一种新型电极结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种新型电极结构，包括：电极，所述电极上端设有连接端，所述电极内设有冷却水道，所述冷却水道于电极下端的侧面设有出水口；电极块，所述电极块连接在电极下端的侧面；水管，所述水管设置在冷却水道内，所述水管的下端与冷却水道的下开口之间通过转接头密封连接，所述水管下端连接有进水弯头。本实用新型专利技术的有益效果为：使用时电极顶部位置为温度相对最高位置，因此需要重点冷却，冷却水经水管先进入到电极顶部的冷却水道位置，使得冷却水能充分冷却到电极顶端，防止电极顶端因温度过高而受损。因温度过高而受损。因温度过高而受损。

【技术实现步骤摘要】
一种新型电极结构


[0001]本技术属于单晶硅生产设备领域，具体涉及一种新型电极结构。

技术介绍

[0002]单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。
[0003]电极是单晶炉设备中一个十分重要的部件，其作用是对整个炉体内的加热器通电加热。在使用过程中，电极与炉底盘相连，需要对整个炉体进行密封。同时，电极部分在使用时一般温度很高，需要进行冷却。
[0004]综上所述，为解决现有的技术问题，本技术设计了一种结构简单、可以快速进行冷却、冷却效果良好的新型电极结构。

技术实现思路

[0005]本技术为解决现有的技术问题，设计了一种结构简单、可以快速进行冷却、冷却效果良好的新型电极结构。
[0006]本技术的目的可通过以下技术方案来实现：
[0007]一种新型电极结构，包括：
[0008]电极，所述电极上端设有连接端，所述电极内设有冷却水道，所述冷却水道于电极下端的侧面设有出水口；
[0009]电极块，所述电极块连接在电极下端的侧面；
[0010]水管，所述水管设置在冷却水道内，所述水管的下端与冷却水道的下开口之间通过转接头密封连接，所述水管下端连接有进水弯头。
[0011]进一步的，所述电极上端套设有电极护套，所述电极护套中部设有电极护盖。
[0012]进一步的，所述电极中部具有凸环，所述凸环上表面设有上绝缘片，所述凸环下表面设有下绝缘片。
[0013]进一步的，所述凸环上方设有密封圈。
[0014]进一步的，所述电极下端的侧面设有温控开关。
[0015]相比现有技术，本技术结构设置合理：使用时电极顶部位置为温度相对最高位置，因此需要重点冷却，冷却水经水管先进入到电极顶部的冷却水道位置，使得冷却水能充分冷却到电极顶端，防止电极顶端因温度过高而受损。
附图说明
[0016]图1为本新型电极结构整体示意图；
[0017]图2为本新型电极结构结构示意图；
[0018]参见图1至图2，其中：1、电极；11、连接端；12、冷却水道；13、出水口；14、凸环；2、电
极块；3、水管；31、转接头；32、进水弯头；41、电极护套；42、电极护盖；51、上绝缘片；52、下绝缘片；53、密封圈；6、温控开关。
具体实施方式
[0019]下面结合实施例，对本技术的技术方案作进一步的阐述。在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0020]在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0021]实施例一：
[0022]一种新型电极结构，包括：
[0023]电极1，所述电极1上端设有连接端11，所述电极1内设有冷却水道12，所述冷却水道12于电极1下端的侧面设有出水口13；
[0024]电极块2，所述电极块2连接在电极1下端的侧面；
[0025]水管3，所述水管3设置在冷却水道12内，所述水管3的下端与冷却水道 12的下开口之间通过转接头31密封连接，所述水管3下端连接有进水弯头32。
[0026]具体的，电极1与单晶炉的炉底盘相连，电极1上的连接端11具有螺纹结构，且与单晶炉的加热器相连接，电极1上的电极块2通过铝排或电缆与外部电路相连来对电极1进行通电，电极1在使用时一般温度很高，故而电极1结构内需要进行及时冷却，在使用时，进水弯头32向水管3内进入低温的冷却水，冷却水经过水管3到达冷却水道12位于连接端11内的部分，对连接端11进行直接的冷却，避免电极1上温度最高的连接端11烧坏，冷却水在冷却水道12 内向下流动，逐渐对电极1中部冷却，由转接头31进行密封，冷却水不会从冷却水道12与水管3的下端漏出，冷却水最后由出水口13排出，从而形成了一个完整的水冷回路。
[0027]实施例二：
[0028]实施例二与实施例一的区别在于，所述电极1上端套设有电极护套41，所述电极护套41中部设有电极护盖42。
[0029]具体的，电极护套41与电极护盖42可以避免在使用过程中会有灰尘等杂物进出炉内。
[0030]实施例三：
[0031]实施例三与实施例一的区别在于，所述电极1中部具有凸环14，所述凸环 14上表面设有上绝缘片51，所述凸环14下表面设有下绝缘片52。
[0032]具体的，凸环14为电极1与单晶炉设备的连接处，上绝缘片51与下绝缘片52可以确保电极1与单晶炉设备的绝缘性，保证整个炉体的安全。
[0033]实施例四：
[0034]实施例四与实施例一的区别在于，所述凸环14上方设有密封圈53。
[0035]具体的，密封圈53可以保证电极1与单晶炉之间连接的密封性，确保炉体内部在使用过程中的真空环境。
[0036]实施例五：
[0037]实施例五与实施例一的区别在于，所述电极1下端的侧面设有温控开关6。
[0038]具体的，温控开关6可实时方便准确的对温度进行监测，一旦电极1达到预设温度值，温控开关6发出信号切断电源，防止因温度过高使得电极1烧坏。
[0039]本文中所描述的仅为本技术的优选实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此。本技术所属领域的技术人员对所描述的具体实施例进行的修改或补充或采用类似的方式替换，均应涵盖于本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型电极结构，其特征在于，包括：电极，所述电极上端设有连接端，所述电极内设有冷却水道，所述冷却水道于电极下端的侧面设有出水口；电极块，所述电极块连接在电极下端的侧面；水管，所述水管设置在冷却水道内，所述水管的下端与冷却水道的下开口之间通过转接头密封连接，所述水管下端连接有进水弯头。2.根据权利要求1所述的一种新型电极结构，其特征在于，所述电极上端...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨雷，
申请(专利权)人：浙江晶阳机电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：