图,图8是晶片盒支撑体侧面示意图。参见图7和图8,本专利技术的晶片盒支撑体拉伸辅助装置的空心管状插槽10用于插入支撑体70的定位端40。使用时,将把持件20的未与空心管状插槽10的连接端11连接的一端,朝向晶片盒外放置,将空心管状插槽10的开口端12套入支撑体70的定位端40后,慢慢将该晶片盒支撑体拉伸辅助装置插入到定位端40的底部。然后施加外力于该晶片盒支撑体拉伸辅助装置上,支撑体70即可通过外力拉伸作用,适当增加间隙90的宽度,晶片便顺利进入到缝隙90中。使用后可将该晶片盒支撑体拉伸辅助装置自然取下,不影响斜槽80、支撑体70及晶片盒60的整体结构。图2是本技术的第二个实施方式的结构示意图。如图2所示,本技术的晶片盒支撑体拉伸辅助装置包括两部分空心管状插槽10及把持件20。空心管状插槽10的连接端11与把持件20的一端连接成垂直固定结构;所述空心管状插槽10为三面壁、中空槽状结构,用于插入支撑体70的定位端40。使用时,参见图7和图8,将所述晶片盒支撑体拉伸辅助装置的把持件20的未与空心管状插槽10的连接端11连接的一端,朝向晶片盒外放置,并将空心管状插槽10的开口端12套入支撑体70的定位端40后,慢慢将该晶片盒支撑体拉伸辅助装置插入到定位端40的底部。其中,三面壁围拢支撑体的定位端40,使在外力施加作用于该晶片盒支撑体拉伸辅助装置上时,支撑体70的定位端40可在外力作用下向晶片盒60靠拢,支撑体70即可通过外力拉伸作用,适当增加间隙90的宽度,晶片便顺利进入到缝隙90中。使用后可将该晶片盒支撑体拉伸辅助装置自然取下,不影响斜槽80、支撑体70及晶片盒60的整体结构。图3是本技术的第三个实施方式的折叠前后侧面示意图。如图3所示,本技术的晶片盒支撑体拉伸辅助装置包括三部分空心管状插槽10、把持件20及折叠连接件30;所述折叠连接件30由固定面31、连接弹簧32和固定面33依次串接构成,用于连接空心管状插槽10及把持件20,使所述晶片盒支撑体拉伸辅助装置的三组分形成可折叠的整体结构。所述空心管状插槽10的连接端11与折叠连接件30的固定面31连接成固定结构,折叠连接件30的另一固定面33与把持件20的一端连接成固定结构;所述空心管状插槽10为四面壁中空管状结构或三面壁中空管状结构,用于插入支撑体70的定位端40。使用时,参见图7和图8,将所述晶片盒支撑体拉伸辅助装置把持件20的未与空心管状插槽10的连接端11连接的一端,朝向晶片盒外放置,并将空心管状插槽10的开口端12套入支撑体70的定位端40后,慢慢将该晶片盒支撑体拉伸辅助装置插入到定位端40的底部。施加外力于该晶片盒支撑体拉伸辅助装置上,支撑体70即可通过外力拉伸作用,适当增加间隙90的宽度,晶片便顺利进入到缝隙90中。使用后可将该晶片盒支撑体拉伸辅助装置自然取下,不影响斜槽80、支撑体70及晶片盒60整体结构。本实施方式的晶片盒支撑体拉伸辅助装置的空心管状插槽10和把持件20为可折叠设计,便于放置。图4是本技术的第四个实施方式的折叠前后侧面示意图。如图4所示,本技术的晶片盒支撑体拉伸辅助装置包括四部分空心管状插槽10、把持件20、把持附件21及折叠连接件30。所述把持附件21与把持件20的一端以把持附件21为主承接面,垂直相接成固定结构。所述折叠连接件30由固定面31、连接弹簧32和固定面33依次串接构成,用于连接空心管状插槽10及把持件20,使所述晶片盒支撑体拉伸辅助装置的三组分形成可折叠的整体结构。所述空心管状插槽10的连接端11与折叠连接件30的固定面31连接成固定结构,折叠连接件30的另一固定面33与把持件20连接成固定结构。使用时,空心管状插槽10与把持件20通过折叠连接件30形成垂直整体结构,且与把持件20垂直固定相接的把持附件21可与空心管状插槽10紧密相接,此时,把持附件21可作为本技术的晶片盒支撑体拉伸辅助装置承受外力时的辅助承重面;所述空心管状插槽10为四面壁、中空管状结构或三面壁中空管状结构,用于插入支撑体70的定位端40;使用时,参见图7和图8,将所述晶片盒支撑体拉伸辅助装置把持件20的未与空心管状插槽10的连接端11连接的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶片盒支撑体拉伸辅助装置,其特征在于:所述装置包括插槽及把持件,所述插槽(10)和把持件(20)连接成整体结构。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:钱洪涛
申请(专利权)人:中芯国际集成电路制造上海有限公司
类型:实用新型
国别省市:31[中国|上海]

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