一种合金烘烤装置的排风管路制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种合金烘烤装置的排风管路，用以连接主排风管及所述合金烘烤装置；所述排风管路的横截面中心点所成之线由首尾相连的至少一线段、或至少一弧线、或线段与弧线组成；所述相邻的两条线段、或相邻的两条弧线、或相邻的线段和弧线的接触部分所成的角呈钝角。本实用新型专利技术由于制作材料选择软质管路，气流在碰撞管路内壁后反弹的弹力较硬质管路时有较大幅度减少；同时，在气流转弯时采用弧形管路，避免了高压气流直接９０度转弯，因而可以避免报警的发生，使烘烤工作继续进行。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于芯片制造设备领域，涉及一种排风管路，尤其涉及一种 合金煤烤装置的排风管路。
技术介绍
现有的合金烘烤装置的排风管路的结构如图i所示，排风管路r大致呈Z字形，用于连接主排风管2'及合金烘烤装置3，。合金烘烤装置3'基于其 在低大气压工作而制造，当合金烘烤装置3，在常压下工作，并每分钟经过的 气流超过15升时，合金烘烤装置3，的报警系统容易出现报警。报警原因如下由于排风管路r有两个拐角ir、 12，，且拐角ir、 12，均为W度，排风管路1，中的气流在做90度地转向时会产生很大的沖力；与此同时，排风管路r为硬质的材料做成，高压气流碰到排风管路r的内壁后 反弹力较大。基于以上原因，排风管路r中的气流压力增大，严重影响其排 风能力，从而导致合金烘烤装置3，内部压力增高，触发压力持续报警。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种可以避免合金烘烤装置不当报警的排风管路。为了实现上述目的，本技术提供一种合金烘烤装置的排风管路，用以连接主排风管及所述合金烘烤装置；所述排风管路的横截面中心点所成之 线由首尾相连的至少一线段、或至少一弧线、或线段与弧线组成；所述线段 或弧线中，相邻的两条线段、或相邻的两条弧线、或相邻的线段和弧线的接 触部分所成的角呈钝角。作为本技术的 一种优选方案，所述排风管路的材料为软质材料。作为本技术的一种优选方案，所述排风管路的横截面中心点所成之 线为一弧线，所述排风管路大概呈弧线形。作为本技术的一种优选方案，所述排风管路的橫截面中心点所成之 线由若干弧线首尾连接组成，相邻的两条弧线的接触部分所成的角呈钝角。作为本技术的一种优选方案，所述排风管路由两弧形管路组成，呈 S型或C型。作为本技术的一种优选方案，所述排风管路为一直管，由该直管直 接连接所述主排风管及所述合金烘烤装置。作为本技术的一种优选方案，所述排风管路的横截面中心点所成之 线由若干条线段首尾连接组成，两相邻线段所成的角呈钝角。作为本技术的一种优选方案，所述排风管路由3条直管组成，其中 两条直管分别连接所述主排风管及合金烘烤装置，第三条直管的首尾分别连 接上迷两条直管，与上述两直管的夹角为135度。作为本技术的一种优选方案，所述排风管路的横截面中心点所成之 线由至少一条线段与至少 一弧线首尾连接组成，相邻的线段和弧线的接触部 分所成的角呈钝角。作为本技术的一种优选方案，所述排风管路包括两条圓弧型管及一 直管，所述两条圓弧型管分别连接所述主排风管及合金烘烤装置，所述直管的首尾分别连接上述两条圓弧型管。与现有技术相比，本技术揭示的合金烘烤装置的排风管路，由于其 制作材料选择软质管路，气流在碰撞管路内壁后反弹的弹力较硬质管路时有较大幅度减少；同时，排风管路采用弧形管路，避免了高压气流直接90度 转弯，因而可以避免报警的发生，使烘烤工作继续进行。附图说明图l是现有的合金烘烤装置的排风管路的结构示意图； 图2是实施例一中合金烘烤装置的排风管路的结构示意图； 图3及图4是实施例二中合金烘烤装置的排风管路的结构示意图； 图5是实施例三中合金烘烤装置的排风管路的结构示意图； 图6是实施例四中合金烘烤装置的排风管路的结构示意图； 图7是实施例五中合金烘烤装置的排风管路的结构示意图；。具体实施方式以下结合附图及实施例对本技术进行详细说明。实施例一请参与图2，本技术揭示了一种合金烘烤装置的排风管路，用以连 接主排风管3及所述合金烘烤装置2。所述排风管路1的横截面中心点所成 之线由首尾相连的至少一线段、或至少一弧线、或线段与弧线组成；所述线段或弧线中，相邻的两条线段、或相邻的两条弧线、或相邻的线段和弧线的 接触部分所成的角呈钝角。本实施例中，所述排风管路1的横截面中心点所成之线4为一弧线，所 述排风管路1大概呈弧线形。排风管路1的材料为软质材料。其中，合金烘烤装置2可以为TEL公司制造的合金烘烤装置。 由于排风管路1的制作材料选择软质管路，气流在碰撞管路内壁后反弹 的弹力较硬质管路时有较大幅度减少；同时，在气流转弯时采用弧形管路， 避免了高压气流直接90度转弯，可以避免报警的发生，使合金/烘烤工作继 续进行。实施例二如图3所示，本实施例与实施例一的区别在于，本实施例中，排风管路 1的横截面中心点所成之线4由若干弧线首尾连接組成，相邻的两条弧线的 接触部分所成的角呈钝角。本实施例中，排风管路i的横截面中心点所成之 线4由两条首尾连接的弧线组成；而排风管路1由两弧形管路121、 122组 成，呈S型。排风管路l的材料同样为软质材料。图4揭示了本实施例的另一种实施方式的结构图，如图所示，排风管路 12大致呈C型。实施例三如图5所示，本实施例与实施例一的区别在于，本实施例中，排风管路 1为一直管，由该直管直接连接所述主排风管3及所述合金烘烤装置2;而 由于主排风管3及合金烘烤装置2有一定的高度差别，使得排风管路1与所述主排风管3、及所述合金烘烤装置2成钝角。排风管路l的材料同样为软 质材料。采用这种方式同样避免了排风管路直接90度转弯，从而避免报警 的发生。实施例四如图6所示，本实施例与实施例一的区别在于，本实施例中，排风管路 1的横截面中心点所成之线由若干条线段首尾连接组成，两相邻线段所成的 角呈钝角。作为实施例的一种优选方案，所述排风管路1由三条直管141、 142、 143组成，其中两条直管141、 142分别连接所述主排风管3及合金烘烤装 置2，笫三条直管143的首尾分别连接上述两条直管141、 142，与上述两直 管141、 142的夹角均为135度。实施例五如图7所示，本实施例与实施例一的区别在于，本实施例中，所述排风 管路1的横截面中心点所成之线由至少一条线段与至少一弧线首尾连接组 成，相邻的线^L和弧线的接触部分所成的角呈钝角。作为本实施例的一种优选方案，所述排风管路l包括两条圓弧型管151、 152及一直管153，所述两条圆弧型管151、 152分别连接所述主排风管3及 合金烘烤装置2，所述直管153的首尾分别连接上述两条圆弧型管151、 152。以上实施例仅用以说明而非限制本技术的技术方案。如，排风管路 可以不采用软质材料制成。另外，排风管路的结构也不限于上述具体实施方本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种合金烘烤装置的排风管路，用以连接主排风管及所述合金烘烤装置；其特征在于：　　　　所述排风管路的横截面中心点所成之线由首尾相连的至少一线段、或至少一弧线、或线段与弧线组成；　　　　所述线段或弧线中，相邻的两条线段、或相邻的两条弧线、或相邻的线段和弧线的接触部分所成的角呈钝角。

【技术特征摘要】
1. 一种合金烘烤装置的排风管路，用以连接主排风管及所述合金烘烤装置；其特征在于所述排风管路的横截面中心点所成之线由首尾相连的至少一线段、或至少一弧线、或线段与弧线组成；所述线段或弧线中，相邻的两条线段、或相邻的两条弧线、或相邻的线段和弧线的接触部分所成的角呈钝角。2、 如权利要求1所述合金烘烤装置的排风管路，其特征在于，所述排风 管路的材料为软质材料。3、 如权利要求1或2所述合金烘烤装置的排风管路，其特征在于，所述 排风管路的横截面中心点所成之线为一弧线，所述排风管路大概呈弧 线形。4、 如权利要求1或2所述合金烘烤装置的排风管路，其特征在于，所述 排风管路的横截面中心点所成之线由若干弧线首尾连接组成，相邻的 两条弧线的接触部分所成的角呈钝角。5、 如权利要求4所述合金烘烤装置的排风管路，其特征在于，所述排风 管路由两弧形管路组成，呈S型或C型。6、 如权利要求1或2所述合金烘烤装置的排风管路，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：武颖，赵亮，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]