一种单晶硅异质结太阳电池HWCVD设备载板制造技术

本实用新型专利技术公开了一种单晶硅异质结太阳电池HWCVD设备载板，包括田字型框架以及四个载板本体，四个所述载板本体呈矩阵阵列分布在田字型框架的内部，四个所述载板本体的顶部中心处均可拆卸设置有卡接盒，所述田字型框架内侧顶部以及中部均固定设有圆杆。本实用新型专利技术通过四个载板本体内部放入硅片后，将四个载板本体与田字型框架组装，两个弧形卡块对圆杆做限位处理，完成载板本体与田字型框架的组装，需要拆卸载板本体时，仅需按压按钮，即可取下，该载板由三层减少至二层，降低了自动化的复杂程度，且载板变小后，在冷热过程中的变形量小，延长载板寿命、降低故障率，而且可以对某个小载板进行单独更换，降低运营成本和提高生产效率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅异质结太阳电池HWCVD设备载板


[0001]本技术涉及太阳电池加工
，更具体地说，本技术涉及一种单晶硅异质结太阳电池HWCVD设备载板。

技术介绍

[0002]单晶硅异质结太阳电池转换效率高，被光伏行业公认为下一代大规模产业化关键技术之一，单晶硅异质结太阳电池关键镀膜设备有HWCVD和PECVD，其中HWCVD因其较低的制造成本和更高产能而更具竞争力，由于HWCVD设备自身特点，硅片平放载板后需将载板立起来，因此目前HWCVD设备载板主要设计成三层结构，其中硅片被两层镂空载具夹住，然后再悬挂于大载板上。
[0003]现有技术存在以下不足：随着设备设计产能增加后，大载板面积增大，长时间使用会变形，导致故障率增加，产品良率下降。

技术实现思路

[0004]为了克服现有技术的上述缺陷，本技术的实施例提供一种单晶硅异质结太阳电池HWCVD设备载板，通过四个载板本体内部放入硅片后，将四个载板本体与田字型框架组装，两个弧形卡块对圆杆做限位处理，完成载板本体与田字型框架1的组装，需要拆卸载板本体时，仅需按压按钮，即可取下本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅异质结太阳电池HWCVD设备载板，其特征在于：包括田字型框架(1)以及多个载板本体(2)，所述载板本体(2)呈矩阵阵列分布在田字型框架(1)的内部，所述载板本体(2)与田字型框架(1)间连接有方便载板本体(2)拆卸的卡接组件。2.根据权利要求1所述的一种单晶硅异质结太阳电池HWCVD设备载板，其特征在于：所述载板本体(2)的顶部中心处可拆卸设置有卡接组件，所述田字型框架(1)内侧顶部以及中部均固定设有圆杆(4)，且所述圆杆(4)与卡接组件可拆卸连接。3.根据权利要求2所述的一种单晶硅异质结太阳电池HWCVD设备载板，其特征在于：所述卡接组件包括卡接盒(3)，所述卡接盒(3)的内侧背部中心处滑动设置有两个弧形卡块(5)，且两个弧形卡块(5)与圆杆(4)相适配，所述卡接盒(3)的前侧中心处滑动设置有按钮(10)，所述按钮(10)的背部两侧均设有连杆(8)，且两个所述弧形卡块(5)均与按钮(10)通过连杆(8)活动连接。4.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘翠翠，
申请(专利权)人：江西汉可泛半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：