本发明专利技术公开了一种用于半导体晶圆制备的高纯度的多晶硅溶解设备，涉及硅晶体制造设备技术领域，包括壳体，壳体顶部设置有进料组件，壳体内部设置有溶解腔，壳体一侧固定连接有电动伸缩缸，溶解腔中设置有连接板，电动伸缩缸的端部贯穿壳体并与连接板固定连接，连接板上固定连接有搅拌组件，壳体底部固定开设有出料口，出料口上设置有过滤组件，过滤组件下方设置有排料箱，排料箱底部固定连接有排料阀，溶解腔与出料口连通，出料口与排料箱连通，溶解腔内壁固定连接有支撑板，支撑板中固定连接有转轴，转轴上转动连接有转筒，转筒与转轴之间设置有卷簧，本发明专利技术溶解效率高、下料流畅，出料稳定。稳定。稳定。
【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体晶圆制备的高纯度的多晶硅溶解设备
[0001]本专利技术涉及多晶硅溶解设备
，尤其是涉及一种用于半导体晶圆制备的高纯度的多晶硅溶解设备。
[0002]
技术介绍
[0003]多晶硅，是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅，而在生产半导体晶圆的过程中需要将多晶硅首先溶解。
[0004]中国专利公开号为CN101435105专利技术专利公开了一种低含氧量硅晶体的制备方法，包括将硅熔液置入石英坩埚内，通过定向凝固法或丘克劳斯基法，制备硅晶体，在硅晶体的制备过程中，将还原性气体或由还原性气体与惰性气体组成的混合气体作为保护气体通过硅熔液表面，其目的在于降低硅晶体中的氧浓度。该制备方法操作简单，易于工业化生产。
[0005]但是，这种上述专利技术以及
技术介绍
中心还存在很大的不足之处：第一：多晶体物料送入到溶解装置中的时候，多晶体在溶解装置中的溶解速率缓慢，工业成产效率慢；第二：多晶体物料送入到溶解装置中的时候，会在溶解装置的顶部发生堵塞的情况，导致下料出现困难，需要人工去搅动多晶体物料，从而疏通下料通道，费时费力；第三；溶解后的多晶体物料在出料的时候，会发生堵塞的情况，导致多晶体溶液无法排出，排料困难。
[0006]
技术实现思路
[0007]本专利技术的目的在于提供一种用于半导体晶圆制备的高纯度的多晶硅溶解设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0008]本专利技术的技术方案是：一种用于半导体晶圆制备的高纯度的多晶硅溶解设备，包括壳体，所述壳体顶部设置有进料组件，所述壳体内部设置有溶解腔，所述壳体一侧固定连接有电动伸缩缸，所述溶解腔中设置有连接板，所述电动伸缩缸的端部贯穿所述壳体并与连接板固定连接，所述连接板上固定连接有搅拌组件，所述壳体底部固定开设有出料口，所述出料口上设置有过滤组件，所述过滤组件下方设置有排料箱，所述排料箱底部固定连接有排料阀，所述溶解腔与所述出料口连通，所述出料口与所述排料箱连通，所述溶解腔内壁固定连接有支撑板，所述支撑板中固定连接有转轴，所述转轴上转动连接有转筒，所述转筒与所述转轴之间设置有卷簧，所述转筒上连接有拉绳，所述拉绳远离转筒的一端与所述搅拌组件固定连接。
[0009]优选的，所述搅拌组件包括多个环套，多个所述环套呈矩形阵列设置在所述连接
板上，每个所述环套上均转动连接有搅拌杆，所述搅拌杆上设置有多个搅拌叶，所述拉绳与所述搅拌杆外周壁固定连接。
[0010]优选的，所述搅拌叶一侧面为向下凹陷的弧形，且其另一侧面为向上凹陷的弧形。
[0011]优选的，所述过滤组件包括过滤网、第一弹簧，所述出料口上固定连接有第一挡环，所述第一挡环顶部与所述第一弹簧固定连接，所述第一弹簧顶部与所述过滤网固定连接，所述搅拌杆底部固定开设有凹槽，所述凹槽中固定连接有第二弹簧，所述第二弹簧底部固定连接有连接杆。
[0012]优选的，所述连接杆底端固定连接有刮刀，所述刮刀与所述过滤网抵靠连接。
[0013]优选的，所述进料组件包括进料斗，所述进料斗设置在壳体顶部，所述进料斗底部与所述溶解腔连通，所述进料斗底部固定连接有卡环，所述卡环上转动连接有转套，所述转套外壁固定连接有传动齿，所述转套中间固定开设有通孔，所述转套顶部固定连接有干扰棒，所述溶解腔中固定连接有传动组件，所述传动组件与所述传动齿啮合连接。
[0014]优选的，所述传动组件包括旋转电机、齿轮，所述齿轮设置在壳体顶部，所述旋转电机设置在溶解腔中，所述溶解腔中固定开设有供旋转电机安装的安装槽，所述旋转电机输出端贯穿壳体并与所述齿轮固定连接，所述壳体顶部螺纹连接有保护壳，所述保护壳上固定开设有开口，所述齿轮通过开口与所述传动齿啮合连接。
[0015]优选的，所述干扰棒上固定连接有多个凸块。
[0016]优选的，所述壳体顶部固定连接有支撑座，所述支撑座上固定开设有减料槽。
[0017]优选的，所述支撑座外侧壁上固定连接有连接耳，所述支撑座底部固定连接有橡胶垫。
[0018]本专利技术通过改进在此提供一种用于半导体晶圆制备的高纯度的多晶硅溶解设备，与现有技术相比，具有如下改进及优点：其一：本专利技术中物料通过进料组件送入到溶解腔中，然后启动电动伸缩缸用来带动连接板进行横向的移动往复，连接板可以带动搅拌组件搅拌物料，其中拉绳会拉动搅拌组件进行旋转，以此对物料进行纵向的搅拌，过滤组件将溶解后的物料排出到排料箱中，最后通过排料阀排出，搅拌效率高，提高物料的溶解率。
[0019]其二：本专利技术中连接板在横向往复移动的时候，会带动多个环套同步移动，从而带动搅拌杆进行横向移动，以此对物料进行横向的搅拌，而搅拌杆会被拉绳拉动，使得搅拌杆旋转，以此对物料进行纵向的旋转搅拌，其中搅拌叶一侧面为向下凹陷的弧形，且其另一侧面为向上凹陷的弧形，能够进一步提高搅拌的效率，提升溶解率。
[0020]其三：本专利技术中转筒中的卷簧能够带动拉绳复位，避免拉绳打结的情况发生，使得拉绳能够有序的拉动搅拌杆。
[0021]其四：本专利技术中搅拌杆在进行横向往复移动的时候，刮刀由于第二弹簧的弹力会挤压过滤网，并通过刮刀清洁过滤网，避免过滤网发生堵塞的情况，提高物料融合液的流通速率，并且第一弹簧可以对过滤网受到的挤压力进行缓冲，使得过滤网在受到刮蹭的时候，还能够上下震动，进一步提高过滤效率。
[0022]其五：本专利技术中传动组件用来带动转套进行旋转，转套旋转的时候会带动干扰棒进行旋转，从而干扰棒能够搅拌进料斗中的物料提高物料的流动性，使得物料不会在进料斗中不会发生下料堵塞的情况，提高下料的流畅性。
[0023]其六：本专利技术中旋转电机旋转，带动齿轮进行旋转，从而齿轮带动传动齿旋转，以此带动转套进行旋转，传动效果稳定，并且保护壳可以对齿轮进行保护，避免外界杂物掉落在上面，同时安装槽与溶解腔隔开，对旋转电机进行有效的保护。
[0024]附图说明
[0025]为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0026]图1为本专利技术中的整体结构立体示意图；图2为本专利技术中的整体结构剖视示意图；图3为本专利技术中的搅拌组件立体结构示意图；图4为图2中的B处放大图；图5为图2中的A处放大图；图6为图2中的C处放大图；图7为图2中的D处放大图。
[0027]标记：1、壳体；101、溶解腔；102、出料口；103、安装槽；104、保护壳；105、开口；106、支撑座；107、减料槽；108、连接耳；109、橡胶垫；2、进料组件；201、进料斗；202、卡环；203、转套；204、传动齿；205、通孔；206、干扰棒；207、凸块；3、电动伸缩缸；301、连接板本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于半导体晶圆制备的高纯度的多晶硅溶解设备，包括壳体（1），其特征在于：所述壳体（1）顶部设置有进料组件（2），所述壳体（1）内部设置有溶解腔（101），所述壳体（1）一侧固定连接有电动伸缩缸（3），所述溶解腔（101）中设置有连接板（301），所述电动伸缩缸（3）的端部贯穿所述壳体（1）并与连接板（301）固定连接，所述连接板（301）上固定连接有搅拌组件（4），所述壳体（1）底部固定开设有出料口（102），所述出料口（102）上设置有过滤组件（5），所述过滤组件（5）下方设置有排料箱（6），所述排料箱（6）底部固定连接有排料阀（601），所述溶解腔（101）与所述出料口（102）连通，所述出料口（102）与所述排料箱（6）连通，所述溶解腔（101）内壁固定连接有支撑板（7），所述支撑板（7）中固定连接有转轴（701），所述转轴（701）上转动连接有转筒（702），所述转筒（702）与所述转轴（701）之间设置有卷簧，所述转筒（702）上连接有拉绳（703），所述拉绳（703）远离转筒（702）的一端与所述搅拌组件（4）固定连接。2.根据权利要求1所述的一种用于半导体晶圆制备的高纯度的多晶硅溶解设备，其特征在于：所述搅拌组件（4）包括多个环套（401），多个所述环套（401）呈矩形阵列设置在所述连接板（301）上，每个所述环套（401）上均转动连接有搅拌杆（402），所述搅拌杆（402）上设置有多个搅拌叶（403），所述拉绳（703）与所述搅拌杆（402）外周壁固定连接。3.根据权利要求2所述的一种用于半导体晶圆制备的高纯度的多晶硅溶解设备，其特征在于：所述搅拌叶（403）一侧面为向下凹陷的弧形，且其另一侧面为向上凹陷的弧形。4.根据权利要求2所述的一种用于半导体晶圆制备的高纯度的多晶硅溶解设备，其特征在于：所述过滤组件（5）包括过滤网（501）、第一弹簧（502），所述出料口（102）上固定连接有第一挡环（503），所述第一挡环（503）顶部与所述第一弹簧（502）固定连接，所述第一弹簧（502）顶部与所述过滤网（501）固定连接，所述搅拌杆（402）底部固定开设有凹槽（404），所述凹槽（404）中固定连接有第二弹簧（405），所...
【专利技术属性】
技术研发人员：张子运，吴海亮，胡祥祥，谢曙阳，
申请(专利权)人：江苏纳沛斯半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：
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