石墨舟及镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种石墨舟，包括石墨舟片与承接杆，石墨舟片设置有多个，多个石墨舟片间隔设置，每一石墨舟片的侧面均设置有多个卡点，卡点用于定位硅片，承接杆沿石墨舟片的排列方向依次穿过每一石墨舟片，承接杆的高度低于位于最低处的卡点。本实用新型专利技术实施例中的石墨舟与镀膜设备，通过设置位于卡点下方的承接杆，使承接杆承接脱离卡点束缚的硅片，避免硅片向炉管掉落，从而减少石墨舟内硅片的掉落数量，延长了石墨舟的维护周期，降低了后期清理难度。理难度。理难度。

【技术实现步骤摘要】
石墨舟及镀膜设备


[0001]本技术涉及太阳能电池制造领域，尤其涉及一种石墨舟及镀膜设备。

技术介绍

[0002]太阳能电池的制备过程中，采用等离子体增强化学气相沉积法将等离子体在硅片上沉积出薄膜，相关技术中，将硅片插入石墨舟内，石墨舟推入镀膜设备中，采用PECVD工艺对硅片进行镀膜，硅片一般通过卡点定位与石墨舟片上，在高温环境下或者在出舟时，硅片容易脱离卡点的束缚而掉落至反应腔内，导致工艺中断以及硅片报废，影响生产效率，并且需要定期维护清理碎片，后期维护较为困难。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种石墨舟，能够减少硅片的掉落，延长镀膜设备的维护周期。
[0004]本技术还提出一种具有上述石墨舟的镀膜设备。
[0005]根据本技术的第一方面实施例的石墨舟，包括：
[0006]石墨舟片，设置有多个，多个所述石墨舟片间隔设置，每一所述石墨舟片的侧面均设置有多个卡点，所述卡点用于定位硅片；
[0007]承接杆，沿所述石墨舟片的排列方向依次穿过每一所述石墨舟片，所述承接杆的高度低于位于最低处的所述卡点。
[0008]根据本技术实施例的石墨舟，至少具有如下有益效果：
[0009]本技术实施例中的石墨舟，通过设置位于卡点下方的承接杆，使承接杆承接脱离卡点束缚的硅片，避免硅片向炉管掉落，从而减少石墨舟内硅片的掉落数量，延长了石墨舟的维护周期，降低了后期清理难度。
[0010]根据本技术的一些实施例，所述石墨舟片具有多个镀膜孔，多个所述卡点围设于所述镀膜孔的外缘，以使所述硅片的侧面朝向所述镀膜孔。
[0011]根据本技术的一些实施例，所述镀膜孔呈矩形，所述镀膜孔朝向所述石墨舟片的一侧倾斜，所述镀膜孔的上侧内壁与所述石墨舟片的上侧表面之间的夹角为3
‑
6度。
[0012]根据本技术的一些实施例，多个所述卡点位于所述镀膜孔的两侧与下方，且位于所述镀膜孔的下方以及位于所述镀膜孔倾斜侧的所述卡点设置有两个，位于同一侧的两个所述卡点的连线与相应侧的所述镀膜孔的孔壁平行。
[0013]根据本技术的一些实施例，还包括多个锁紧件，所述承接杆的两端分别延伸至最外侧的所述石墨舟片的外部，所述锁紧件锁紧于所述承接杆的端部。
[0014]根据本技术的一些实施例，所述承接杆的截面为圆形。
[0015]根据本技术的一些实施例，每一所述镀膜孔的下方至少设置有两个所述承接杆。
[0016]根据本技术的一些实施例，所述承接杆设置有多个，多个所述承接杆沿水平
方向间隔设置。
[0017]根据本技术的一些实施例，还包括连接杆，所述石墨舟片的端部具有连接孔，所述连接杆依次穿设于每一所述石墨舟片的所述连接孔。
[0018]根据本技术的第二方面实施例的镀膜设备，包括第一方面实施例的石墨舟。
[0019]根据本技术实施例的镀膜设备，至少具有如下有益效果：
[0020]本技术实施例中的镀膜设备通过采用上述的石墨舟，能够减少硅片的掉落数量，并延长石墨舟的后期维护周期。
[0021]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0022]下面结合附图和实施例对本技术做进一步的说明，其中：
[0023]图1为本技术石墨舟一个实施例的侧视图；
[0024]图2为本技术石墨舟一个实施例的俯视图。
[0025]附图标记：石墨舟片100，镀膜孔110；卡点200；承接杆300；锁紧件400；连接杆500；支撑体600。
具体实施方式
[0026]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0027]在本技术的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0028]在本技术的描述中，若干的含义是一个以上，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
[0029]本技术的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属
技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本技术中的具体含义。
[0030]本技术的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本技术的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
[0031]参照图1与图2，本技术的实施例中提供了一种石墨舟，用于放置硅片，供硅片
进入镀膜设备内进行镀膜。石墨舟包括多个石墨舟片100，多个石墨舟片100间隔设置，相邻的石墨舟片100之间形成间隙，便于放置硅片，以及供镀膜气体进入相邻的石墨舟片100之间，进而沉积于硅片表面；每一个石墨舟片100的侧面均设置有多个卡点200，多个卡点200组合对硅片进行定位，使硅片放置于石墨舟片100上，并能够跟随石墨舟片100进出镀膜设备。由于卡点200对硅片的限位不牢，卡点200容易掉落，因此本技术中，设置有承接杆300来承接从卡点200上掉落的硅片，以避免硅片掉入反应腔内，增加清理难度；具体的，承接杆300的高度低于所有卡点200中最低处的卡点200，从而，脱离卡点200的硅片能够向下掉落至承接杆300上，并且承接杆300沿石墨舟片100的排列方向依次穿过每一个石墨舟片100，因此相邻石墨舟片100之间的硅片均能够受到承接杆300的承接作用，而不再继续向下掉落，使承接杆300兼顾沿石墨舟片100排列方向的每一个硅片，从而减少硅片的掉落。
[0032]因此，本技术实施例中的石墨舟，通过设置位于卡点200下方的承接杆300，使承接杆300承接脱离卡点200束缚的硅片，避免硅片向炉管掉落，从而减少石墨舟内硅片的掉落数量，延长了石墨舟的维护周期，降低了后期清理难度。
[0033]需要说明本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.石墨舟，其特征在于，包括：石墨舟片，设置有多个，多个所述石墨舟片间隔设置，每一所述石墨舟片的侧面均设置有多个卡点，所述卡点用于定位硅片；承接杆，沿所述石墨舟片的排列方向依次穿过每一所述石墨舟片，所述承接杆的高度低于位于最低处的所述卡点。2.根据权利要求1所述的石墨舟，其特征在于，所述石墨舟片具有多个镀膜孔，每一所述镀膜孔的边缘均围设有多个所述卡点，以使所述硅片的侧面朝向所述镀膜孔。3.根据权利要求2所述的石墨舟，其特征在于，所述镀膜孔呈矩形，所述镀膜孔朝向所述石墨舟片的一侧倾斜，所述镀膜孔的上侧内壁与所述石墨舟片的上侧表面之间的夹角为3
‑
6度。4.根据权利要求3所述的石墨舟，其特征在于，每一所述镀膜孔的两侧与下方均围设有所述卡点，且位于所述镀膜孔的下方以及位于所述镀膜孔倾斜侧的所...

【专利技术属性】
技术研发人员：余仲，王晨光，杨宝利，莫建强，蒋能明，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：