一种新型单晶炉排气管道结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种新型单晶炉排气管道结构，包括：弯管，所述弯管上端为竖直部，所述竖直部上端为连接口，所述弯管中部为倾斜设置的倾斜部，所述竖直部与倾斜部之间设有第一弯部，所述竖直部外侧套设有冷却套管，所述冷却套管侧面设有进水管与出水管；延长管，所述延长管一端与弯管下端连通；球阀，所述球阀上端的连接管侧面与延长管连通。本实用新型专利技术的有益效果为：排气管道的排布方式从传统的直角管道改进为弯管的方式，有效减少了管道内氧化物的堆积；冷却套管进入冷水，对单晶炉排出到弯管的气体与氧化物进行快速冷却；三通处连接波纹管，波纹管的柔性使三通具有一定的调节余量，从而使得安装时更加方便，不受加工误差等影响。影响。影响。

【技术实现步骤摘要】
一种新型单晶炉排气管道结构


[0001]本技术属于单晶硅生产设备领域，具体涉及一种新型单晶炉排气管道结构。

技术介绍

[0002]单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。
[0003]排气管道是单晶炉的重要组成部分，其在单晶硅的生产过程中起着行成单晶炉内真空状态以及及时排放生产时产生的氧化物的作用。传统的排气管道一般采用直管机械硬连接的形式，不仅不利于生产过程中的氧化物的及时排放，同时在安装时也容易受到加工误差等因素的影响。
[0004]综上所述，为解决现有的技术问题，本技术设计了一种结构简单、减少管道内氧化物堆积、可以快速对气体和氧化物进行冷却的新型单晶炉排气管道结构。

技术实现思路

[0005]本技术为解决现有的技术问题，设计了一种结构简单、减少管道内氧化物堆积、可以快速对气体和氧化物进行冷却的新型单晶炉排气管道结构。
[0006]本技术的目本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型单晶炉排气管道结构，其特征在于，包括：弯管，所述弯管上端为竖直部，所述竖直部上端为连接口，所述弯管中部为倾斜设置的倾斜部，所述竖直部与倾斜部之间设有第一弯部，所述竖直部外侧套设有冷却套管，所述冷却套管侧面设有进水管与出水管；延长管，所述延长管一端与弯管下端连通；球阀，所述球阀上端的连接管侧面与延长管连通。2.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉排气管道结构，其特征在于，所述弯管下端为朝向侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：周波，
申请(专利权)人：浙江晶阳机电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：