托盘与HWCVD设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种托盘与HWCVD设备，托盘包括底板、锁止销与锁止板，板具有用于容置所述基片的第一凹槽；锁止销连接于底板具有第一凹槽的一侧，包括第一锁止部与第二锁止部，第一锁止部的直径小于第二锁止部的直径，且沿远离底板的方向，第一锁止部与第二锁止部依次设置；锁止板具有锁止孔，锁止孔包括第一孔段与第二孔段，第一孔段的孔径大于第一锁止部的直径，小于第二锁止部的直径，第二孔段的孔径大于第二锁止部的直径；锁止板能够相对底板移动将基片限定在第一凹槽内。上述结构无需依靠磁铁进行固定，从而能够通过机械装置实现自动化装片，且可以避免永磁铁在高温下工作磁力会不断衰减的问题，稳定性、可靠性高。可靠性高。可靠性高。

【技术实现步骤摘要】
托盘与HWCVD设备


[0001]本技术涉及太阳能电池板制造
，尤其是涉及托盘与HWCVD设备。

技术介绍

[0002]在SHJ太阳能电池的本征非晶硅薄膜及掺杂非晶硅薄膜制作工艺中，已知的做法通常有两种，等离子体增强化学气相沉积法(Plasma enhanced chemical vapor deposition，PECVD)和热丝化学气相沉积法(Hot wire chemical vapor deposition，HWCVD)。
[0003]HWCVD设备的原理是利用热丝的高温和催化作用，使得反应气体在热丝表面发生裂解，生成物沉积于基片表面得到所需的固态薄膜。反应过程中热丝温度高达1700～1800℃，热丝在高温下会发生软化，无法实现长跨度、水平安装，只能竖直安装，因此相关技术中大面积镀膜HWCVD采取的是垂直镀膜方式，然而这种镀膜方式需要面临基片固定的问题，目前垂直托盘采用永磁铁吸附盖板的方式固定基片，然而永磁铁的磁力很难保证一致，盖上、打开盖板力度很难把握，导致难以实施装片自动化，且永磁铁在高温下工作磁性会不断衰减，吸附可靠性很难保证，稳定性、可靠性差。

技术实现思路

[0004]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种托盘，能够实现基片的稳定安装。
[0005]本技术还提出了一种应用上述托盘的HWCVD设备。
[0006]根据本技术第一实施例的托盘，用于承载基片，包括：
[0007]底板，具有用于容置所述基片的第一凹槽；
[0008]锁止销，连接于所述底板具有所述第一凹槽的一侧，包括第一锁止部与第二锁止部，所述第一锁止部的直径小于所述第二锁止部的直径，且沿远离所述底板的方向，所述第一锁止部与所述第二锁止部依次设置；
[0009]锁止板，具有锁止孔，所述锁止孔包括第一孔段与第二孔段，所述第一孔段的孔径大于所述第一锁止部的直径，小于所述第二锁止部的直径，所述第二孔段的孔径大于所述第二锁止部的直径；
[0010]其中，所述锁止板能够相对所述底板移动，以使穿设在所述第二孔段的所述第一锁止部移动至所述第一孔段，从而将所述基片限定在所述第一凹槽内。
[0011]根据本技术实施例的托盘，至少具有如下有益效果：
[0012]上述结构无需依靠磁铁进行固定，从而能够通过机械装置实现自动化装片，且可以避免永磁铁在高温下工作磁力会不断衰减的问题，稳定性、可靠性高。
[0013]根据本技术的一些实施例，还包括盖板，所述盖板位于所述底板与所述锁止板之间，具有对应所述锁止销设置的通孔。
[0014]根据本技术的一些实施例，所述锁止销还包括定位部，且沿远离所述底板的
方向，所述定位部、所述第一锁止部与所述第二锁止部依次设置，所述定位部的直径与所述通孔的孔径相等。
[0015]根据本技术的一些实施例，所述托盘包括多个所述锁止销，所述锁止板具有分别对应各所述锁止销的多个所述锁止孔。
[0016]根据本技术的一些实施例，所述锁止板具有多个均匀分布的通槽，所述锁止孔位于相邻所述通槽之间。
[0017]根据本技术的一些实施例，当所述托盘处于竖直状态时，所述锁止孔的所述第一孔段位于所述第二孔段的上方，所述锁止板能够向下移动，以使穿设在所述第二孔段的所述第一锁止部移动至所述第一孔段。
[0018]根据本技术的一些实施例，所述第一凹槽的深度大于所述基片的厚度。
[0019]根据本技术的一些实施例，所述底板还包括第二凹槽，所述第二凹槽位于所述第一凹槽的底部。
[0020]根据本技术的一些实施例，所述第一锁止部与所述第二锁止部之间具有导向部，沿远离所述底板的方向，所述导向部的直径逐渐增大。
[0021]根据本技术第二实施例的HWCVD设备，包括所述的托盘。
[0022]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0023]下面结合附图和实施例对本技术做进一步的说明，其中：
[0024]图1为本技术实施例的托盘的正视图；
[0025]图2为图1中A
‑
A方向剖视图的局部示意图；
[0026]图3为图1中B
‑
B方向剖视图的局部示意图；
[0027]图4为图1中显示锁止孔的局部示意图。
具体实施方式
[0028]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0029]在本技术的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0030]在本技术的描述中，若干的含义是一个以上，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
[0031]本技术的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理
解，所属
技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本技术中的具体含义。
[0032]本技术的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本技术的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
[0033]参照图1与图2，本技术实施例公开的托盘包括底板100、锁止销200与锁止板300，底板100用于承载基片500，锁止销200连接于底板100之上，能够配合锁止板300对基片500进行限位，由于锁止板300与锁止销200之间为机械连接，一致性较好，能够实现装片的自动化，且不受高温影响，稳定性、可靠性好。
[0034]以图中所示为例，底板100可以是适应常见基片形状的矩形板，其一侧具有第一凹槽110，第一凹槽110用于容置基片500，可以是适应于常见基片形状的矩形槽。
[0035]参照图3，锁止销200连接在底板100具有第一凹槽110的一侧，连接方式可以是焊接、卡接或者通本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.托盘，用于承载基片，其特征在于，包括：底板，具有用于容置所述基片的第一凹槽；锁止销，连接于所述底板具有所述第一凹槽的一侧，包括第一锁止部与第二锁止部，所述第一锁止部的直径小于所述第二锁止部的直径，且沿远离所述底板的方向，所述第一锁止部与所述第二锁止部依次设置；锁止板，具有锁止孔，所述锁止孔包括第一孔段与第二孔段，所述第一孔段的孔径大于所述第一锁止部的直径，小于所述第二锁止部的直径，所述第二孔段的孔径大于所述第二锁止部的直径；其中，所述锁止板能够相对所述底板移动，以使穿设在所述第二孔段的所述第一锁止部移动至所述第一孔段，从而将所述基片限定在所述第一凹槽内。2.根据权利要求1所述的托盘，其特征在于，还包括盖板，所述盖板位于所述底板与所述锁止板之间，具有对应所述锁止销设置的通孔。3.根据权利要求2所述的托盘，其特征在于，所述锁止销还包括定位部，且沿远离所述底板的方向，所述定位部、所述第一锁止部与所述第二锁止部依次设置，所述定位部的直径与所...

【专利技术属性】
技术研发人员：李学文，张勇，李军阳，刘兵吉，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：