氧化物薄膜衬底加热装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种氧化物薄膜衬底加热装置，包括带有发热面的发热体、衬底定位组件、防热辐射罩，其中，衬底定位组件设置在发热体的发热面的上方，发热体和衬底定位组件设置在防热辐射罩内，衬底定位组件上方的防热辐射罩上带有与衬底定位组件所限定的面积大小及形状相对应的开口，衬底定位组件和防热辐射罩都固定在底座上，底座上设置有沿发热面的轴线旋转的转动装置；本实用新型专利技术氧化物薄膜衬底加热装置，结构简单，成本低，不仅提高了加热装置的热效率，减少加热装置的挥发和氧化对薄膜的污染，还提高了双面膜两面品质的一致性，最大限度地减少了热辐射，降低了发热组件的电流，延长了发热组件的寿命。（*该技术在2015年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种加热装置，特别涉及一种氧化物薄膜衬底加热装置。
技术介绍
近几年来，氧化物薄膜及其器件研究取得了突飞猛进的发展，如高温超导薄膜及其器件、巨磁阻薄膜及其器件和铁电薄膜及其器件，许多器件和子系统已走出实验室进入实际应用领域，已有数千台移动通信用高温超导微波滤波器接收机前端在商业通信网络中运转。我国研制的移动通信用高温超导微波滤波器接收机前端已经开始在CDMA移动通信网络基站上进行现场试验。高温超导薄膜是制备高温超导微波器件的前提条件之一。由于移动通信用高温超导微波滤波器工作在微波频段的低端(0.8-3GHz)，器件尺寸较大，特别是在制备带边陡峭度很高的滤波器时，要用直径为2英寸以上的高质量双面高温超导薄膜。衬底加热系统是制备氧化物薄膜的关键环节之一。在多种氧化物薄膜(如高温超导薄膜、巨磁阻薄膜和铁电薄膜)的制备过程中，衬底需要加热到750-800℃，在薄膜生长过程中，还需要有压强足够高的氧气。高温和氧气会使加热系统的部件氧化和释放杂质，这会严重影响薄膜质量和降低加热系统部件的寿命。因此，高氧压强和高温就给衬底加热系统的设计和材质的选择提出了难题。为了避免氧化问题，K.H.本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种氧化物薄膜衬底加热装置，其特征在于，包括带有发热面的发热体、衬底定位组件、防热辐射罩，其中，衬底定位组件设置在发热体的发热面的上方，发热体和衬底定位组件设置在防热辐射罩内，衬底定位组件上方的防热辐射罩上带有与衬底定位组件所限定的面积大小及形状相对应的开口，衬底定位组件和防热辐射罩都固定在底座上，底座上设置有沿发热面的轴线旋转的转动装置。

【技术特征摘要】
1.一种氧化物薄膜衬底加热装置，其特征在于，包括带有发热面的发热体、衬底定位组件、防热辐射罩，其中，衬底定位组件设置在发热体的发热面的上方，发热体和衬底定位组件设置在防热辐射罩内，衬底定位组件上方的防热辐射罩上带有与衬底定位组件所限定的面积大小及形状相对应的开口，衬底定位组件和防热辐射罩都固定在底座上，底座上设置有沿发热面的轴线旋转的转动装置。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述转动装置包括底座支撑架和与其相连的马达，所述发热面、衬底定位组件所限定的衬底的截面和所述开口的截面均为圆形并且轴线重合...

【专利技术属性】
技术研发人员：王瑞兰，郑东宁，李宏成，田海燕，
申请(专利权)人：中国科学院物理研究所，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]