【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种定位装置,特别是一种对半导体专用设备用的晶片定位装置。(二)
技术介绍
半导体专用设备在对晶片进行加工的过程中,由于晶片加工工艺的要求,使得对晶片进 行准确快速的中心定位显得非常重要。常见的定位装置包括光电传感器定位装置,图像识别 定位装置,V型挡边停靠装置等。上述几种装置在实际应用中分别存在一定的不足,如结构 较复杂、成本较高、定位精度较低、寿命较短等。(三)
技术实现思路
本技术的目的是提供一种晶片中心定位装置,要解决传统定位装置成本高、且过于 复杂的技术问题;并解决传统定位装置定位精度较低、寿命较短的问题。 为实现上述目的,本技术采用如下技术方案这种晶片中心定位装置,包括定位手、气动臂、驱动机构和底座,其特征在于定位手1有三至四个均匀分布在托盘8上的指片1. 1,每一指片上均有至少一个吸附孔 1. 3和一个螺钉孔1. 5,在螺钉孔l. 5内穿入螺钉1. 4,螺钉l. 4与指片下面的连动块4上端连接;气动臂6的下端连接于底座10中心,并与气动驱动机构连接,气动臂6的上端与三至四个 连动块4的下端连接,每个连动块4的上端向上穿过托盘的滑孔8. l与对应的指片l. l固定连接;支架9固定连接在托盘8与底座10之间,支架9与气动臂6之间连接拉簧3,拉簧3内端连接 于拉簧座5,拉簧座5与气动臂6侧面固定连接,拉簧3外端与调节螺杆2连接,调节螺杆2的外 端伸至支架9的外侧。优选的技术方案上述指片l. l与托盘8之间通过导轨7连接。上述指片1. 1的上表面自外向内有一道至四道同心的弧形阶梯l. 2 。上述指片l. l的形状可为扇形或矩形。上述指片l. ...
【技术保护点】
一种晶片中心定位装置,包括定位手、气动臂、驱动机构和底座,其特征在于: 定位手(1)有三至四个均匀分布在托盘(8)上的指片(1.1),每一指片上均有至少一个吸附孔(1.3)和一个螺钉孔(1.5),在螺钉孔(1.5)内穿入螺钉(1.4),螺钉(1.4)与指片下面的连动块(4)上端连接; 气动臂(6)的下端连接于底座(10)中心,并与气动驱动机构连接,气动臂(6)的上端与三至四个连动块(4)的下端连接,每个连动块(4)的上端向上穿过托盘的滑孔(8.1)与对应的指片1.1固定连接; 支架(9)固定连接在托盘(8)与底座(10)之间,支架(9)与气动臂(6)之间连接拉簧(3),拉簧(3)内端连接于拉簧座(5),拉簧座(5)与气动臂(6)侧面固定连接,拉簧(3)外端与调节螺杆(2)连接,调节螺杆(2)的外端伸至支架(9)的外侧。
【技术特征摘要】
1. 一种晶片中心定位装置,包括定位手、气动臂、驱动机构和底座,其特征在于定位手(1)有三至四个均匀分布在托盘(8)上的指片(1.1),每一指片上均有至少一个吸附孔(1.3)和一个螺钉孔(1.5),在螺钉孔(1.5)内穿入螺钉(1.4),螺钉(1.4)与指片下面的连动块(4)上端连接;气动臂(6)的下端连接于底座(10)中心,并与气动驱动机构连接,气动臂(6)...
【专利技术属性】
技术研发人员:张志军,柳滨,
申请(专利权)人:中国电子科技集团公司第四十五研究所,
类型:实用新型
国别省市:13[中国|河北]
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