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本实用新型公开了一种氧化物薄膜衬底加热装置，包括带有发热面的发热体、衬底定位组件、防热辐射罩，其中，衬底定位组件设置在发热体的发热面的上方，发热体和衬底定位组件设置在防热辐射罩内，衬底定位组件上方的防热辐射罩上带有与衬底定位组件所限定的面积...
该专利属于中国科学院物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院物理研究所授权不得商用。

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