【技术实现步骤摘要】
本技术有关一种移载物品的装置,特别是一种可调整为批次运送二板状 物或三板状物的移载装置。
技术介绍
半导体基板或液晶基板等制造是由多个的处理工序或检査工序所组成,在各 工序中为了工艺的便利, 一般会将多片基板收藏于卡匣中,以便将卡匣依次运送至 处理装置或检査装置,并借助基板运送机器人的承载臂自卡匣内逐片取出基板进行 所需的工序处理或检查处理。随着基板尺寸的改变,基板在卡匣内的配置可为两列或三列配置,因此基板 运送机器人需对应基板配置而具有二个承载臂或三个承载臂以可分别批次取出两 片基板或三片基板;然而在已知的基板运送机器人中,由于承载臂是固定于基板运 送机器人上而不可任意更换,因此需配备有多台各自具有二个承载臂及三个承载臂 的基板运送机器人,以随时依据不同的卡匣做更换,因此在工序上具有更换繁琐且 成本高的缺失。因此若能提出一种在同一架基板运送机器人中,可随时调整承载臂的设计以 运送二板状物或三板状物的移载装置,即为本技术极需努力的目标。
技术实现思路
为了解决上述问题,本技术目的是提出一种移载装置,可通过自由调整 承载臂的位置以实现对二板状物或三板状物的批次运送。为了达 ...
【技术保护点】
一种移载装置,用以移载至少一板状物,其特征在于该移载装置包含: 一本体,其内部设置一传动机构; 二个第一承载臂,它们平行且间隔设置于该本体前端二侧,该二个第一承载臂与该传动机构连接;以及 二个第二承载臂,它们平行设置于该本体前端,且位于该二个第一承载臂之间,该第二承载臂与该传动机构连接,以受该传动机构驱动进行一第一动作及一第二动作其中之一,其中该第一动作是使该二个第二承载臂彼此位移靠近且并排结合,该第二动作是使该二个第二承载臂分别往二侧位移,以各自与一个该第一承载臂靠近且并排结合。
【技术特征摘要】
1.一种移载装置,用以移载至少一板状物,其特征在于该移载装置包含一本体,其内部设置一传动机构;二个第一承载臂,它们平行且间隔设置于该本体前端二侧,该二个第一承载臂与该传动机构连接;以及二个第二承载臂,它们平行设置于该本体前端,且位于该二个第一承载臂之间,该第二承载臂与该传动机构连接,以受该传动机构驱动进行一第一动作及一第二动作其中之一,其中该第一动作是使该二个第二承载臂彼此位移靠近且并排结合,该第二动作是使该二个第二承载臂分别往二侧位移,以各自与一个该第一承载臂靠近且并排结合。2. 根据权利要求1所述的移载装置,其特征在于二个该第二承载臂并排结合 的位置是位于二个该第一承载臂的间隔的中央位置。3. 根据权利要求1所述的移载装置,其特征在于,该第一承载臂及该第二承载臂是细长...
【专利技术属性】
技术研发人员:梁敬文,
申请(专利权)人:盟立自动化股份有限公司,
类型:实用新型
国别省市:71[中国|台湾]
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