【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种气流控制系统，其特征在于，包括： 气流传感器，用于检测上下料系统中的气流； 控制器，与气流传感器相连接，用于接收气流传感器反馈的气流信号； 鼓风提取器，与控制器相连接，用于接收控制器传输的控制信号； 气流传感器检测上下料系统中的气流，并将该气流信号反馈至控制器，该控制器向鼓风提取器发出指令，控制尘粒提取速度，使气流保持在预定值以清除上下料系统中的尘粒。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：于凤雷，吴凌辉，张伟，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]
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