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本实用新型公开了一种托盘与HWCVD设备，托盘包括底板、锁止销与锁止板，板具有用于容置所述基片的第一凹槽；锁止销连接于底板具有第一凹槽的一侧，包括第一锁止部与第二锁止部，第一锁止部的直径小于第二锁止部的直径，且沿远离底板的方向，第一锁止部与...
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