一种驱动机构及半导体设备制造技术

本发明专利技术公开了一种驱动机构及半导体设备，涉及自动化加工技术领域。该驱动机构包括气缸组件、气缸滑块、固定座、调整板及锁止件；气缸滑块设置于气缸组件上，用于在气缸组件的带动下运动；固定座设置于气缸滑块上，调整板可转动的设置于固定座上，调整板用于固定工件；锁止件用于在调整板相对固定座转动至任意角度位置时锁止调整板。本发明专利技术提供的驱动机构能够带动工件运动，并能够调整工件的角度。并能够调整工件的角度。并能够调整工件的角度。

【技术实现步骤摘要】
一种驱动机构及半导体设备


[0001]本专利技术涉及自动化加工
，具体而言，涉及一种驱动机构及半导体设备。

技术介绍

[0002]市面上常采用在无杆气缸的气缸滑块上安装工件的方式实现工件的运动，进而实现自动化生产加工。
[0003]目前，工件通常直接固定在气缸滑块上，完成固定后工件的角度不能根据实际装配情况进行调整，常因为安装误差导致其在气缸滑块的带动下无法精确到达目标位置。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种驱动机构，其能够带动工件运动，并能够调整工件的角度。
[0005]本专利技术的另一目的在于提供一种半导体设备，其能够满足不同角度的自动化加工需求。
[0006]本专利技术提供一种技术方案：一种驱动机构，包括气缸组件、气缸滑块、固定座、调整板及锁止件；所述气缸滑块设置于所述气缸组件上，用于在所述气缸组件的带动下运动；所述固定座设置于所述气缸滑块上，所述调整板可转动的设置于所述固定座上，所述调整板用于固定工件；所述锁止件用于在所述调整板相对所述固定座转动至任意角度位置时锁止所述调整板。
[0007]进一步地，所述驱动机构还包括万向调节件，所述万向调节件分别与所述气缸滑块及所述调整板连接，所述万向调节件用于在外力作用下带动所述调整板相对所述固定座转动至多个角度位置。
[0008]进一步地，所述万向调节件包括安装座、支撑轴及衬套，所述安装座固定于所述气缸滑块上，所述支撑轴的一端安装于所述安装座上，所述衬套可活动的套设于所述支撑轴远离所述气缸滑块的一端，所述衬套的外侧壁与所述调整板螺纹配合。
[0009]进一步地，所述安装座设置有容置腔，所述支撑轴远离所述衬套的一端设置有球头，所述球头可转动的容置于所述容置腔内。
[0010]进一步地，所述调整板上贯穿设置有第一螺纹孔，所述衬套与所述第一螺纹孔螺纹配合，所述衬套远离所述支撑轴的一端的端壁设置有六角凹坑。
[0011]进一步地，所述调整板上贯穿设置有通孔，所述气缸滑块上开设有第二螺纹孔，所述锁止件为螺钉，用于穿过所述通孔与所述第二螺纹孔螺纹配合。
[0012]进一步地，所述固定座上凸设有两个相对的轴承座，两个所述轴承座内同轴设置有两个轴承，所述调整板通过两个转轴与两个所述轴承座连接。
[0013]进一步地，所述调整板上开设有第三螺纹孔，所述第三螺纹孔用于固定所述工件。
[0014]进一步地，所述气缸组件包括底座及无杆气缸，所述无杆气缸的两端与所述底座连接，所述气缸滑块设置于所述无杆气缸上。
[0015]进一步地，所述气缸组件还包括导向杆，所述导向杆的两端与所述底座连接，且所述导向杆与所述无杆气缸平行，所述气缸滑块可滑动的套设于所述导向杆上。
[0016]本专利技术还提供一种半导体设备，包括所述的驱动机构，所述驱动机构包括气缸组件、气缸滑块、固定座、调整板及锁止件；所述气缸滑块设置于所述气缸组件上，用于在所述气缸组件的带动下运动；所述固定座设置于所述气缸滑块上，所述调整板可转动的设置于所述固定座上，所述调整板用于固定工件；所述锁止件用于在所述调整板相对所述固定座转动至任意角度位置时锁止所述调整板。
[0017]相比现有技术，本专利技术提供的驱动机构，其气缸滑块上设置有固定座，固定座上可转动的设置有调整板，调整板用于固定工件，锁止件用于锁止调整板。在实际应用中，将工件固定于调整板上后，通过调节调整板的角度，实现对工件角度的调整，当工件角度调整到位后，通过锁止件将调整板锁止，实现对工件角度的定位。因此，本专利技术提供的驱动机构的有益效果包括：能够带动工件运动，并能够调整工件的角度。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍。应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定。对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0019]图1为本专利技术的实施例提供的驱动机构的结构示意图；图2为图1中固定座及万向调节件与气缸滑块的连接结构示意图；图3为图1中万向调节件的结构示意图；图4为图1中调整板的结构示意图。
[0020]图标：100
‑
驱动机构；110
‑
气缸组件；111
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底座；113
‑
无杆气缸；115
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导向杆；120
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气缸滑块；121
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第二螺纹孔；130
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固定座；131
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轴承座；133
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轴承；135
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转轴；140
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调整板；141
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第一螺纹孔；143
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通孔；145
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第三螺纹孔；150
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锁止件；160
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万向调节件；161
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安装座；163
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支撑轴；165
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衬套；1651
‑
六角凹坑。
具体实施方式
[0021]为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本专利技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0022]因此，以下对在附图中提供的本专利技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本专利技术的范围，而是仅仅表示本专利技术的选定实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0023]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一
个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0024]在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该专利技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0025]此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0026]在本专利技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，“设置”、“连接”等术语应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接连接，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种驱动机构，其特征在于，包括气缸组件、气缸滑块、固定座、调整板及锁止件；所述气缸滑块设置于所述气缸组件上，用于在所述气缸组件的带动下运动；所述固定座设置于所述气缸滑块上，所述调整板可转动的设置于所述固定座上，所述调整板用于固定工件；所述锁止件用于在所述调整板相对所述固定座转动至任意角度位置时锁止所述调整板。2.根据权利要求1所述的驱动机构，其特征在于，所述驱动机构还包括万向调节件，所述万向调节件分别与所述气缸滑块及所述调整板连接，所述万向调节件用于在外力作用下带动所述调整板相对所述固定座转动至多个角度位置。3.根据权利要求2所述的驱动机构，其特征在于，所述万向调节件包括安装座、支撑轴及衬套，所述安装座固定于所述气缸滑块上，所述支撑轴的一端安装于所述安装座上，所述衬套可活动的套设于所述支撑轴远离所述气缸滑块的一端，所述衬套的外侧壁与所述调整板螺纹配合。4.根据权利要求3所述的驱动机构，其特征在于，所述安装座设置有容置腔，所述支撑轴远离所述衬套的一端设置有球头，所述球头可转动的容置于所述容置腔内。5.根据权利要求3所述的驱动机构，其特征在于，所述调整板上贯穿设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱磊，孙文彬，戴建波，
申请(专利权)人：无锡邑文电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：