【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体制造工厂内的晶圆传输盒(Pod),具体地说,涉及 一种晶圆传输盒上用于固定电子标签的辅助固定元件。
技术介绍
目前,半导体制造工厂内,晶圆传输盒是主要的晶圓存放传输装置, 一般 可垂直存放25片晶圓。晶圆传输盒面向工作人员的一側安装有电子标签(tag) 和以及存放纸标签的塑料的标签袋。电子标签用于记录晶圆传输盒内各种信息, 包括晶圆尺寸、用途、批号以及需要执行的工序等等。 一些无法输入电子标签 中的信息,则采用手写的方式记录在标签袋中的纸标签上,以方便工作人员在 制造过程中查询信息。晶圆传输盒在靠近底端的位置设有夹持部,其中间设有一个自上向下延伸 的狭槽。电子标签安装有一个固定件,固定件的底端是一个可插入狭槽的插入 板,插入板两側设有螺紋孔。安装时,电子标签的插入板插入固定件的狭槽内, 然后采用螺丝旋入所述螺紋孔内进一步固定。使用过程中,因为如更换电池、 修理维护等各种原因常常需要拆卸电子标签。夹持部具有一定的使用寿命,多 次拆卸很容易损坏夹持部。 一旦夹持部不能使用,整个传输盒就报废不能使用 了。晶圆传输盒的成本《艮高,在晶圓传输盒报废原因分析时发现,将近25%的 晶圆传输盒报废是因为电子标签的固定件损坏造成的。
技术实现思路
有鉴于此,本技术解决的技术问题是提供一种晶圆传输盒上电子标签 的辅助固定元件,其可与传输盒的夹持部共同或者代替夹持部固定电子标签。为解决上述技术问题,本技术提供了一种晶圆传输盒上电子标签的辅 助固定元件。所述晶圆传输盒具有顶面、安装电子标签的前端面以及i殳有前端面底部的固定电子标签的夹持部。所述辅助固定元件包括沿晶圆传输 ...
【技术保护点】
一种晶圆传输盒上电子标签的辅助固定元件,所述晶圆传输盒具有顶面、安装电子标签的前端面以及设于前端面底部的固定电子标签的夹持部,其特征在于,所述辅助固定元件包括沿晶圆传输盒顶面延伸的上固定板、沿前端面延伸的支架以及位于所述支架底部且与夹持部位置对应的下固定板;其中所述下固定板与所述夹持部共同或者代替夹持部固定电子标签。
【技术特征摘要】
1.一种晶圆传输盒上电子标签的辅助固定元件,所述晶圆传输盒具有顶面、安装电子标签的前端面以及设于前端面底部的固定电子标签的夹持部,其特征在于,所述辅助固定元件包括沿晶圆传输盒顶面延伸的上固定板、沿前端面延伸的支架以及位于所述支架底部且与夹持部位置对应的下固定板;其中所述下固定板与所述夹持部共同或者代替夹持部固定电子标签。2. 如权利要求1所述的圓传输盒上电子标签的辅助固定元件,其特征在于,所 述晶圓传输盒设有存放纸标签的标签袋,所述辅助固定元件的支架上设有固定 标签袋底部的弹片。3. 如权利要求1所述的晶圆传输盒上电子标签的辅助固定元件,其特征在于, 所述支架包括自...
【专利技术属性】
技术研发人员:任鹏,程杰,马海,李洪燕,
申请(专利权)人:中芯国际集成电路制造上海有限公司,
类型:实用新型
国别省市:31[中国|上海]
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